根据报告，半导体制造过程中需要进行尺寸测量、缺陷检测等，用于工艺控制、良率管理，因此过程控制设备在半导体制造中占据重要地位。目前，全球过程控制设备市场主要由海外龙头KLA主导，但国内公司如上海精测、睿励科学、中科飞测等也在积极布局。其中，上海精测全面布局膜厚及OCD检测、SEM检测等技术方向，睿励科学专注于半导体量测检测设备，而中科飞测则以工业智能检测设备为核心产品。尽管国内龙头存储晶圆厂项目中，过程控制设备国产化率低于10%，但随着制程微缩、3D堆叠推进，晶圆制造对于量测、检测需求不断增加，精度要求也不断提高，过程控制设备持续有升级需求。总体来看，半导体制造过程控制设备市场具有广阔的发展前景。
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