新股精要—国内干式真空泵龙头企业中科仪

新股精要—国内干式真空泵龙头企业中科仪 ——IPO专题 本报告导读： 施怡昀(分析师)021-38032690shiyiyun@gtht.com登记编号S0880522060002 中科仪（920186.BJ）是国内集成电路干式真空泵龙头企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，2024年在集成电路领域干式真空泵国内市占率约为12.72%，有望充分受益于产业链自主可控进程。2025年公司实现营收/归母净利润12.91/8.44亿元。截至2026年4月10日，可比公司对应2024/2025/2026年平均PS为19.75/14.61/11.09倍。 王思琪(分析师)021-38038671wangsiqi3@gtht.com登记编号S0880524080007 投资要点： 深化创业板改革，助力新质生产力2026.04.11新股精要—国内领先的高端测试仪器设备企业联讯仪器2026.04.08IPO月度数据一览（2026年3月）2026.04.03新股精要—国内集成电路晶圆级先进封测龙头盛合晶微2026.04.02新股精要—国内服装再生面料龙头企业福恩股份2026.04.02 主营业务分析：公司主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务，主要包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。受益于下游行业良好发展，市场需求快速增长，公司营收较快增长趋势。受产品价格策略影响，公司毛利率近三年有所下降，公司期间费用率整体稳定。。 行业发展及竞争格局：集成电路、光伏行业快速发展推动干式真空泵市场规模提升，2024年中国集成电路和光伏产业干式真空泵市场需求分别为52.11亿元和约47.0-57.2亿元。集成电路领域干式真空泵市场主要市场份额被少数几家外资企业占据，国内厂商市占率相对较低，光伏领域干式真空泵国产厂商覆盖率较高。公司是国内干式真空泵出货量最大的企业，2024年国内市占率12.72%。 可比公司估值情况：公司所在行业“C34通用设备制造业”近一个月（截至2026年4月10日）静态市盈率为47.50倍。根据招股意向书披露，选择拓荆科技（688072.SH）、华海清科（688120.SH）、北方华创（002371.SZ）、中微公司（688012.SH）、芯源微（688037.SH）和京仪装备（688652.SH）作为A股同行业可比上市公司。截至2026年4月10日，可比公司对应2024年平均PS（LYR）为19.75倍，2025年和2026年Wind一致预测PS分别为14.61倍和11.09倍。 风险提示：1）技术和产品研发风险；2）市场竞争加剧的风险。 1.中科仪：国内集成电路干式真空泵龙头企业 公司是国内集成电路干式真空泵龙头企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，2024年在集成电路领域干式真空泵国内市占率约为12.72%。公司是中国科学院下属专注于洁净真空、超高真空技术研究和发展的企业，公司拥有真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心三个国家级研发平台，是我国真空技术及真空类科学仪器攻坚的主力军，主要包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。公司产品线包括罗茨泵、螺杆泵、涡旋泵，覆盖针对逻辑芯片和存储芯片的清洁、中等和苛刻工艺，干式真空泵产品主要为罗茨干泵，研制的三大系列近四十款型号干式真空泵产品广泛适配包括配ASML、KLA、LAMResearch、AMAT、TEL、HITACHI、中微公司、拓荆科技、东方晶源等30余家国内外主流设备厂商的数百种机台，满足14nm先进逻辑芯片以及128层及以上3DNAND等存储器工艺的生产需要，目前，公司的干式真空泵产品已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，并已通过台积电、SK海力士、客户I的测试验证实现小批量出货。除硅基半导体外，公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。真空科学仪器设备领域，公司先后承担北京正负电子对撞机、兰州重离子加速器、合肥国家同步辐射装置、上海三代光源、北京高能同步辐射光源、上海硬X射线自由电子激光装置等11项国家重大科技基础设施的建设工作，是我国大科学装置关键真空部件光束线、波荡器、前端区等的最主要研制单位。截至4月10日，公司各类干式真空泵的出货量已累计超过4万台，其中集成电路领域出货量超3万台。根据市场预计数据测算，2024年公司干式真空泵在集成电路领域国内市占率约为12.72%。国内主要同行业企业目前尚处于小批量导入阶段。随着南通生产基地于2022年的建成投产，公司形成了沈阳、南通双基地的生产架构，2025年度干式真空泵产能达10000台，居于行业领先地位。此外，本次发行募集资金投资项目达产后，公司罗茨、螺杆、涡旋等各类干式真空泵产能将达2.65万台，生产制造优势进一步增强。 半导体行业快速发展推动干式真空泵需求提升，产业链自主可控趋势下国产领先企业将迎来更好发展机遇。真空泵是半导体制造真空系统的核心关键部件，集成电路产业15个主要工艺环节中的11个需要使用真空泵实现真空环境的获得，占比超过70%。受益于近年来集成电路产业的稳定增长，干式真空泵产业也保持着良好的发展态势，根据招股书披露，预计2024年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为12.57万台，市场规模约125.74亿元，中国大陆集成电路产业对干式真空泵的需求为5.21万台，市场规模约52.11亿元。