申万宏源零部件国产替代新主线 半导体设备5讲

核心观点与市场分析

零部件是半导体设备国产替代的下一个主线，未来国内半导体设备国产化率有望达到50%以上。零部件环节具有更强的边际弹性，因为全球化导致整机交货周期拉长，零部件产能瓶颈成为关键。国内整机设备瓶颈多在零部件材料上，一旦突破将加速整机国产替代。

零部件分类与市场格局

零部件主要分为机械加工类和配套辅助设备两大类，细分包括机械类、气体/液体真空系统类、电器类、仪器类、光学类等。全球零部件市场规模超过500亿美元，中国市场约70亿美元。真空系统、射频等离子、气路液体、光学器件、传动精密控制、辅助设备、核心专用器件、电器传感器等是主要细分领域。行业分散，专精特新赛道，国内企业有机会成为细分龙头。

中国市场与竞争格局

中国市场是全球最大需求市场，但国产化率低，海外品牌主导。真空系统、射频等离子、气路液体等领域仍由美日企业主导，光学器件由蔡司、尼康等主导，传动类和辅助设备国产化率也较低。国内企业如富创、新莱应材、正帆、中科仪、恒运昌、科玛科技、先锋金科、江峰电子等在部分领域实现国产替代。

半导体零部件国产替代趋势

整机设备国产化后，零部件替代加速，下一轮半导体贝塔可能诞生于零部件环节。国内企业如美利信、科瑞等向该领域渗透，产业即将迎来爆发周期。

中科仪案例分析

中科仪是国内唯一在半导体清洁中等苛刻工艺中实现批量化应用的国产半导体真空泵企业。公司产品应用于集成电路制造15个重要环节中的11个，覆盖率达70%。随着晶圆厂扩产和向先进制程迁移，对干式真空泵需求显著提升。

公司优势与推荐逻辑

1. 国产替代属性：国内市占率13%，客户如长鑫、长存大规模扩产，订单供不应求。公司产品性能与海外巨头持平，未来将全面替代海外产品。
2. 毛利率改善：产品结构向高价值苛刻工艺用泵倾斜，未来将推出第三代新品，竞争对手也提价，预计毛利率修复至35%左右。
3. 业务拓展：维保业务深化，成为业绩中流砥柱。横向扩张推出半导体前道温控设备（Chiller）和尾气处理装置（Scrubber），市场空间广阔。

未来展望与估值

预计26-28年收入分别为16.83、23.67、29.65亿元，净利润分别为2.33、2.60、2.99亿元，对应PE分别为73、65、56倍，PS为10、7、6倍。维持买入评级。

会议结束声明

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