玫瑰光刻机系统极为复杂,其中包括光源系统、光学系统、工件台/掩模台系统、自动对准系统、调焦调平测量系统、硅片/掩模传输系统、框架/减振/环境控制系统、整机控制系统等。光刻机中的光学系统是其最关键且最复杂的部分之一,包括照明系统和投影物镜两大核心组成部分,而物镜是光刻机实现精准成像的关键部件。
玫瑰国内光刻机国产替代市场空间广阔,i-line设备量产,D系列已经在路上,E可期。中国大陆地区的销售额在ASML整体销售额占比在2024年达到约36%,对应约84.6亿美元。预计2026年,我国半导体设备市场规模超过4000亿元人民币,光刻设备的市场规模占比超过17%,对应约680亿元市场。根据茂莱光学可转债募集说明书,在光刻环节,深紫外光刻机(DUV)正在加紧部署产业化。
玫瑰建议持续关注光刻机产业链相关零部件上市公司,其中
庆祝光源系统环节包括福晶科技、波长光电;
庆祝照明系统和投影物镜环节包括茂莱光学、奥普光电、福晶科技、永新光学、苏大维格(上海语荻),洪田股份(至臻光学),
庆祝加工设备包括汇成真空、菲沃泰、洁美科技等。
玫瑰光刻机系统极为复杂,其中包括光源系统、光学系统、工件台/掩模台系统、自动对准系统、调焦调平测量系统、硅片/掩模传输系统、框架/减振/环境控制系统、整机控制系统等。光刻机中的光学系统是其最关键且最复杂的部分之一,包括照明系统和投影物镜两大核心组成部分,而物镜是光刻机实现精准成像的关键部件。
玫瑰国内光刻机国产替代市场空间广阔,i-line设备量产,D系列已经在路上,E可期。中国大陆地区的销售额在ASML整体销售额占比在2024年达到约36%,对应约84.6亿美元。预计2026年,我国半导体设备市场规模超过4000亿元人民币,光刻设备的市场规模占比超过17%,对应约680亿元市场。根据茂莱光学可转债募集说明书,在光刻环节,深紫外光刻机(DUV)正在加紧部署产业化。
玫瑰建议持续关注光刻机产业链相关零部件上市公司,其中
庆祝光源系统环节包括福晶科技、波长光电;
庆祝照明系统和投影物镜环节包括茂莱光学、奥普光电、福晶科技、永新光学、苏大维格(上海语荻),洪田股份(至臻光学),
庆祝加工设备包括汇成真空、菲沃泰、洁美科技等。