半导体设备零部件2024年&2025一季报总结：业绩有所分化，持续受益于国产设备放量+国产替代加速

核心观点

• 2024年半导体设备零部件板块营收和利润端均表现亮眼，主要受益于国产设备放量和国产替代加速。2025年Q1受前道设备订单放缓和海外囤货影响，营收增速有所下滑，但整体仍保持增长态势。
• 龙头公司盈利持续亮眼，2024年归母净利润同比增长31.13%，净利率保持稳定。2025Q1归母净利润增速有所放缓，但盈利水平仍有所提升。

关键数据

• 2024年半导体设备零部件板块合计营收193.64亿元，同比增长33.70%；2025Q1营收42.15亿元，同比增长16.51%。
• 2024年半导体设备零部件板块合计归母净利润22.86亿元，同比增长31.13%；2025Q1归母净利润4.17亿元，同比增长0.71%。
• 2024年半导体设备零部件板块合计存货93.03亿元，同比增长0.75%；2025Q1存货93.77亿元，同比下降4.54%。

研究结论

• 半导体设备零部件板块兼具弹性和成长性，国产设备持续放量和国产替代加速将推动板块发展。
• 重点推荐领域包括气/液路、射频电源、光学类等环节，相关受益标的包括新莱应材、英杰电气、正帆科技等。
• 关注具有高成长性潜力的公司，如珂玛科技、先锋精科、富创精密等。

风险提示

• 海外制裁力度超预期、半导体行业景气度下滑、晶圆厂资本开支不及预期、行业竞争格局恶化等。