半导体干式真空泵国产替代龙头，募投产能释放与技术迭代共驱成长
半导体干式真空泵国产替代龙头，募投产能释放与技术迭代共驱成长 2026年04月24日 证券分析师朱洁羽执业证书：S0600520090004zhujieyu@dwzq.com.cn证券分析师易申申执业证书：S0600522100003yishsh@dwzq.com.cn证券分析师余慧勇执业证书：S0600524080003yuhy@dwzq.com.cn研究助理武阿兰执业证书：S0600124070018wual@dwzq.com.cn研究助理陈哲晓执业证书：S0600124080015sh_chenzhx@dwzq.com.cn 投资评级（暂无） ◼中科仪：国内干式真空泵集成电路领域出货量最大，唯一实现先进制程批量应用的国产企业。中科仪作为中国科学院下属企业，长期专注于洁净与超高真空技术研发，是国内领先的半导体核心部件及真空科学仪器供应商。公司干式真空泵已满足14nm逻辑芯片及128层以上3D NAND工艺要求，在国内主流晶圆厂批量应用，出货量居国产厂商首位，并进入台积电、SK海力士等知名厂商供应链；同时为北京正负电子对撞机、上海光源等11项国家重大科技基础设施提供关键真空组件，在科研级MBE设备领域保持领先地位。公司产品广泛应用于半导体、光伏、科研等领域，具备自主可控的全链条制造能力。 ◼国家战略支持叠加自主化加速，半导体零部件及科学仪器领域前景广阔。在半导体产业自主化与清洁能源转型驱动下，干式真空泵作为集成电路及光伏制造核心设备，迎来国产替代与市场扩容双重机遇。1）集成电路领域：2024年全球市场规模达125.74亿元，中国大陆达52.11亿元，受益于先进制程扩产与国产设备导入。2）光伏领域：2024年中国市场规模约47.0-57.2亿元，晶硅电池生产中晶体生长与电池片制造工序形成稳定需求，受新增装机高增长及技术迭代带动设备更新。 基础数据 ◼自主核心技术与先进制程批量应用优势，受益半导体设备国产替代红利。1）多领域产品矩阵：形成了以高端干式真空泵为核心、多品类协同的产品体系，其中，干式真空泵产品主要为罗茨干泵，广泛支持国内外主流设备厂商机台；真空薄膜仪器设备产品主要包括PVD、CVD设备，主要面向高等院校、科研院所等科研机构进行薄膜材料的研究与小批量制备；并向高能物理大科学装置提供前端区、光束线、波荡器、真空互联及传输系统等关键部件。2）行业领先地位：牵头或参与编制13项国家、行业与团体标准，2024年公司在集成电路领域干式真空泵收入达6.63亿元，测算国内市场占有率约12.72%，为国产厂商中最高。产品已大批量导入国内知名半导体设备厂商及光伏厂商，经过长期产线运行验证，具备高可靠性与工艺适配能力。3）募投项目赋能成长：募投项目建成后将形成年产2万台干式真空泵的生产能力，实现物流移动50%自动化，90%以上加工产线的自动化及智能化；并建设高端半导体设备生产、研发及配套设施，布局集成泵组系统与大尺寸分子束外延设备，丰富产品矩阵。 每股净资产(元,LF)14.40资产负债率(%,LF)34.17总股本(百万股)171.84流通A股(百万股)0.00 ◼风险提示：1）市场竞争加剧；2）国际贸易摩擦；3）持有上市公司股份股价波动。4）新股价格波动较大。 内容目录 1.中科仪：深耕洁净与超高真空技术，中国半导体核心部件及大科学装置关键设备领先者......4 1.1.数十年行业积累沉淀，助力国家战略新兴产业发展和重大科技创新体系建设.................41.2.专注干式真空泵与真空科学仪器设备研发制造，产品工艺获国内领先技术认证.............71.3.营收体量稳步增长，业绩波动主要受下游产业景气度与研发创新影响.............................7 2.国家战略支持叠加自主化加速，半导体零部件及科学仪器领域前景广阔................................10 2.1.干式真空泵：半导体与泛半导体领域的关键部件...............................................................102.2.下游产业扩张与自主化加速，全球集成电路干式真空泵市场持续扩容...........................132.3.国际厂商主导且技术壁垒高，国产替代在集成电路领域加速推进...................................15 3.自主核心技术与先进制程批量应用优势，受益半导体设备国产替代红利................................17 3.1.多领域产品矩阵与平台化研发能力突出，顺应半导体及泛工业真空需求增长浪潮.......173.2.核心技术经先进制程批量验证，形成国产替代领先壁垒...................................................193.3.集成电路与光伏需求双轮驱动，充分受益于国产替代与市场扩容双重机遇...................20 4.风险提示............................................................................................................................................21 图表目录 图1：公司主营业务发展历程...............................................................................................................4图2：公司重要发展阶段介绍...............................................................................................................5图3：公司股权结构（截至2026年4月10日）...............................................................................6图4：公司核心管理成员.......................................................................................................................6图5：公司2022-2025年营收及同比增速...........................................................................................8图6：公司2022-2025年归母净利润及同比增速...............................................................................8图7：公司2022-2025年扣非归母净利润及同比增速.......................................................................8图8：2023-2025公司主营业务收入按产品类别构成........................................................................9图9：2023-2025公司主营业务收入按应用领域构成........................................................................9图10：2023-2025公司主营业务按产品分类毛利率..........................................................................9图11：2023-2025公司干式真空泵分应用领域毛利率......................................................................9图12：公司2022-2025年销售毛利率和销售净利率.........................................................................9图13：公司2022-2025年期间费用率.................................................................................................9图14：不同生产和科学研究场景所需的真空度区域举例...............................................................10图15：主要真空泵种的工作范围.......................................................................................................11图16：典型的半导体产业真空系统布局...........................................................................................11图17：集成电路制造工艺流程中已使用到干式真空泵的环节示意图...........................................12图18：罗茨干泵抽气结构及过程示意图...........................................................................................13图19：2013-2028年全球集成电路行业市场规模（单位：十亿美元）........................................14图20：2023-2027年全球半导体设备市场规模（单位：十亿美元）............................................14图21：公司干式真空泵主要竞争对手...............................................................................................16图22：公司真空科学仪器设备主要竞争对手...................................................................................16图23：公司L、M、H系列罗茨干泵的具体情况..........................................................................17图24：公司薄膜制备设备示意图.......................................................................................................18图25：公司向高能物理大科学装置提供的产品...............................................................................18图26：在集成电路领域，公司在国产厂商中处于领先地位.....................................................
