本报告版权属于安信证券股份有限公司，各项声明请参见报告尾页。 1 2023年05月23日 C飞测-U(688361.SH) 公司深度分析 国产半导体量测设备龙头，引领瓶颈环节国产替代 证券研究报告 半导体设备 投资评级 买入-A 首次评级 12个月目标价 72.20元 股价 (2023-05-23) 70.30元 交易数据 总市值(百万元) 23,040.00 流通市值(百万元) 4,314.82 总股本(百万股) 320.00 流通股本(百万股) 59.93 12个月价格区间 68.35/72.0元 升幅% 1M 3M 12M 相对收益 绝对收益 马良 分析师 SAC执业证书编号：S1450518060001 maliang2@essence.com.cn 郭旺 分析师 SAC执业证书编号：S1450521080002 guowang@essence.com.cn 相关报告 国产半导体量测设备龙头，打破海外长期垄断： 中科飞测是国产半导体量测设备龙头，相关量测设备已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线，所产主流机型成功填补国内空白，广泛应用于中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路制造产线，打破国际巨头在质量设备领域对国内的长期垄断。公司检测设备自2017年通过下游知名客户验证后，产品迅速获得市场广泛认可，客户、设备销量的快速增长，2019-2021年度实现设备销售数量分别为32台、101台和108台，销售数量稳步增长。 半导体量检测设备是芯片良率重要保障，全球市场规模超百亿美元：半导体量测设备贯穿芯片制造的各个环节，是芯片良率的重要保障。从市场规模来看，全球前道量检测设备2021年市场规模114亿美元，在前道设备中市场规模仅次于光刻机、薄膜沉积和刻蚀设备。 海外巨头垄断前道量检测设备：根据semi数据统计，2020年全球量测设备市场上，KLA市占率51%，应用材料市占率12%，日立科技市占率9%，行业前五大公司合计市场份额占比超过了 80%，全球市场高度集中。从国内市场来看，目前国内市场国产化率较低，2020年我国半导体前道量测检测设备国产化率约为2%，国产替代空间巨大。 量检测设备国产替代持续推进，潜力巨大；目前来看，国内在前道量检测设备已经实现了部分产品的突破，其中上海睿励主要聚焦于薄膜测量和尺寸光学检测设备；上海精测在膜厚产品、电子束、OCD量测等设备产品和相关技术实现了技术突破；中科飞测在无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备系列具备较强竞争力，并获得了中芯国际、长电科技、长江存储等国内龙头客户订单，填补了国内量测设备市场的关键空缺领域。 投资建议：我们预计公司2023年~2025年收入分别为7.35亿元、11.54亿元、15.61亿元，归母净利润分别为1.01亿元、1.84亿元、3.33亿元。参考国内同行中微公司、拓荆科技、盛美上海和华峰测控999563346 本报告版权属于安信证券股份有限公司，各项声明请参见报告尾页。 2 公司深度分析/中科飞测 2024年的平均PS11.10倍, 考虑到目前量测设备国产化率远低于其他设备，给予公司2024年PS20.00X的估值,以总股本3.2亿股测算，预测2024年每股收入3.61元，对应目标价72.20元。 风险提示：下游需求不及预期风险，技术开发与迭代升级的风险，国际贸易摩擦风险，市场竞争加剧风险。 [Table_Finance1] (百万元) 2021A 2022A 2023E 2024E 2025E 主营收入 360.6 509.2 735.3 1,154.6 1,561.8 净利润 53.4 11.7 100.7 183.6 333.0 每股收益(元) 0.17 0.04 0.31 0.57 1.04 每股净资产(元) 1.73 1.78 7.40 7.97 9.01 盈利和估值 2021A 2022A 2023E 2024E 2025E 市盈率(倍) - - - - - 市净率(倍) - - - - - 净利润率 14.8% 2.3% 13.7% 15.9% 21.3% 净资产收益率 9.6% 2.1% 4.3% 7.2% 11.5% 股息收益率 ROIC 27.2% 3.9% 19.4% 34.9% 14.2% 数据来源：Wind资讯，安信证券研究中心预测 公司深度分析/中科飞测 本报告版权属于安信证券股份有限公司，各项声明请参见报告尾页。 3 内容目录 1. 公司概况：国产半导体量检测设备龙头 ......................................... 5 1.1. 半导体量检测设备国内领先 ............................................. 5 1.2. 营收规模增长迅速，研发费用大幅提高 ................................... 7 1.3. 募集资金加大量测设备投入 ............................................. 8 2. 芯片良率的重要保障，前道量检测设备市场空间超百亿美元 ....................... 9 2.1 前道量检测设备贯穿晶圆制造各个环节，是芯片良率的重要保障 ............... 9 2.1.1前道量检测设备：针对晶圆制造中相关物理参数测量 ................... 11 2.1.2检测设备：对晶圆生产过程中有无产生表面杂质等缺陷进行检测 ......... 13 2.2半导体前道量检测设备市场超百亿美元 .................................... 15 3. KLA垄断市场，部分细分领域实现国产突破 .................................... 16 3.1 前道量测技术壁垒高，美国KLA垄断市场 ................................. 16 3.1.1科磊：全球半导体前道测量设备龙头企业 ............................. 17 3.1.2应用材料 ........................................................ 20 3.2 量检测设备国产替代持续推进，潜力巨大 ................................. 21 4. 技术实力强劲，龙头客户全面覆盖 ............................................ 25 4.1. 技术水平国内领先，龙头客户全面覆盖 .................................. 25 4.2. 实控人技术背景深厚，股东背景实力雄厚 ................................ 28 5. 盈利预测与投资建议 ........................................................ 29 5.1. 盈利预测 ............................................................ 29 5.2. 估值分析 ............................................................ 29 6. 风险提示 .................................................................. 30 6.1. 技术开发与迭代升级的风险 ............................................ 30 6.2. 下游需求不及预期的风险 .............................................. 30 6.3. 国际贸易摩擦风险 .................................................... 30 6.4. 市场竞争加剧的风险 .................................................. 30 图表目录 图1. 公司设立情况 ............................................................ 5 图2. 公司股权结构 ............................................................ 6 图3. 公司营收情况（单位：亿元） .............................................. 7 图4. 公司净利润情况（单位：亿元） ............................................ 7 图5. 公司营收结构 ............................................................ 7 图6. 2022年公司营收占比 ...................................................... 7 图7. 公司利润率情况 .......................................................... 8 图8. 公司细分产品毛利率变化 .................................................. 8 图9. 公司费用情况（百万元） .................................................. 8 图10. 公司费用率情况 ......................................................... 8 图11. 半导体检测与量测技术 .................................................. 11 图12. 不同量测标识尺寸 ...................................................... 12 图13. 不同量测标识尺寸 ...................................................... 12 图14. 四探针台工作示意 ...................................................... 13 图15. 椭偏仪工作示意 ........................................................ 13 图16. 无图形表面检测系统原理图 .............................................. 14 公司深度分析/中科飞测 本报告版权属于安信证券股份有限公司，各项声明请参见报告尾页。 4 图17. 无图案晶圆缺陷检测设备 ...........................