先进刻蚀设备运付量提升，薄膜类新品开启放量

公司2024年前三季度业绩表现强劲，营收同比增长36.27%至55.07亿元，归母净利润9.13亿元（YoY-21.28%）。其中，第三季度营收20.59亿元（YoY+35.96%，QoQ+11.77%），归母净利润3.96亿元（YoY+152.63%，QoQ+48.11%）。刻蚀设备收入同比增长53.77%至44.13亿元，LPCVD实现首台销售0.28亿元，新签订单同比增长52.0%至76.4亿元，毛利率环比提升5.56pp至43.73%。

第三季度亮点包括：刻蚀设备交付量显著提升，CCP设备交付超1000个反应台，高端ICP设备付运大幅增长，PrimoTwin-Star获得重复订单；LPCVD设备取得3亿新增订单，钨系列产品满足关键客户需求，多道应用实现量产；EPI设备顺利进入客户端量产验证，获得客户高度认可。公司前三季度共交付专用设备1514台（YoY+238.7%），生产1160腔（YoY+310%），对应产值约94.19亿元（YoY+287%）。预计全年新增订单有望达到110-130亿元。

投资建议维持“优于大市”评级。预计2024-2026年营业收入分别为83.64/114.67/149.59亿元，归母净利润分别为15.46/22.03/31.82亿元，对应PE分别为75.9/53.3/36.9倍。主要风险包括下游晶圆制造产能扩充不及预期、新产品开发不及预期、国际关系波动和地缘政治风险。