深圳市恒运昌真空技术股份有限公司招股说明书(申报稿)

恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书（申报稿）

公司概况

恒运昌真空技术股份有限公司是一家国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。

业务与技术

公司核心产品为等离子体射频电源系统，应用于半导体设备等高端装备制造业，是半导体制程工艺中薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶及键合等工艺控制的关键，直接决定设备工艺能力、产品良率。公司自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑7-14纳米先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。

行业分析

全球等离子体射频电源系统市场主要由MKS和AE等海外厂商垄断，中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%。公司聚焦于等离子体射频电源系统的技术攻关，成功打破了海外巨头在国内的垄断格局，市场份额位列第一。

风险因素

公司面临的主要风险包括：半导体行业周期波动、国际贸易摩擦变化、市场竞争地位变化、客户集中、技术创新、业绩波动等。公司已采取多种措施应对这些风险，如持续加大研发投入、拓展新客户、提升产能等。

财务状况

报告期内，公司营业收入快速增长，2022-2024年复合增长率为84.91%；净利润也保持高速增长，2022-2024年复合增长率为156.72%。公司毛利率逐年提升，主要得益于高毛利率的自研产品销售规模及占比快速增长。

募集资金使用规划

公司本次募集资金将投资于沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目、补充流动资金。募投项目的实施有利于公司扩大生产规模、加强研发投入、提升客户支持服务能力和扩充资本实力。

未来发展规划

公司未来将继续致力于先进制程半导体设备核心零部件的研发生产，并通过自主创新丰富产品种类、提高技术先进性水平，助力国内半导体设备关键零部件的全面自主可控。此外，公司将加速国际化进程、参与整合全球优质企业和资源，成为半导体“卡脖子”解决方案的领军企业。