公司深度报告：国产刻蚀设备领军者，薄膜业务蓄势待发

买入（首次覆盖） 投资要点： ➢中微公司是国内半导体设备的龙头企业之一，主要为集成电路、LED外延片、功率器件、MEMS等半导体产品的制造企业提供刻蚀、薄膜沉积、MOCVD等设备。公司深耕集成电路制造核心设备领域，主要产品包括刻蚀与薄膜沉积设备两大类：刻蚀设备方面，公司的等离子体刻蚀设备已广泛应用于国际一线芯片制造商的先进制程产线；薄膜沉积领域，公司近年来成功开发的LPCVD和ALD设备已通过客户验证，多款产品进入市场并获大批量重复订单。在泛半导体设备领域，公司氮化镓MOCVD设备保持全球领先，随着全球半导体产业向三五族化合物半导体加速拓展，尤其在Mini/Micro LED新型显示、新能源汽车功率器件等领域的需求持续释放，MOCVD设备作为关键工艺装备，市场空间将进一步扩大。此外，公司积极把握半导体设备市场新机遇，通过子公司超微、中微惠创、中微汇链等在量检测设备、环保设备、工业互联网等领域积极拓展，构建多元化的业绩增长点。为满足业务快速增长需求，公司持续保持高强度研发投入，2025年前三季度研发费用达17.94亿元，同比增长96.30%，研发费用率高达22.25%，未来五到十年，公司计划通过自主研发与产业合作，覆盖集成电路关键领域超过60%的设备市场，实现高质量可持续发展。 ➢公司以CCP刻蚀设备为核心，并顺利研发ICP刻蚀设备，覆盖95%以上的刻蚀应用需求，伴随先进制程与三维存储技术的迭代，刻蚀设备的需求将进一步提升。制程进步伴随着工艺尺寸的进一步缩小大幅度提升了对刻蚀设备的需求，根据SEMI，一片7nm芯片在生产过程中需经历约140次刻蚀工艺，相比28nm制程所需的40次，增长超过2.5倍。公司12英寸高端刻蚀设备已实现从65nm至5nm及更先进制程的量产应用，面向5nm以下节点，公司正积极推进下一代机型研发，旨在进一步提升刻蚀选择比、均匀性及量产稳定性。三维存储方面，堆叠层数的不断增加不仅对刻蚀设备的需求提升，在深宽比能力方面也提出更高要求。公司开发的超高深宽比掩膜ICP刻蚀设备与超高深宽比介质CCP刻蚀设备已在先进存储制造产线中大规模应用。目前，公司已成功研制出三代共18种等离子体刻蚀设备，主要聚焦CCP刻蚀设备，ICP刻蚀设备进展顺利，2025年前三季度，公司刻蚀设备营收61.01亿元，同比增长约38.26%，占总营收约76%。 1.刻蚀机：技术追赶步履不停，国产替代空间充裕——半导体行业深度报告（六） 2.光刻机：国产设备发展任重道远，零组件企业或将长期受益——半导体行业深度报告（十一） ➢薄膜沉积和MOCVD外延设备方面，公司已成功发布六款薄膜沉积产品，覆盖存储器件及先进逻辑器件的钨、金属工艺需求；公司氮化镓MOCVD设备保持全球领先，将进一步向mini/micro LED和功率器件延伸。1）2025年前三季度，LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比增长1332.69%。钨系列产品方面，公司提供CVD钨、HAR钨及ALD钨设备，可满足存储器件所有钨应用场景，包括高深宽比金属互联及三维存储器件字线应用；金属栅极应用领域，公司推出的金属栅系列产品涵盖ALD氮化钛、ALD钛铝及ALD氮化钽等多款设备，在薄膜均匀性、污染物控制与生产效率等关键指标上均达到国际先进水平，全面满足先进逻辑制程需求。2）公司2024年MOCVD设备营收3.79亿元，同比下降18.03%。公司是氮化镓基LED市场最大的MOCVD设备供应商，凭借PRISMO A7、HiT3及UniMax等系列产品持续服务全球客户。公司亦积极拓展MOCVD技术应用边界，新一代硅基氮化镓设备与碳化硅外延设备正分别处于研发与验证阶段。尽管受LED市场波动影响，公司通过向高端显示、功率半导体等领域的拓展，有望开辟新的增长空间。 ➢投资建议：首次覆盖，给予买入评级。作为国内龙头的半导体设备公司，公司深耕刻蚀设备，同时切入更多细分市场，进一步打开业绩成长空间。我们预计公司2025-2027年营业收入分别为120.74、156.40和197.88亿元，同比增速分别为33.19%、29.54%和26.52%； 归母净利润分别为20.46、32.04和43.44亿元，同比增速分别为26.62%、56.60%和35.60%，对应2025-2027年的PE分别为87、55和41倍。 ➢风险提示：产品研发及验证进度不及预期风险；地缘政治风险；下游需求不及预期的风险。 正文目录 1.深耕半导体高端装备，铸就平台化发展格局................................6 1.1.立足于刻蚀与MOCVD设备，开拓全面技术创新........................................61.2.卓越团队引领，引领长远发展.....................................................................81.3.业绩增长亮眼，技术筑基长远.....................................................................9 2. CCP刻蚀设备行业领先，覆盖先进制程需求..............................13 2.1.刻蚀工艺支撑集成电路制造核心环节........................................................132.2.制程演进协同三维堆叠，刻蚀设备需求激增..............................................142.3. CCP刻蚀技术领先，ICP刻蚀成长可期.....................................................16 3.薄膜设备稳步推进，外延应用加速延伸.....................................20 3.1.国际厂商主导市场，国产替代任重道远.....................................................203.2.聚焦CVD/ALD核心技术，开拓存储与逻辑芯片市场空间.........................223.3.氮化镓MOCVD设备优势显著，外延应用多元拓展..................................23 4.盈利预测...................................................................................26 4.1.盈利预测假设与业务拆分..........................................................................264.2.可比公司估值............................................................................................274.3.投资建议...................................................................................................27 5.风险提示...................................................................................28 图表目录 图1中微公司发展历程.................................................................................................................6图2中微公司产品覆盖.................................................................................................................7图3中微公司三维业务版图..........................................................................................................8图4中微公司三维发展战略..........................................................................................................8图5中微公司产品覆盖.................................................................................................................8图6中微公司营收与同比增速....................................................................................................10图7中微公司归母净利润与同比增速..........................................................................................10图8中微公司分业务营收与同比增速..........................................................................................10图9中微公司分设备占比与同比增速..........................................................................................10图10中微公司毛利率与净利率水平...........................................................................................11图11中微公司三项费用率水平...................................................................................................11图12中微公司研发费用及占比..................................................................................................11图13中微公司研发人员数量及占比...........................................................................................11图14中微公司存货&合同负债....................................................................................................12图15刻蚀技术分类.....................................................................................................................13图16 2023年全球干法刻蚀设备市场竞争格局..................................