洁净室专题：AI先进制程发展下半导体资本开支扩张，洁净室下游高景气延续

洁净室专题：AI先进制程发展下半导体资本开支扩张，洁净室下游高景气延续 挖掘价值投资成长 强于大市（维持） 2026年06月24日 东方财富证券研究所 证券分析师：王翩翩证书编号：S1160524060001联系人：陈怡洁 【投资要点】 洁净室：上游供应稳定、国产化率提升，下游高景气。洁净室是将空气中的微粒子等微污染物排除，并将室内的洁净度等控制在需求范围内而特别设计的空间。其上游主要为FFU、过滤器、AMHS系统等材料和设备，多数产品为标准化产品，供应充足，国内品牌逐步占领主导地位（FFU供应商美埃科技2019-22三年市占率提升25%+至30%）。下游方面，洁净室客户主要为集成电路、光伏、显示面板、医药、食品等厂商，2022年电子信息类洁净室市场规模为1305亿元，占比54.2%。而半导体集成电路对洁净度的要求最高，供应壁垒较高，头部洁净室厂商有望受益半导体洁净室需求提升。 相关研究 《城市更新中央资金渐到位，重点关注低位内需公司，继续推荐弹性转型标的》2026.06.14 《英伟达AIPC推动C端AI应用及端侧推理需求，继续推荐转型及内需托底标的》2026.06.08《布局科技转型、出海、内需托底修复三个方向，寻找超额收益》2026.06.05《关注内需政策加码+科技底层技术突破，推荐新质生产力标的及建筑央国企》2026.05.31《弱现实下继续看好科技及能源方向，推荐优质转型标的+头部央国企》2026.05.25 洁净室需求：海外景气度持续向上，国内自主可控背景下资本开支持续扩张。根据德勤预测，2026年全球半导体市场规模有望在AI需求的增长带动下同比+26.3%，其中生成式AI芯片占比有望达50%。在此背景下2026年全球300mm晶圆厂设备支出预计将增长12%至1305亿美元，其中中国未来4年将保持每年300亿美元以上的投资规模出。拆分各地资本开支计划来看，1）北美：CHIPS法案十年投入2800亿美元，约767亿美元用于半导体行业，带动半导体产业回流。头 部 厂 商 英 特 尔/台 积 电/三 星/美 光/德 州 仪 器， 计 划 投 资 约1265/1650/400/1150/180亿美元。2）东南亚：美光、英飞凌等厂商直接投资，如美光将在新加坡投资240亿美元建造新厂，预计将新增6.5万平方米洁净室面积，同时马来西亚、越南封测产业完备，未来半导体产业有望增长。3）国内：自主可控背景下，国内厂商资本开支有望提升。根据Yole整理，2025-2030年中国大陆仍将新建21个fab，而长鑫、长存的上市或为其带来进一步资本开支扩张的资金支持。经统计中芯国际上海12寸晶圆厂、天津12寸晶圆厂、深圳12寸晶圆厂二期仍在建设中；长鑫存储仍在推进DRAM三期、上海HBM封装厂等项目；长江存储3D NAND四+五期仍未建设。 洁净室供给：先进制程提升洁净室供应壁垒，客户绑定+项目经验构筑核心壁垒。先进制程存储芯片生产所需的洁净室已达到ISO 1级标准，供应壁垒进一步提升；而洁净室核心工程师的培养周期长（通常为2-3年），短期内无法快速补充人才缺口，洁净室短期供应处于供不应求。同时洁净室整体工程+维护期期限在1年以上，工程期限整体较长、和业主方绑定较深，当前头部厂商中台资企业汉唐集成深度绑定台积电；亚翔工程绑定联电、美光；圣晖集成绑定台积电、日月光等。而中资企业中头部厂商柏诚股份绑定中芯国际、长鑫、长存等；深桑达（中电二、中电四）深度绑定中芯国际、英特尔等。头部企业具备客户粘性强、项目经验丰富的核心壁垒，同时有望随业主方赴美、新加坡等海外地区进一步拓展市场。 【配置建议】 我们看好洁净室行业在高需求和供给刚性背景下延续高景气度，建议关注出海进程有望加速的台资头部企业【亚翔集成】、【圣晖集成】，布局数据中心等高景气下游、26年订单高增的内资头部企业【柏诚股份】，同时建议关注【深桑达A】以及洁净室上游FFU等材料供应商【美埃科技】。 【风险提示】 半导体厂商资本开支扩张不及预期；新竞争对手的进入使得供给刚性不足的风险；回款不及预期。 正文目录 1.洁净室：上游国产化率提升，下游电子等领域呈现高景气........................51.1.洁净室定义及用途...................................................................................51.2.产业链：上游供给稳定、国产化率提升；下游需求呈现高景气..............51.3.洁净室分类及要求：半导体集成电路对洁净度的要求最高.....................91.4.项目模式：项目期限长，客户粘性高....................................................122.需求端：海外景气度持续向上，国内自主可控背景下资本开支持续扩张132.1.海外：AI算力引爆全球半导体需求，景气持续向上..............................132.1.1.北美：CHIPS法案后本土产业回流，半导体投资大幅提升...............152.1.2.东南亚：美光等行业巨头纷纷投资，洁净室需求增长........................182.2.国内：自主可控背景下先进产线扩产，洁净室建设空间充足................213.供给端：供给刚性已成HBM扩产瓶颈，头部洁净室企业与业主形成深度绑定...................................................................................................................264.投资建议...................................................................................................325.风险提示...................................................................................................36 图表目录 图表1：洁净室用途......................................................................................5图表2：洁净室行业产业链...........................................................................5图表3：洁净室系统构成..............................................................................6图表4：风机过滤单元安装布局...................................................................6图表5：风机过滤单元结结构.......................................................................6图表6：高效过滤器（HEPA）.....................................................................7图表7：初中效过滤器..................................................................................7图表8：AAF微电子空气过滤解决方案........................................................7图表9：美埃科技半导体行业洁净空气解决方案..........................................7图表10：美埃科技制药行业洁净空气解决方案...........................................7图表11：格创东智AMHS产品矩阵.............................................................8图表12：2020-2025年中国AMHS市场规模（亿元）...............................8图表13：2024年中国AMHS细分领域市场规模占比（%）......................8图表14：中国AMHS行业主要企业介绍.....................................................9图表15：洁净室主要涉及下游领域..............................................................9图表16：洁净室主要分类..........................................................................10图表17：工业洁净室构成..........................................................................10图表18：生物洁净室构成..........................................................................10图表19：不同行业对洁净室洁净度要求....................................................10图表20：洁净室及洁净区空间洁净度整数等级..........................................11图表21：2022年中国洁净室细分市场结构................................................11图表22：洁净室主要工作内容...................................................................12图表23：洁净室行业壁垒..........................................................................12图表24：2020-26E全球半导体市场规模及增长率....................................13图表25：2026年AI芯片收入占比有望达50%.........................................13图表26：2016-27E 300mm晶圆厂设备支出............................................14图表27：全球洁净室市场规模预测............................................................14图表28：CHIPS法案规定在未来十年内投入2800亿美元.......................15图表29：截至2024年底受益于CHIPS法案的企业.................................15图表30：CHIPS法案后英特尔北美资本开支计划.....................................16图表31：CHIPS法案后台积电北美资本开支计划.....................................16图表