半导体薄膜沉积设备加速放量，平台化布局打开成长空间

半导体薄膜沉积设备加速放量，平台化布局打开成长空间 微导纳米首次覆盖 本报告导读： 微导纳米以ALD技术为核心向CVD等薄膜沉积设备延伸，加快覆盖逻辑、存储及先进封装客户，半导体业务正由产品验证期迈向批量交付和平台化扩张阶段。 投资要点： 公司业务结构正由“光伏设备主导”转向“半导体设备驱动”。公司以原子层沉积（ALD）为核心，并向CVD等薄膜沉积技术延伸；2025年半导体设备收入达到8.81亿元，同比增长169.12%，收入占比由12.14%提升至33.50%，部分抵消了光伏设备收入下降30.52%的影响。随着国内晶圆厂扩产、先进制程材料层数增加及设备国产化推进，半导体业务有望成为公司中长期增长中枢。 公司已完成ALD设备的产业化验证，并逐步从单一设备向多工艺、多产品平台升级。公司多款ALD、CVD设备已获得重点客户验证并实现量产导入，High-k、金属化合物、硬掩模等先进工艺设备量产规模持续扩大；公司已取得逻辑、存储及先进封装领域客户的商业订单，部分ALD、CVD产品获得批量或重复订单。若新产品能够持续通过验证并形成批量采购，公司有望复制国内刻蚀、薄膜沉积设备厂商由单品突破到平台化扩张的成长路径。 收入和订单仍处于高增长通道。2025年公司营收26.33亿元、归母净利润2.19亿元，分别同比下降2.47%和3.23%；半导体设备处于放量初期，毛利率仅18.53%，同比下降9.15个百分点，但经营现金流已由负转正至3.91亿元。2026年一季度归母净利润 同比 下降75.01%，研发投入增长72.88%，公司仍处于高投入、扩产能和导入新品阶段；未来盈利弹性主要取决于半导体收入规模扩大、产品成熟度提升及毛利率修复。 风险提示：下游客户推进不及预期，下游扩产不及预期。 微导纳米过去五年的业务结构发生了明显切换：2021年仍主要按“专用设备”披露，收入约3.0亿元；从2022年开始拆分为光伏设备、半导体设备、配套产品及服务等，其中光伏设备迅速成为主力，2024年收入达到22.9亿元、占总收入约85%，是公司2022-2024年高增长的核心来源。但2025年光伏设备收入降至15.9亿元，同比下滑约31%，占比回落至约60%，显示光伏扩产周期放缓已经开始压制公司传统主业。 半导体设备业务收入从2022年的0.47亿元、2023年的1.22亿元、2024年的3.27亿元，进一步增长到2025年的8.81亿元，占收入比重升至约33%，已经从早期培育业务变成第二增长曲线。不过，半导体设备毛利率从2024年的27.7%下降到2025年的18.5%，说明放量阶段可能伴随产品结构、交付节奏、客户导入或价格竞争压力，短期对整体毛利率形成拖累。2025年公司整体收入仅小幅下降至约26.3亿元，但毛利率从2024年约40.0%降至约32.7%，主要就是光伏设备收入下滑叠加半导体设备低毛利放量所致。 配套产品及服务体量较小但质量较高，2025年收入约1.44亿元，毛利率仍有65.5%，具备一定利润稳定器属性。 本公司是本报告所述中微公司(688012),芯源微(688037),拓荆科技(688072),微导纳米(688147)的做市券商。本报告系本公司分析师根据中微公司(688012),芯源微(688037),拓荆科技(688072),微导纳米(688147)公开信息所做的独立判断。 本公司具有中国证监会核准的证券投资咨询业务资格 分析师声明 作者具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格或相当的专业胜任能力，保证报告所采用的数据均来自合规渠道，分析逻辑基于作者的职业理解，本报告清晰准确地反映了作者的研究观点，力求独立、客观和公正，结论不受任何第三方的授意或影响，特此声明。 免责声明 本报告仅供国泰海通证券股份有限公司（以下简称“本公司”）授权客户使用。本公司不会因接收人收到本报告而视其为本公司的当然客户。本报告仅在相关法律许可的情况下发放，并仅为提供信息而发放，概不构成任何广告。 本报告的信息来源于已公开的资料，本公司对该等信息的准确性、完整性或可靠性不作任何保证。本报告所载的资料、意见及推测仅反映本公司于发布本报告当日的判断，本报告所指的证券或投资标的的价格、价值及投资收入可升可跌。过往表现不应作为日后的表现依据。在不同时期，本公司可发出与本报告所载资料、意见及推测不一致的报告。本公司不保证本报告所含信息保持在最新状态。同时，本公司对本报告所含信息可在不发出通知的情形下做出修改，投资者应当自行关注相应的更新或修改。 本报告中所指的投资及服务可能不适合个别客户，不构成客户私人咨询建议。在任何情况下，本报告中的信息或所表述的意见均不构成对任何人的投资建议。在任何情况下，本公司、本公司员工或者关联机构不承诺投资者一定获利，不与投资者分享投资收益，也不对任何人因使用本报告中的任何内容所引致的任何损失负任何责任。投资者务必注意，其据此做出的任何投资决策与本公司、本公司员工或者关联机构无关。 本公司利用信息隔离墙控制内部一个或多个领域、部门或关联机构之间的信息流动。因此，投资者应注意，在法律许可的情况下，本公司及其所属关联机构可能会持有报告中提到的公司所发行的证券或期权并进行证券或期权交易，也可能为这些公司提供或者争取提供投资银行、财务顾问或者金融产品等相关服务。在法律许可的情况下，本公司的员工可能担任本报告所提到的公司的董事。 市场有风险，投资需谨慎。投资者不应将本报告作为作出投资决策的唯一参考因素，亦不应认为本报告可以取代自己的判断。在决定投资前，如有需要，投资者务必向专业人士咨询并谨慎决策。 本报告版权仅为本公司所有，未经书面许可，任何机构和个人不得以任何形式翻版、复制、发表或引用。如征得本公司同意进行引用、刊发的，需在允许的范围内使用，并注明出处为“国泰海通证券研究”，且不得对本报告进行任何有悖原意的引用、删节和修改。 若本公司以外的其他机构（以下简称“该机构”）发送本报告，则由该机构独自为此发送行为负责。通过此途径获得本报告的投资者应自行联系该机构以要求获悉更详细信息或进而交易本报告中提及的证券。本报告不构成本公司向该机构之客户提供的投资建议，本公司、本公司员工或者关联机构亦不为该机构之客户因使用本报告或报告所载内容引起的任何损失承担任何责任。 评级说明 投资建议的比较标准 投资评级分为股票评级和行业评级。 以报告发布后的12个月内的市场表现为比较标准，报告发布日后的12个月内的公司股价（或行业指数）的涨跌幅相对同期的沪深300指数涨跌幅为基准。 国泰海通证券研究所 地址上海市黄浦区中山南路888号