半导体设备零部件2024年&2025一季报总结：业绩有所分化，持续受益于国产设备放量+国产替代加速

核心观点订单放缓+研发投入影响短期业绩，龙头公司盈利持续亮眼。半导体设备零部件选取8家公司【新莱应材】【英杰电气】【正帆科技】【富创精密】【先锋精科】【珂玛科技】【华亚智能】【江丰电子】。1）收入端：2024&2025Q1半导体设备零部件板块合计营收193.64、42.15亿元，分别同比+33.70%、+16.51%，2024年收入明显提升主要受益于国产设备放量，2025Q1同比增速有所下滑主要系24Q4前道设备订单放缓，叠加零部件海外囤货。2）利润端：2024&2025Q1板块合计归母净利润22.86、4.17亿元，分别同比+31.13%、+0.71%，2024年归母净利润提升明显，净利率稳定；2025Q1归母净利润降速明显，盈利水平有所承压，其中毛利率下滑系产能利用率影响，费用率提升系人才激励、研发投入等加大。3）存货&合同负债：2024&2025Q1板块合计存货93.03、93.77亿元，分别同比+0.75%、-4.54%，增速下滑，一定程度反映2024年末板块新接订单同比有所降速。零部件交付—确收周期较短，预付比例低，因此合同负债对于在手订单指引较弱。零部件收入确认更趋同于前道设备的生产和出货，2025年至今前道设备公司实际新接订单高速增长，且未来扩产招标预期乐观，指引零部件板块全年收入动能充足。国产设备放量+替代加速，半导体设备零部件板块兼具弹性与成长性。1）下游积极扩产，国产设备持续放量：2024年半导体设备国产化率仅21%，结合AMAT、TEL、KLA等指引了2025年中国大陆地区收入占比有望回归正常，看好本土设备商份额快速提升。2）设备商上清单，零部件国产替代有望提速：国内设备商集体被列入实体清单，美系零部件将难以获取（采取推定拒绝），美系厂商世伟洛克、派克汉尼汾等已告知实体清单上的140家客户列为禁售，相关环节格局重塑，利好本土零部件厂商加速替代。3）自主可控需求强化，板块投资兼具弹性与成长性：①重点关注气/液路、射频电源、光学类等美系主导+空间大的环节，相关厂商有望受益于制裁带来的业绩弹性预期。②除美系外，日韩厂商同样占据零部件市场较大份额，国内设备龙头加速供应链全面国产化，同样看好产品力足够充分，市占率持续快速提升的细分赛道龙头玩家。投资建议：零部件国产替代加速，板块投资兼具弹性与成长性，看好相关机会。国内零部件平台化龙头推荐【富创精密】、气/液路环节推荐【新莱应材】【正帆科技】、射频电源环节受益标的【英杰电气】、先进陶瓷零部件环节受益标的【珂玛科技】、核心工艺零部件受益标的【先锋精科】、光学精密零部件加工推荐【华辰装备】、其他受益标的【江丰电子】【华亚智能】【汉钟精机】。风险提示：海外制裁力度超预期、半导体行业景气度下滑、晶圆厂资本开支不及预期、行业竞争格局恶化等。 1 核心观点表：半导体设备零部件行业重点公司2024&2025Q1主要业绩情况资料来源：Wind，华西证券研究所整理2024年营收（亿元）新莱应材28.49富创精密30.40正帆科技54.69英杰电气17.80华亚智能6.27汉钟精机36.74江丰电子36.05珂玛科技8.57先锋精科11.36 2024&2025Q1八家半导体设备零部件公司合计营收193.64、42.15亿元，分别同比+33.70%、+16.51%，2024年板块营收增速明显提升主要受益于国产设备放量，2025Q1同比增速有所下滑主要系去年Q4前道设备订单放缓，叠加零部件海外囤货。进一步分析：2024&2025Q1珂玛科技、先锋精科、江丰电子、华亚智能同比增速超过30%，好于板块表现；其中珂玛科技、先锋精科同比增速均超过40%，表现最为出色，与其核心产品持续放量有关；江丰电子保持较好增速，主要系Showerhead、硅电极等放量。2025Q1各公司均出现一定降速，其中富创精密、正帆科技、英杰电气、新莱应材营收增速降幅较为明显，主要系制裁升级、春节等因素，国产设备订单增长短期有所放缓，且存在海外囤货行为；2025Q1华亚智能同比高增主要系并表苏州冠泓。