半导体设备&零部件行业2024年报&2025一季报总结：业绩持续高增，看好自主可控趋势下国产替代加速

⚫收入端延续高速增长态势，盈利水平进一步提升。我们选取14家半导体设备行业重点标的【北方华创】【中微公司】【拓荆科技】【华海清科】【长川科技】【芯源微】【至纯科技】【华峰测控】【盛美上海】【万业企业】【精测电子】【赛腾股份】【微导纳米】【中科飞测】和4家半导体零部件行业重点标的【英杰电气】【汉钟精机】【新莱应材】【富创精密】。1）收入端：2024&2025Q1十四家半导体设备企业合计实现营业收入732.2/177.4亿元，同比+33/+37%；四家半导体零部件企业合计实现营业收入113.4/24.7亿元，同比+9/-6%；2）利润端：2024&2025Q1十四家半导体设备企业合计实现归母净利润119.0/25.8亿元，同比+15/+37%，四家半导体零部件企业合计实现归母净利润16.1/2.0亿元，同比-5/-45%；3）费用端：2024&2025Q1十四家半导体设备企业期间费用率为34.7/38.9%，同比+0.5/-5.2pct，2024&2025Q1四家半导体零部件企业期间费用率为15.8/18.9%，同比-0.3/+2.4pct；4）订单方面：2024&2025Q1十四家半导体设备企业合同负债合计分别为192.1/199.1亿元，同比+14.1/+6.3%，2024&2025Q1四家半导体零部件企业合同负债合计为14.1/14.4亿元，同比-12.8/-13.8%。⚫看好自主可控趋势下，设备&零部件国产替代加速。1）先进逻辑/存储厂商持续扩产，叠加先进制程设备继续突破放量，看好逻辑&存储厂商扩产带来半导体设备&零部件需求上升；2）国产半导体设备商均开启平台化布局，北方华创、中微公司、拓荆科技、盛美上海均有全新品类设备亮相，看好半导体设备公司平台化加速，不断拓宽产品种类打造一体化解决方案；3）半导体设备国产化率仍有较大空间，看好半导体设备公司差异化竞争，国产替代逻辑仍然生效；4）受益于AI芯片浪潮加速，看好下游封测设备起量，特别是测试设备国产化进程顺利，有望实现国产化替代放量。⚫投资建议：重点推荐前道平台化设备商【北方华创】【中微公司】，低国产化率环节设备商【芯源微】【中科飞测】【精测电子】，薄膜沉积设备商【拓荆科技】【微导纳米】，后道封装测试设备【华峰测控】【长川科技】【迈为股份】；零部件环节【新莱应材】【富创精密】【晶盛机电】【英杰电气】【汉钟精机】。⚫风险提示：半导体行业投资不及预期、设备国产化进程不及预期等。国内半导体设备商加速平台化布局，零部件国产替代进程加快 一、半导体设备：营收/存货&合同负债高增，利润端因研发投入等有所分化三、看好自主可控趋势下，设备&零部件国产替代加速二、半导体零部件：受其他业务影响业绩短期承压四、投资建议五、风险提示 数据来源：Wind，东吴证券研究所⚫2024年&2025Q1十四家半导体设备企业合计实现营业收入732.2/177.4亿元，同比+33/+37%，半导体设备公司收入端延续高速增长势头，表现十分亮眼。⚫半导体设备维持高增，前后道设备均迎来业绩放量。1）前道设备方面，微导纳米、北方华创、中微公司等前道设备及中科飞测等量测设备24&25Q1营收维持高增，同比均超过30%，系下游需求强劲同时覆盖客群扩大致订单高速增长进入收获期；赛腾股份24年营收下滑主因系受到消费电子业务拖累，其晶圆检测和量测设备业务2024年营收同比+116%，半导体设备板块亦实现高增；2）后道设备方面：长川科技、华峰测控等后道封测设备24年迎来高增，增速分别达105/31%，系半导体扩产顺周期已至，下游封测设备景气度回暖所致；24年万业企业营收下滑系受到房地产业务大幅拖累所致；◆图：2024&2025Q1半导体设备行业营收同比+33/+37%1.1收入端：营收端维持高增，增速亦有提升186.7276.7417.5551.9732.2177.448%51%32%33%37%0%10%20%30%40%50%60%0100200300400500600700800202020212022202320242025Q1营业收入(亿元)同比增速-50%0%50%100%150%200%◆图：2024&2025Q1设备环节营收增速表现出色，同比高增 