恒运昌688785调研纪要20260723

营收、订单及客户拓展营收、订单及客户拓展 2025年公司实现营业收入约5.29亿元，以来自自研产品的收入为主，主要客户为拓荆科技、宏大真空、中微公司、北方华创、微导纳米等。2026年一季度公司实现营业收入1.24亿元。截至2025年年度报告披露日，公司持有尚未交付的在手订单共约1.57亿元。 公司将发挥研发和技术优势，结合市场与客户需求推进新产品研发，加快先进工艺制程等离子体射频电源系统产业化应用；同时推动主营业务向光伏、显示面板、精密光学等领域拓展，提升产品性能质量、拓宽品类，致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。 核心产品介绍核心产品介绍 等离子体射频电源系统等离子体射频电源系统 应用领域应用领域 公司的等离子体射频电源系统广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节，同时应用于光伏电池片的薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜、常压等离子体清洗等工业生产环节。 产品特点产品特点 1.认证要求高认证要求高：半导体行业遵循「一代技术、一代工艺、一代设备」规律，该系统需获得设备商及晶圆厂双重认证。2.定制化程度高定制化程度高：由下游客户提供技术和功能指标，公司自主研发并制作样机供客户验证。3.量产稳定性要求严量产稳定性要求严：需确保高度稳定可重复的生产工艺，经过精密校准和严格测试，保障性能一致性和长期稳定性。 公司已具备成熟的规模化量产能力，是薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商，先后推出CSL、Bestda、Aspen/Basalt、Cedar四代产品系列。截至2025年底，第四代Cedar系列处于验证状态，该产品整合射频电源和匹配器为一体化平台，支持多中心阻抗应用、快速数据及大数据采集，可支撑更先进制程。 产品配套规则产品配套规则 客户可根据自身需求，单独采购等离子体射频电源或匹配器，也可同时采购两者。且等离子体射频电源无需与同系列匹配器配套使用，二者无固定配套关系。 产品验证周期产品验证周期 半导体核心部件需经历功能验证、上机验证、工艺验证、晶圆厂生产验证等多个环节，程序复杂、难度大、周期长。公司2018年与拓荆科技开启国产化开发验证，2020年下半年产品开始批量交付。近年来随着国产化加速，验证周期已逐步缩短。 引进产品业务规划引进产品业务规划 公司引进产品与自研产品互补，共同构成等离子体工艺核心零部件整体解决方案： 1.真空泵真空泵：目前客户以精密光学镀膜及半导体设备客户为主，将拓展半导体、光伏、显示面板客户，在自研产品客户中拓展市场。2.质量流量计质量流量计：当前收入较少，集中于精密光学镀膜客户，将拓展至半导体、光伏、显示面板领域，同时加快自研质量流量计的研发落地和出货，以引进业务带动自研产品验证和销售。3.等离子体直流电源等离子体直流电源：目前以光伏、面板、精密光学领域客户为主，公司自研产品已批量出货，引进与自研产品互补，为客户提供更多直流溅射镀膜工艺选择。 未来公司将借助资本实力提升，通过外部并购物色境内外优质标的和技术，增强等离子体工艺核心零部件供应能力，为客户提供一站式产品和服务。 上游元器件国产化进程上游元器件国产化进程 公司已建立稳定高质量的供应商体系，综合评定供应商资质、产能、技术等多方面因素，将合格供应商纳入名录并实行动态管理，同时对常用材料建立安全库存机制保障生产稳定。 自2021年起，公司已实现真空电容、陶瓷电容、MCU以及SiC MOS、LDMOS、部分ADC和FPGA等元器件的国产化应用，目前已确定上游元器件全国产化方案，将持续推进全面国产化验证工作。 产能情况与未来布局产能情况与未来布局 2025年公司产能利用率达98.51%。公司通过多项措施提升产能：推进子公司恒运昌真空技术(沈阳)有限公司从试产到量产的跨越；加快深圳产能建设；未来将逐步推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目建设，为产能持续释放奠定基础。