此外，考虑多数零部件公司原有主业持续承压，半导体业务营收实际增速好于表观数据。资料来源：Wind，北京半导体协会，华西证券研究所1、收入端：2024年明显提升，2025Q1同比有所降速图：2024&2025Q1半导体设备零部件营收同比+33.70%、+16.51%82.87120.27144.82193.6442.1555.64%45.13%20.41%33.70%16.51%15%25%35%45%55%65%05010015020025020212022202320242025Q1营业收入（亿元）yoy图：2024年半导体设备零部件整体营收表现出色，2025Q1出现一定分化-20%0%20%40%60%80%100%120%新莱应材富创精密正帆科技英杰电气华亚智能江丰电子珂玛科技先锋精科2024年营收同比 2025Q1营收同比 2024&2025Q1八家半导体设备零部件公司合计归母净利润22.86、4.17亿元，分别同比+31.13%、+0.71%，2024年归母净利润提升明显，盈利水平基本保持稳定；2025Q1归母净利润降速明显，且低于营收端增速，盈利水平有所承压。进一步分析：2024&2025Q1珂玛科技、江丰电子、正帆科技归母净利润增速表现出色，同比增长持续超过30%；其中珂玛科技同比增速分别为+280%、+73%，利润高增持续兑现，表现最为出色，与其高毛利的陶瓷加热器持续放量有关。2025Q1江丰电子、正帆科技归母净利润增速较2024年有所提升，且高于营收端增速，盈利水平改善明显；2025Q1富创精密、先锋精科、新莱应材等归母净利润出现较大下滑，主要系股权激励、人才储备等费用增加、研发投入加大，部分公司仍受主业（光伏/新能源）拖累。资料来源：Wind，华西证券研究所图：2024&2025Q1半导体设备零部件归母净利润同比+31.13%、+0.71%图：2024&2025Q1半导体设备零部件归母净利润增速分化明显1、利润端：2024年盈利水平保持稳定，2025Q1同比有所下滑10.1218.0217.4322.864.1760.38%78.02%-3.25%31.13%0.71%-10%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%051015202520212022202320242025Q1归母净利润（亿元）yoy-150%-100%-50%0%50%100%150%200%250%300%新莱应材富创精密正帆科技英杰电气华亚智能江丰电子珂玛科技先锋精科2024年归母净利润同比2025Q1归母净利润同比 2024&2025Q1八家半导体设备零部件公司归母净利率为11.80%、9.90%，分别同比-0.23pct、-1.90pct；扣非后归母净利率为10.82%、7.84%，分别同比+0.64pct、-2.98pct。不难发现，2024年半导体设备零部件板块扣非盈利水平有所提升，2025Q1板块整体盈利水平下滑明显。进一步分析：2024&2025Q1珂玛科技、江丰电子是板块中少有的、盈利能力连续提升的公司，其中珂玛科技提升最为明显，净利率分别同比+19.23pct、+3.75pct，主要系产品结构优化&规模效应；2025Q1江丰电子净利率大幅提升系资产处置收益。先锋精科2024年净利率提升明显，2025Q1却明显下滑，与其毛利率大幅下降有关。2024&2025Q1富创精密、英杰电气、华亚智能等净利率持续下滑，主要系研发投入加大、股权激励、战略性投入等费用增加。