目前，在集成电路领域的干式真空泵市场，Edwards、Ebara、Kashiyama等少数几家欧洲和日本企业仍占据主要市场份额。受益于物联网、汽车电子、AI、工业控制等终端市场的不断增长，中国集成电路产业近年来持续快速发展，国内晶圆厂不断扩张产能，资本开支持续增长，为半导体设备厂商创造了良好的外部发展环境。同时，随着地缘政治冲突的不断加剧，海外科技领域制裁不断升级，国内集成电路企业为保障产线的安全稳定，推进供应链自 主可控，加大国产设备的采购比重，降低进口依赖程度。未来产业链自主可控持续推进背景下，国产干式真空泵企业将迎来更好的发展机遇。 2.主营业务分析及前五大客户 受益于下游行业良好发展，市场需求快速增长，公司营收较快增长趋势。主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务，主要包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。2023~2025年，公司主营业务收入分别为84,909.28万元、108,098.83万元以及128,984.22万元，2023~2025年复合增长率为24.51%，近三年逐年增长趋势，主要受益于公司干式真空泵产品实现的销售收入快速增长。2023~2025年，公司归母净利润分别为60,037.06万元、19,276.54万元和84,386.54万元，变化较大，主要是因为公司持有A股上市公司拓荆科技（688072.SH）1.52%股份、中科信息（300678.SZ）0.80%股份，产生的公允价值变动损益、出售股份产生的投资收益及转融通证券出借等收益合计分别为57,316.40万元、984.77万元和75,174.43万元，占公司营业利润比例较高，均计入非经常性损益。2023~2025年，公司扣除非经常性损益后归属于母公司股东的净利润分别为7,298.08万元、8,787.75万元和10,297.96万元，逐年增长，变动与公司生产规模、营业收入的变动相一致。分具体业务来看，1）干式真空泵：2023~2025年，公司干式真空泵实现销售收入分别为60,022.84万元、78,301.88万元、83,457.05万元，占各期主营业务收入的比例分别为70.69%、72.44%及64.70%，是公司经营业绩的主要来源，近三年公司干式真空泵销售收入复合增长率达17.9%。近三年公司干式真空泵主要应用领域为集成电路、光伏等泛半导体领域，其中半导体领域收入占比逐年提升，2025年达91.25%，光伏领域收入占比有所下降。2）真空科学仪器设备：2023~2025年，公司真空科学仪器设备实现的销售收入分别为15,315.90万元、17,531.28万元以及23,804.90万元，近三年呈稳步上涨趋势，主要受益于我国在科研领域的投入不断提升。3）维修及维护等服务：2023~2025年，公司维修及维护等服务分别实现销售收入4,879.47万元、7,845.70万元以及13,686.72万元，近三年呈稳步增长趋势，主要是因为公司干式真空泵与真空科学仪器设备产品累计销量不断增加，相应地下游客户针对该等产品的维修及维护等服务需求得到提升。4）零部件及其他产品销售：2023~2025年，公司零部件及其他产品销售实现销售收入4,691.06万元、4,419.97万元以及8,035.55万元，2025年增长较快，主要受相关零部件需求增加所致。 数据来源：公司招股意向书，国泰海通证券研究。 数据来源：公司招股意向书，国泰海通证券研究。 受产品价格策略影响，公司毛利率近三年有所下降。2023~2025年，公司毛利率分别为33.02%、29.44%和26.78%，呈下降趋势，主要受干式真空泵毛利率下降影响。具体分产品来看：1）干式真空泵产品：2023~2025年，公司干式真空泵产品毛利率分别为31.58%、27.34%以及24.23%。2023年度、2024年度公司干式真空泵产品在集成电路领域毛利率稳定在28%附近，2025年度出现微降至24.99%，主要是由于2025年上半年综合考虑集成电路领域的整体市场发展情况以及自身市场扩张战略，为保证市场份额，公司对集成电路领域主要产品型号的价格进行了调整，导致毛利率出现一定程度的下降。在光伏领域公司干式真空泵产品的毛利率呈持续下滑趋势，主要是受光伏行业景气度下行影响所致。2）真空科学仪器设备产品：2023~2025年，公司真空科学仪器设备的毛利率分别为34.19%、33.93%以及33.40%，总体较为稳定。 公司期间费用率整体稳定。2023~2025年，随着业务规模的扩大，公司期间费用逐年增长，合计分别为17,976.59万元、23,467.62万元和24,655.78万元。期间费用占营业收入比例分别为21.11%、21.69%和19.10%，总体稳定。 数据来源：公司招股意向书，国泰海通证券研究。 数据来源：公司招股意向书，国泰海通证券研究。 3.行业发展及竞争格局 3.1.下游需求扩张推动干式真空泵市场规模扩张 请务必阅读正文之后的免责条款部分4of9集成电路、光伏行业快速发展推动干式真空泵市场规模提升，2024年中国 集成电路和光伏产业干式真空泵市场需求分别为52.11亿元和约47.0-57.2亿元。干式真空泵属于通用设备，可广泛应用于传统硅基集成电路晶圆制造、化合物半导体晶圆制造、太阳能电池片制造、锂电池烘干、显示面板生产、生物制药、化工等多个国民经济支柱产业。1）集成电路领域：干式真空泵是集成电路各制程中实现真空环境所必需的零部件，集成电路产业15个主要工艺环节中的11个需要使用干式真空泵。受益于近年来集成电路产业的稳定增长，干式真空泵产业也保持着良好的发展态势。以12英寸晶圆生产线为例，业内通常每6万片/月产能需要约3,500台干式真空泵。SEMI《世界晶圆厂预测报告》统计数据显示，2024年全球晶圆产能较2023年增长84万片/月，据此测算，2024年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为12.57万台，市场规