688785 恒运昌 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司投资者关系活动记录表 2026-015

编号：2026-015 度定制化的特点，需要根据客户的特定需求进行研发和生产，公司需要与客户保持紧密的沟通和合作，以确保产品能够满足客户的实际需求。 3.请问公司的射频电源和匹配器都是配套出售的吗？一个腔体需要多少个射频电源？ 回答：客户可根据自身需求，单独向公司采购等离子体射频电源或匹配器，亦可以同时采购等离子体射频电源和配套的匹配器。此外，公司等离子体射频电源无需与同系列的匹配器产品配套使用，同系列中的等离子体射频电源和匹配器亦不会有固定的配套关系。同时，在不同的制程的产线中，每台设备的腔体数量有所不同，越先进制程的设备腔体数量更多，对射频电源的需求量也更大。 4.请介绍一下公司引进产品的应用场景 回答：公司基于等离子体发生条件和反应腔真空环境的实际需求，引进用于获得和维持真空环境的真空泵、用于流体精确控制的质量流量计以及用于真空镀膜装备的等离子体直流电源等核心零部件。公司引进产品和自研产品一同协作，共同为下游客户提供等离子体工艺解决方案。 （1）真空泵：在半导体、工业镀膜等工艺中，将硅片或其他材料放入反应腔室后，需要使反应腔获得真空环境。真空泵是反应腔获取真空环境的核心零部件，用于在反应腔中产生和维持真空环境。 （2）质量流量计：在反应腔获取真空环境后，需要向反应腔室通入工艺气体，工艺气体被等离子体射频电源电离产生等离子体。此时需要通过质量流量计精确计量和输送。质量流量计是反应腔供气系统的核心零部件，用于对气体等进行质量流量的测量和控制。 （3）等离子体直流电源：主要用于真空镀膜装备，即在反应腔内使用等离子体直流电源对靶材施加电压，使气体离子化，产生等离子体。这些离子在电场的作用下加速并轰击靶材，溅射出原子或分子，最终沉积在基材上，完成镀膜。 5.请介绍一下公司上游元器件的国产化进程 回答：公司已建立稳定、高质量的供应商体系，关注供应商经营资质、生产能力、技术水平、质量管控水平以及产品价格等多方面因素，并结合响应速度、付款条件等对供应商进行综合评定，将符合要求的供应商列入合格供应商名录，并在供货阶段实行供应商动态管理，筛选优质供应商，持续优化采购渠道。为保证生产的连续和稳定性，公司综合考虑原材料的采购周期、供应商的供货能力、采购量起订门槛等因素，对常用材料建立安全库存机制。自2021年开始，公司先后在上游采购中实现了真空电容、陶瓷电容、MCU以及SiC MOS、LDMOS、部分ADC和FPGA等元器件的国产化应用。公司目前已确定上游元器件的全国产化方案，将持续推进元器件的全面国产化验证工作。 6.请问2025年研发投入增长的原因？ 回答：2025年，公司研发投入金额达到8,015.92万元，同比增长45.01%，主要系公司研发投入中人工费同比增长61.43%，公司持续加大研发投入力度，提高技术指标要求，推进新产品开发、产品持续升级迭代等，不断加强产品竞争力。 7.请介绍一下公司目前的产能情况及产能未来布局 以上如涉及公司所处行业发展趋势、公司发展规划等相关内容，不代表公司或公司管理层对行业发展、公司发展或业绩的预测和承诺，不构成公司或公司管理层对投资者的实质性承诺，敬请广大投资者注意投资风险。