688785 恒运昌 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司投资者关系活动记录表 2026-013

编号：2026-013 一代设备”的产业规律，等离子体射频电源系统等核心部件需要得到设备商及晶圆厂的双重认证。同时，等离子体射频电源系统定制化程度较高，在公司与下游设备厂商合作过程中，一般由下游客户向公司提供产品技术指标要求和功能要求，公司根据客户需求自主研发新产品并制作样机供下游客户验证。 半导体设备及零部件行业具有“精确复制”的要求，等离子体射频电源系统的量产必须确保高度稳定和可重复的生产工艺，且需经过精密的校准和严格的测试流程，以确保性能的一致性和长期稳定性。在此严苛要求下，公司已具备成熟的规模化量产能力，并成为薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商。历经十余年，公司先后推出CSL、Bestda、Aspen/Basalt、Cedar四代产品系列等离子体射频电源系统。截至2025年年底，公司第四代等离子体射频电源系统Cedar系列处于验证状态，该产品将射频电源和匹配器整合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等功能，可支撑更先进制程。 3.请介绍一下公司的技术优势 回答：经过十多年的持续正向研发、不断创新和积累，公司建立了“基石技术+产品化支撑技术”的技术体系，一方面从测量、控制及架构三方面构建的底层通用的3大基石技术，并基于基石技术，结合半导体设备中应用，特别是先进制程中更快速、更精准、更稳定的应用诉求和实现难点，发展出8大产品化支撑技术，实现了突破高端等离子体射频电源系统的先进设计、测量和控制等难题，掌握了信号采样及处理、相位同步锁定、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术。截至2025年年底，公司已授权专利共296项，包括发明专利123项，实用新型专利72项，外观设计专利101项。截至2025年年底，公司已累计申请490项专利，其中发明专利262项，占比53.47%。 4.请介绍一下等离子体射频电源系统的市场格局 回答：等离子体射频电源系统行业在多个下游应用领域中发挥着重要作用，包括半导体、光伏、显示面板、光学镀膜、医疗设备和科研仪器等；其中，半导体是中国大陆等离子体射频电源系统行业最大的下游应用领域。2024年，中国大陆等离子体射频电源系统市场规模达120.4亿元。中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场仍呈现海外巨头高度垄断的竞争格局。根据弗若斯特沙利文统计，2024年，中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%。 5.请介绍一下公司目前的产能情况及未来产能布局 回答：2025年公司产能利用率达98.51%。公司通过多个措施提升产 能，包括积极推进子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司的建设与正式运营，助力其实现从试产到量产的跨越；同时推进深圳产能建设，加速产能落地；公司未来将逐步推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目的建设，这些都将有助于后续产能的释放，为公司产能持续提升奠定基础。 6.公司海外客户的拓展情况如何？公司后续是否有出海计划？ 回答：截至2025年底，公司境外收入占2025年营业收入中的极少部分。公司于2025年11月在德国设立全资子公司。在未来发展规划上，德 以上如涉及公司所处行业发展趋势、公司发展规划等相关内容，不代表公司或公司管理层对行业发展、公司发展或业绩的预测和承诺，不构成公司或公司管理层对投资者的实质性承诺，敬请广大投资者注意投资风险。