开源电子恒运昌上市关注射频电源国产化趋势事件今日恒运昌

事件：今日恒运昌上市，射频电源作为国产设备零部件领域又一核心领域，值得重视。 射频电源是刻蚀、薄膜沉积核心零部件之一在薄膜沉积设备中，射频电源用于产生电场电离产生等离子体，活化等离子体加速反应，且能避免高温。 刻蚀中能生成有方向性的带电离子，实现精准刻蚀和高深宽比刻蚀等。 国产化率 【开源电子】恒运昌上市，关注射频电源国产化趋势 事件：今日恒运昌上市，射频电源作为国产设备零部件领域又一核心领域，值得重视。 射频电源是刻蚀、薄膜沉积核心零部件之一 在薄膜沉积设备中，射频电源用于产生电场电离产生等离子体，活化等离子体加速反应，且能避免高温。 刻蚀中能生成有方向性的带电离子，实现精准刻蚀和高深宽比刻蚀等。 国产化率极低、市场空间容量大当前射频电源及匹配器由国际厂商垄断，美国MKS和澳大利亚AE合计份额在87%以上，国产化率不及12% 市场空间而言，当前国内半导体射频电源+匹配器市场规模约为120亿元，预计2030年有望达到200亿元。 射频电源国产替代有望加速国产射频电源从0-1，当前正进入加速期，如恒运昌最新一代Aspen系列已经可支撑7-14nm节点的先进制程，实现量产交付国内头部设备厂与Fab厂。 随国产半导体设备步入快车道，射频电源有望同步受益。 受益标的： 恒运昌、北方华创（华丞电子）、英杰电气、联影医疗、神州半导体（上市辅导中）