42024营业收入同比2025Q1营业收入同比 数据来源：Wind，东吴证券研究所⚫2024&2025Q1十四家半导体设备企业合计实现归母净利润119.0/25.8亿元，同比+15/+37%，半导体设备公司利润端延续高速增长势头，表现亮眼。⚫半导体设备行业出现利润分化，部分利润下滑公司多为费用端拖累及其他业务板块利润承压所致。半导体设备方面，长川科技、华峰测控等后道封测设备归母净利润高增，系受益于封测行业回暖、测试设备国产化进度良好迎来突破；北方华创、盛美上海等前道设备也维持高增速；芯源微、中科飞测、精测电子、至纯科技等出现较大幅度下降，主要受到业务规模增长导致的高研发费用和人员成本及其他类型业务利润下滑拖累，其中中科飞测/精测电子半导体业务毛利润同比增长43/69%。◆图 ：2024&2025Q1半 导 体 设 备 归 母 净 利 润 同 比+15/+37%1.2利润端：利润增长因研发投入等出现分化◆图：2024&2025Q1半导体设备行业整体维持利润上行27.444.976.0103.1119.025.864%69%36%15%37%0%10%20%30%40%50%60%70%80%020406080100120140202020212022202320242025Q1归母净利润(亿元)同比增速-400%-300%-200%-100%0%100%200%300%400%500% 52024归母净利润同比2025Q1归母净利润同比 数据来源：Wind，东吴证券研究所⚫2024&2025Q1十四家半导体设备企业合计实现扣非归母净利润104.2/23.2亿元，同比+30/+35%，半导体设备公司利润端延续高速增长势头，表现亮眼。⚫半导体设备盈利分化，部分公司扣非归母净利润受费用端、计提规模及其他主营业务影响有所下滑。北方华创、中微公司、华海清科等前道设备扣非归母净利润仍然维持高增，且扣非归母利润增速高于归母净利润增速，真实盈利水平大幅提升；精测电子、中科飞测等量测设备厂商和至纯科技等扣非归母净利润大幅下滑，主要受到高研发费用和人员成本及其他类型业务利润下滑、计提减值规模较大及其他类型主营业务利润大幅下滑拖累。◆图：2024&2025Q1扣非归母净利润继续高增◆图：半导体设备整体仍然保持利润上涨，部分公司有所分化12.627.562.680.2104.223.2118%128%28%30%35%0%20%40%60%80%100%120%140%020406080100120202020212022202320242025Q1扣非归母净利润(亿元)同比增速-700%-500%-300%-100%100%300%2024扣非归母净利润同比1.2利润端：利润增长因研发投入等出现分化 2025Q1扣非归母净利润同比 6 数据来源：Wind，东吴证券研究所⚫2024&2025Q1十四家半导体设备企业毛利率为45.3/43.8%，同比-3.34/-6.28pct；整体来看有所下降。⚫半导体设备行业毛利率出现一定程度分化：半导体设备领域受制于产品结构变动，24年推出一系列新产品并对已有设备不断更新迭代，导致毛利率多有承压下行，芯源微、拓荆科技、微导纳米、中微公司、华海清科等24年毛利率均有不同程度下行；北方华创、万业企业、华峰测控24年毛利率出现小幅提升；中科飞测、赛腾股份等量测设备24年毛利率承压主因系受到其他业务拖累，二者的半导体量测设备毛利率分别上升0.7/0.9pct。