资料来源：Wind，华西证券研究所图：2025Q1半导体设备零部件归母、扣非归母净利率为9.90%、7.84%图：2025Q1珂玛科技、江丰电子、正帆科技同比出现改善1、净利率：2025Q1同比有所下滑，分化较为明显5%7%9%11%13%15%202020212022202320242025Q1归母净利率扣非归母净利率-15-10-50510152025新莱应材富创精密正帆科技英杰电气华亚智能江丰电子珂玛科技先锋精科2024年归母净利率变动（pct） 2025Q1归母净利率变动（pct） 2024&2025Q1八家半导体设备零部件公司毛利率为29.25%、29.87%，分别同比+0.64pct、-1.36pct，2024年多数公司毛利率有所改善，考虑质保金调整，实际情况会更好；但2025Q1各公司毛利率均出现不同程度下滑。进一步分析：2024年多数公司毛利率小幅改善，推测与收入结构优化&产能利用率提升有关，其中珂玛科技毛利率为58.5%，同比+18.72pct，领跑板块，主要系高毛利陶瓷加热器放量。2025Q1除江丰电子外，各公司毛利率均出现不同程度下滑，剔除质保金因素外，推测还受产品确收结构影响，例如英杰电气光伏业务确认较大收入。先锋精科2024年毛利率提升明显，2025Q1毛利率同比-8.80pct，主要系产能爬坡（靖江先捷产线技改、二厂建设完成），以及先进制程产品效率仍在优化，预计Q2逐步改善。资料来源：Wind，华西证券研究所图：2024&2025Q1半导体设备零部件毛利率为29.25%、29.87%图：2025Q1半导体设备零部件毛利率均有一定程度下滑1、毛利率：2024年略有改善，2025Q1出现不同程度下滑27%28%29%30%31%32%33%202020212022202320242025Q1毛利率-10-505101520新莱应材富创精密正帆科技英杰电气华亚智能江丰电子珂玛科技先锋精科2024年毛利率变动（pct） 2025Q1毛利率变动（pct） 1、费用率：呈现上升趋势，人才激励&研发投入加大图：2024&2025Q1半导体设备零部件期间费用率同比-0.59pct、+1.04pct资料来源：Wind，华西证券研究所2024&2025Q1八家半导体设备零部件公司期间费用率为16.07%、18.69%，分别同比-0.59pct、+1.04pct，呈现上升趋势，主要系股权激励等费用增加以及人员规模扩大。我们注意到2025Q1八家半导体设备零件公司研发费用率同比+0.04pct，环比+0.67%，主要系零部件上清单后，相关公司加大新品研发投入，此外考虑到多数公司业务广泛，单看半导体研发增长实际会更高。进一步分析：2024&2025Q1珂玛科技、先锋精科、江丰电子期间费用率同比均出现下降，主要系收入持续高速增长带来的规模效应。2024&2025Q1华亚智能、英杰电气、新莱应材期间费用率同比均出现提升，主要系股权激励及研发人员规模扩大，其中英杰电气/华亚智能2024年研发费用分别同比+40%/+50%。2025Q1富创精密、正帆科技期间费用率出现大幅提升，其中富创精密主要系战略投入集中释放，包括战略性人才扩招、用于关键技术攻关等研发投入。图：2024&2025Q1珂玛科技、先锋精科、江丰电子期间费用率出现下滑20.44%16.84%15.46%16.66%16.07%18.69%0%5%10%15%20%25%202020212022202320242025Q1销售费用率管理费用率研发费用率财务费用率期间费用率-8-6-4-202468新莱应材富创精密正帆科技英杰电气华亚智能江丰电子珂玛科技先锋精科2024年期间费用率同比（pct） 2025Q1期间费用率同比（pct） 7 1、存货：2025Q1同比有所下滑，结构性分化明显图：2024&2025Q1半导体设备零部件存货同比+0.75%、-4.54%pct资料来源：Wind，华西证券研究所2024&2025Q1八家半导体设备零部件公司存货为93.03、93.77亿元，分别同比+0.75%、-4.54%，维持历史高位水平，但增速下滑，一定程度反映了2024年末以来板块新接订单同比有所降速。进一步分析：2024&2025Q1先锋精科、珂玛科技、江丰电子、华亚智能存货同比增速均超过25%，好于板块表现，其中珂玛科技