恒运昌688785调研纪要20260710

1.营收结构、在手订单及客户拓展情况营收结构、在手订单及客户拓展情况 2025年公司实现营业收入约5.29亿元，以来自自研产品的收入为主，主要客户为拓荆科技、宏大真空、中微公司、北方华创、微导纳米等。截至公司2025年年度报告披露日，公司持有尚未交付的在手订单共约1.57亿元。 公司将发挥研发和技术优势，结合市场与客户需求推进新产品研发，加快先进工艺制程等离子体射频电源系统产业化，同时推动主营业务向光伏、显示面板、精密光学等领域拓展，致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。 2.等离子体射频电源系统的应用领域与产品特点等离子体射频电源系统的应用领域与产品特点 应用领域应用领域 公司的等离子体射频电源系统被广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节，同时应用于光伏电池片的薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜、常压等离子体清洗等工业生产环节。 产品特点产品特点 1.认证要求高认证要求高：半导体行业遵循「一代技术、一代工艺、一代设备」的产业规律，该系统需要得到设备商及晶圆厂的双重认证。2.定制化程度高定制化程度高：一般由下游客户提供产品技术指标和功能要求，公司根据需求自主研发并制作样机供客户验证。3.量产稳定性要求严苛量产稳定性要求严苛：半导体设备及零部件行业具有「精确复制」的要求，量产需确保高度稳定和可重复的生产工艺，经过精密校准和严格测试以保障性能一致性和长期稳定性。 公司已具备成熟的规模化量产能力，是薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商。历经十余年，先后推出CSL、Bestda、Aspen/Basalt、Cedar四代产品系列。截至2025年年底，第四代Cedar系列处于验证状态，该产品将射频电源和匹配器整合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等功能，可支撑更先进制程。 3.公司的技术优势公司的技术优势 经过十多年的持续正向研发、创新和积累，公司建立了「基石技术+产品化支撑技术」的技术体系： 1.底层通用技术：从测量、控制及架构三方面构建3大基石技术2.产品化支撑技术：结合半导体设备尤其是先进制程的应用诉求和难点，发展出8大产品化支撑技术，突破了高端等离子体射频电源系统的先进设计、测量和控制等难题，掌握了信号采样及处理、相位同步锁定、快速调频、脉冲控制等关键技术。 截至2025年年底，公司已授权专利共296项，包括发明专利123项，实用新型专利72项，外观设计专利101项；累计申请490项专利，其中发明专利262项，占比53.47%。 4.等离子体射频电源系统的市场格局等离子体射频电源系统的市场格局 等离子体射频电源系统应用覆盖半导体、光伏、显示面板、光学镀膜、医疗设备和科研仪器等多个领域，其中半导体是中国大陆该行业最大的下游应用领域。2024年，中国大陆等离子体射频电源系统市场规模达120.4亿元，半导体领域国产化率不足12%，仍呈现海外巨头高度垄断的竞争格局。 5.产能情况及未来产能布局产能情况及未来产能布局 2025年公司产能利用率达98.51%。公司通过多项措施提升产能： 1.推进子公司恒运昌真空技术(沈阳)有限公司的建设与正式运营，实现从试产到量产的跨越2.推进深圳产能建设，加速产能落地 未来公司将逐步推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目的建设，为产能持续提升奠定基础。 6.海外客户拓展及出海计划海外客户拓展及出海计划 截至2025年底，公司境外收入占2025年营业收入中的极少部分。公司于2025年11月在德国设立全资子公司，德国 恒运昌将作为全球化布局的重要战略支点，承担海外研发、技术融合、市场拓展三大职能，助力半导体设备核心零部件从「引进来」到「走出去」。截至2025年底，公司已获得部分海外专利。