◆图：2024&2025Q1半导体设备行业毛利率有所下行1.3毛利率：半导体设备由于新产品推出毛利率多有承压◆图：2024&2025Q1华峰测控、北方华创等毛利率出现小幅提升45%47%48%49%45%44%41%42%43%44%45%46%47%48%49%202020212022202320242025Q1毛利率-50%-40%-30%-20%-10%0%10%20%30%2024毛利率同比变动 2025Q1毛利率同比变动 7 数据来源：Wind，东吴证券研究所⚫2024&2025Q1十四家半导体设备企业销售净利率为12.6/7.5%，同比-5.17/+1.19pct，25Q1盈利能力迎来拐点。⚫半导体设备销售净利率基本持平，部分公司出现盈利能力改善拐点：1）前道设备，微导纳米、盛美上海等24年销售净利率同比下滑，但25Q1再度迎来大幅改善，证明公司进入盈利能力拐点；芯源微、拓荆科技24销售净利率同比下滑，主要系业务规模增长带来相关费用增幅短期上升。中科飞测24&25Q1销售净利率大幅下滑主要系研发费用持续高增叠加公司股份支付费用所致；精测电子24年销售净利率大幅下滑主因系显示业务毛利率承压所致。2）后道设备，长川科技24年销售净利率领跑全行业，主要系测试设备出货量大增同时控费效果良好，带来公司盈利能力高增。◆图：2024&2025Q1半导体设备行业销售净利率承压1.4销售净利率：整体基本持平，部分公司出现盈利能力改善拐点◆图：2024&2025Q1半导体设备销售净利率出现下滑18%19%19%18%13%8%0%5%10%15%20%25%202020212022202320242025Q1销售净利率-25%-20%-15%-10%-5%0%5%10%15%20%2024销售净利率同比2025Q1销售净利率同比 8 数据来源：Wind，东吴证券研究所⚫2024&2025Q1十四家半导体设备企业期间费用率为34.7/38.9%，同比+0.5/-5.2pct，2022-2024年半导体设备行业期间费用率上涨主因系研发费用不断加大。25Q1期间费用率同比回落显示控费效果良好。⚫半导体设备研发费用率持续上行：1）管理费用率和销售费用率方面，半导体设备行业24&25Q1销售费用率同比-1.85/-2.53pct、管理费用率同比变动+0.84/-3.77pct，其中24年管理费用小幅上行主要系万业企业房地产业务费用高增（同比增加20%）所致，扣除该影响后可见半导体设备行业控费效果良好。2）研发费用方面，半导体设备行业24&25Q1研发费用率同比+1.20/-1.11pct，大部分半导体设备行业都加速了研发费用投入，25Q1研发费用率增速略有下滑主因系该季度各公司营收增速较高，导致研发费用率受分母端影响增速有所下降。◆图：2024&2025Q1半导体设备行业研发费用率持续增长1.5费用率：研发费用率持续上行14.7%16.3%16.3%17.1%18.3%33.7%32.7%30.9%34.2%34.7%-5%0%5%10%15%20%25%30%35%40%45%20202021202220232024销售费用率管理费用率研发费用率财务费用率期间费用率 9◆图：2024&2025Q1半导体设备行业控费效果良好19.7%38.9%2025Q10%10%20%30%40%50%60%70%80%2024期间费用率2025Q1期间费用率 数据来源：Wind，东吴证券研究所⚫2024&2025Q1十四家半导体设备企业存货合计为626.9/669.7亿元，同比+34/+27%；创历史新高，主要系在手订单充足，发出商品和原材料大幅增长，同时由于全球供应链紧张，也进行一定原材料储备。◆图：2024&2025Q1半导体设备存货金额持续增加1.6存货：在手订单充足，存货金额创历史新高◆图：2024&2025Q1半导体设备行业存货均保持上涨119.1202.8342.2468.8626.9669.770%69%37%34%27%0%10%20%30%40%50%60%70%80%0100200300400500600700800202020212022202320242025Q1存货(亿元