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方形基板
2026-07-21
关于方形基板的相关信息整理如下:
基础应用起源
方形基板最早被FOPLP技术采用,作为IC封装的载体使用
【1】
。后续台积电推出的CoPoS方案本质是对传统CoWoS技术做矩形变形改造,把原本的300毫米硅晶圆改为方形面板设计,常见尺寸包括310×310毫米、515×510毫米或750×620毫米等,相比传统CoWoS产出效率更高,还能借助适配的方形基板解决封装过程中的翘曲问题
【2】
。
主流技术路线与相关布局
有机材料方形基板:日本Resonac在2025年牵头成立了由27家全球企业组成的先进封装技术联盟「JOINT3」,专门开发以有机材料方形基板打造的中介层,选定515×510mm作为试作产线的评估尺寸,覆盖材料、设备、设计工具全链条的技术落地
【3】
。
玻璃基方形基板:玻璃材质的方形基板凭借超低平面度、优异的热稳定性和机械稳定性,可解决大尺寸有机基板热胀冷缩导致的明显翘曲问题,是超大尺寸先进封装中替代有机基板、硅中介层的理想选择,未来还可同步替代ABF&BT载板
【2】
【6】
。目前京东方已经拉通玻璃基封装载板全流程工艺,完成了大尺寸高层数20层玻璃基载板的样品开发送样,台积电也正携手产业链伙伴验证玻璃基板导入CoWoS先进封装的可行性,应对大型AI芯片封装的翘曲、热管理等挑战
【7】
。
相关适配技术特性
采用方形基板的CoPoS方案属于面板级封装路线,对应面板级ABF基板的线间距为8-15微米,相比传统CoWoS使用的圆形硅基路线,生产效率更高、单位成本更低,更适配下一代GPU、AI服务器、面板级SoC等大面积封装场景
【13】
。
14 条参考资料
AI 生成,仅供研究参考