敬请参阅末页重要声明及评级说明 证券研究报告 半导体量测检测龙头，核心环节国产替代可期 主要观点： [Table_Summary] ⚫ 量测检测设备产品广覆盖，半导体制造质量控制领域先行者。 中科飞测是国内领先的高端半导体质量控制设备公司，成立以来专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发，公司产品线已涵盖了无图形晶圆缺陷检测、图形晶圆缺陷检测、三维形貌量测、薄膜膜厚量测和套刻精度量测设备等产品，可覆盖 27.2%的量测检测设备市场，同时公司正在研发的纳米图形晶圆缺陷检测和晶圆金属薄膜量测设备等。目前公司已有+在研的量测检测设备共计可覆盖50%以上的市场，对应了100亿元以上的国内需求，相关研发将进一步提高公司产品线覆盖的广度。 ⚫ 量测检测设备市场广阔，国产化进程方兴未艾。 量测检测设备的市场空间仅次于光刻机，刻蚀机和薄膜沉积设备，同时也是除光刻机外国产化率最低的一环核心设备。2022年全球超过1000亿美元的前道设备市场中，量测检测设备占据了13%-14%的份额。 2022年国产化率在5%以内，可替代空间巨大，公司是中国量测检测设备市场中占有份额最大的国内厂商，产品广泛出货于主流逻辑和存储fab厂（中芯国际、长江存储等）、先进封装（长电科技、通富微电等），功率fab（中芯绍兴、士兰集科等）。 ⚫ 量测检测产品矩阵不断完善，研发投入支撑主流产线国产替代。 公司已有多台设备在 28nm 产线通过验收，另有对应 1Xnm 产线的 SPRUCE-900 型号设备正在研发中，对应 2Xnm 以下产线的 DRAGONBLOOD600 型号设备正在产线进行验证，并已取得两家客户的订单。在前道量测检测领域，公司业务规模高于其他国内厂商，技术研发均向 2Xnm 以下节点推进，处于国内领先地位。公司部分产品目前仍在在客户验证阶段，随着研发和产品开发的不断完善，我们预计公司将继续在大陆fab厂中的份额进一步提升，随国产化趋势逐步放量。 ⚫ 投资建议 我们预计公司2023年-2025年收入分别为7.74亿元，11.51亿元以及16.18亿元，分别对应PS为29倍，19倍以及14倍，2023年-2025年归母净利润分别为0.54亿/1.00亿/2.08亿元。首次覆盖，给予“买入”评级。 ⚫ 风险提示 下游扩产不及预期，国际供应链风险等。 [Table_Profit] ⚫ 重要财务指标 单位:亿元 主要财务指标 2022A 2023E 2024E 2025E 营业收入 5.09 7.74 11.51 16.18 收入同比（%） 0.41 0.52 0.49 0.41 归属母公司净利润 0.12 0.54 1.00 2.08 [Table_StockNameRptType] 中科飞测（688361） 公司研究/公司深度 [Table_Rank] 投资评级：买入（首次） 报告日期：2023-05-26 [Table_BaseData] 收盘价（元） 68.97 近12个月最高/最低（元） 72/68.35 总股本（百万股） 320 流通股本（百万股） 60 流通股比例（%） 18.73 总市值（亿元） 221 流通市值（亿元） 41 [Table_Chart] 公司价格与沪深300走势比较 [Table_Author] 分析师：胡杨 执业证书号： S0010521090001 邮箱： huy@hazq.com [Table_CompanyReport] 相关报告 [Table_CompanyRptType1] 中科飞测（688361） 敬请参阅末页重要声明及评级说明 2 / 16 证券研究报告 净利润同比（%） -0.78 3.63 0.83 1.09 毛利率（%） 0.49 0.49 0.51 0.52 ROE（%） 0.02 0.02 0.04 0.08 每股收益（元） 0.05 0.17 0.31 0.65 P/E 0.00 405.53 221.57 106.11 P/B 0.00 9.51 9.11 8.39 EV/EBITDA -0.47 -15.32 -6.32 -4.81 资料来源：wind一致预期，华安证券研究所 [Table_CompanyRptType1] 中科飞测（688361） 敬请参阅末页重要声明及评级说明 3 / 16 证券研究报告 正文目录 1半导体检测量测设备龙头，业务规模持续提升 ............................................................................................................................. 5 1.1 量测检测技术水平国内领先，核心产品出货规模量价齐升 ............................................................................................................ 5 1.2股东背景雄厚，核心技术团队稳定 .......................................................................................................................................................... 5 1.3检测设备量价齐升，研发投入持续高增 ................................................................................................................................................. 6 2量测检测设备市场广阔，国产化进程方兴未艾 ............................................................................................................................. 8 2.1全球前道设备市场连续增长，中国大陆市场增幅显著 ..................................................................................................................... 8 2.2全球竞争格局“一超多强”，成熟制程需求及重要性提升 ................................................................................................................ 9 3量测检测产品矩阵不断完善，研发支撑产线国产替代 .............................................................................................................. 10 4估值分析 .............................................................................................................................................................................................. 12 风险提示： ............................................................................................................................................................................................. 14 财务报表与盈利预测 ............................................................................................................................................................................ 15 [Table_CompanyRptType1] 中科飞测（688361） 敬请参阅末页重要声明及评级说明 4 / 16 证券研究报告 图表目录 图表1公司产品发展历程 ......................................................................................................................................................................................... 5 图表2公司股权结构图 ............................................................................................................................................................................................. 6 图表3公司核心技术人员 ......................................................................................................................................................................................... 6 图表4公司营收及增速 ............................................................................................................................................................................................. 7 图表5公司归母净利润及增速 ............................................................................................................................................................................... 7 图表6公司主要业务营收占比（%） .............