半导体零部件行业：景气向上叠加自主可控，国产替代进入加速期

证券研究报告 行业深度分析报告/2026.05.17 投资评级:看好（维持） 核心观点 ❖全球半导体周期明确向上，为上游零部件注入强劲需求动能。AI算力、高性能计算与HBM存储需求的爆发式增长，正成为本轮景气上行的核心驱动力。据QYResearch统计预测，2025年全球AI芯片市场规模已突破千亿美元，未来年复合增速超20%。终端需求的旺盛直接拉动晶圆厂资本开支进入新一轮上行通道，海内外头部晶圆厂同步加码扩产，台积电、中芯国际、长鑫存储、长江存储等均处于产能建设高峰期。半导体零部件是设备制造的核心基底，在整机成本中占比高达约70%，直接决定设备性能、制程精度与生产良率，是产业链自主可控的关键底层环节。当前全球零部件市场格局高度集中，国内国产化率仅约7.1%，在地缘格局变化、供应链安全诉求提升与出口管制升级的背景下，行业迎来景气上行+国产替代的历史性战略机遇，成长空间广阔。 分析师唐佳SAC证书编号：S0160525110002tangjia@ctsec.com 分析师詹小瑁SAC证书编号：S0160525120008zhanxm@ctsec.com 国产替代正从“单点突破”迈向“系统破局”，本土零部件企业迎来最佳窗口期。当前美日欧企业在多数高端半导体零部件领域仍占据主导地位，静电卡盘、MFC等核心品类国产化率不足5%，整体替代空间巨大。随着国内半导体设备整机国产化率突破35%并迈入加速爬坡段，对上游零部件的本土配套需求同步释放，推动国内企业在金属件、硅部件、石英件、真空阀、射频电源、精密光学等关键赛道取得实质性突破：富创精密具备7nm制程零部件的量产能力，神工股份硅电极业务已成为国产替代主力，凯德石英高端石英制品加速向12英寸产线渗透，江丰电子、珂玛科技静电卡盘已导入头部客户，英杰电气、恒运昌的射频电源实现批量供货，正帆科技GasBox产品已打破国外垄断，成为国内半导体气体输送模组领域的主要供应商。国产替代与行业高景气形成双重共振，国内零部件企业正迎来历史性发展机遇。 相关报告 1.《超节点专题报告一：国产超节点落地提速，供应链环节弹性可期》2026-04-232.《半导体材料——景气上行叠加工艺通胀，国产替代开启成长新篇》2026-04-133.《LPU专题报告一：架构创新突破大模型推理延迟瓶颈，广阔市场空间有望快速放量》2026-03-16 ❖投资建议：建议重点关注具备核心技术壁垒、深度绑定下游龙头客户、且产品已进入放量阶段的本土零部件企业。建议重点关注：富创精密、江丰电子、新莱应材、正帆科技、神工股份、凯德石英、珂玛科技、茂莱光学、恒运昌、英杰电气。 ❖风险提示：下游需求不及预期、技术研发不及预期风险、市场竞争加剧风险、供应链与原材料“卡脖子”风险、国际贸易与政策管制风险、产能扩张与经营管理风险。 内容目录 1行业景气上行，国产替代共振...................................................................................61.1筑牢设备发展根基，突破产业自主瓶颈...................................................................61.2市场复苏势头强劲，替代浪潮大势所趋...................................................................61.3需求扩容强劲驱动，自主可控加速推进...................................................................71.3.1全球资本开支持续跃升，国内先进制程双线并进....................................................81.3.2AI需求持续爆发，国产替代全面提速..................................................................92半导体零部件分类及重点品类分析............................................................................102.1机械类零部件....................................................................................................102.1.1金属件..........................................................................................................112.1.2硅件.............................................................................................................112.1.3石英件..........................................................................................................132.1.4陶瓷件..........................................................................................................142.2气液&真空系统类零部件.....................................................................................152.2.1真空阀..........................................................................................................152.2.2MFC............................................................................................................162.3电气类零部件....................................................................................................182.4机电一体化类零部件...........................................................................................192.4.1EFEM..........................................................................................................192.4.2机械手..........................................................................................................212.5光学类零部件....................................................................................................222.6仪器仪表类零部件..............................................................................................243投资建议.............................................................................................................263.1富创精密..........................................................................................................263.2江丰电子..........................................................................................................263.3新莱应材..........................................................................................................273.4正帆科技..........................................................................................................273.5神工股份..........................................................................................................28 3.6凯德石英..........................................................................................................293.7珂玛科技..........................................................................................................293.8茂莱光学..........................................................................................................303.9恒运昌.............................................................................................................313.10英杰电气.......................................................................................................314风险提示.............................................................................................................32 图表目录 图1：半导体设备及零部件产业链结构.........................................................................6图2：全球半导体市场规模以及预测............................................................................7图3：全球半导体设备市场规模及预测.............