前道化学清洗放量，新一代Track推进顺利

芯源微(688037)投资评级为“买入”或“维持”，主要基于以下几点：

核心观点与业务发展

1. 涂胶显影赛道：公司立足涂胶显影设备赛道，持续提升国内市场份额。2025年，公司前道涂胶显影机获得国内头部逻辑、存储、功率客户订单，客户认可度提升；后道涂胶显影机及单片式湿法设备巩固国内领先地位，获得封装龙头客户批量订单。公司高端前道设备已实现与全球主流光刻机联机量产，并布局新一代涂胶显影机架构，研发进展顺利，将推动工艺验证及产业化销售。
2. 化学清洗业务：公司实现化学清洗赛道跨越式发展，2025年营收同比增长11%，化学清洗首次贡献收入，预计占比持续提升。公司前道化学清洗机适用于多种工艺，洁净度达先进制程水平，已通过客户工艺验证，获得国内大客户重复性订单。
3. 先进封装布局：公司围绕先进封装稳步布局，自主研发全自动临时键合及解键合机，技术达国际先进水平，获得国内头部客户订单并全面量产。此外，Frame清洗设备已通过客户验证并逐步放量。

关键数据

• 2025年营收19.48亿元，同比增长11%。
• 化学清洗首次贡献收入，占比快速提升。
• 前道化学清洗机已获国内客户高度认可，获得重复性订单。
• 临时键合、解键合设备获得国内多家客户订单并全面量产。

研究结论

• 预计公司2026/2027/2028年收入分别为25/34/46亿元，归母净利润分别为2/4/6.7亿元。
• 维持“买入”评级。

风险提示

• 业绩大幅下滑或亏损风险、下游客户扩产不及预期或产能过剩风险、研发投入大幅增长风险、供应商供货不稳定或成本提升风险、应收账款回收风险、市场竞争加剧风险。