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根据研报正文，以下是对该研报的总结：
- 中科飞测是国内领先的半导体质量控制设备公司，专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发，产品线已涵盖了无图形晶圆缺陷检测、图形晶圆缺陷检测、三维形貌量测、薄膜膜厚量测和套刻精度量测设备等。
- 量测检测设备市场广阔，国产化进程方兴未艾。目前公司已有+在研的量测检测设备共计可覆盖50%以上的市场，对应了100亿元以上的国内需求。
- 公司在前道量测检测领域业务规模高于其他国内厂商，技术研发均向 2Xnm 以下节点推进，处于国内领先地位。部分产品目前仍在在客户验证阶段，随国产化趋势逐步放量。
- 投资建议：首次覆盖，给予“买入”评级。
- 风险提示：下游扩产不及预期，国际供应链风险等。
