刻蚀设备市占上升，薄膜设备新品层出

2023年营收增长32.1%，新增订单62.2亿元。公司发布年报：2023年实现营收62.64亿元（YoY+32.1%），归母净利润17.86亿元（YoY+52.7%），扣非归母净利润11.91亿元（YoY+29.6%），其中非经常性损益为出售部分持有的拓荆科技股票产生的税后净收益约4.06亿元。2023年毛利率为45.8%（YoY+0.1pct），维持高位；全年新增订单63.2亿元(YoY+32.3%)，有望进一步保持业绩持续增长动能。 2023年专用设备销售656腔，营收51.7亿元。2023年实现专用设备销售收入51.65亿元（YoY+34.3%），占比82.5%，毛利率45.2%（YoY-0.01pct），其中刻蚀设备销售量606腔（YoY+37.4%），实现销售收入47.0亿元（YoY+32.7%）；MOCVD销售量收入50腔（YoY-32.4），实现销售收入4.6亿元（YoY-34.0%）。此外，备品备件实现销售收入9.71亿元（YoY+16.3%），占比15.5%，毛利率48.3%，其他业务实现销售收入1.27亿元（YoY+120.8%），占比2.0%，毛利53.7%。 先进工艺刻蚀机验证顺利，薄膜沉积工艺覆盖度提升。2023年，公司CCP和ICP刻蚀设备在国内主要客户芯片生产线上市占率大幅提升，针对 28nm 及以下大马士革工艺的CCP刻蚀机已进入国内领先客户开展现场验证，超高深宽比刻蚀机在先进存储厂验证，TSV刻蚀设越来越多被应用于先进封装和MEMS器件生产。已有四款LPCVD设备和ALD设备进入市场，其中三款已获得客户认证，并开始获得重复性订单，其他十多种薄膜沉积设备将陆续进入市场。新开发和硅和锗硅外延EPI设备、硅片的EPI外延设备和晶圆边缘Bevel刻蚀设备等多个新产品也会于近期投入市场验证。 投资建议：国内半导体先进工艺设备公司，维持“买入”评级。 我们预计2024-2026年营收83.79/105.37/132.25亿元（2024-2025年前值83.95/104.07亿元）；由于国内半导体设备需求持续旺盛以及公司市场份额提升，公司有望继续维持高毛利率水平，营收规模效应不断体现，上调2024-2025年归母净利润至20.50/25.87亿元（前值17.58/21.11亿元），预计2026年归母净利润34.04亿元 ， 当前股价对应2024-2026年47.1/37.3/28.4倍PE，维持“买入”评级。 风险提示：下游晶圆制造产能扩充不及预期风险，新产品开发不及预期的风险，国际关系波动风险等。 盈利预测和财务指标 图1：公司营业收入及增速 图2：公司单季营业收入及增速 图3：公司归母净利润及增速 图4：公司单季归母净利润及增速 图5：公司毛利率和净利率 图6：公司期间费用率 附表：财务预测与估值 资产负债表（百万元） 利润表（百万元） 现金流量表（百万元） 免责声明