台积电在本周发布的2025年第四季度财报中,将2026年资本开支指引上调至520亿至560亿美元,同比增长32%,并暗示未来几年可能进一步提高。基于此,分析师上调了台积电EUV光刻机需求预测:2026年从约20台上调至29台,2027年从28台上调至40台,主要因A14工艺产能建设提前至明年以备2028年使用。维持2025年向台积电交付约18台低数值孔径(low NA)EUV工具的预测。此外,预计英特尔和三星在工艺开发方面将有所改善,到2027年各采购5-6台EUV工具。总计,2027年逻辑/代工领域EUV工具交付量预计达52台,较此前预测的25-30台大幅提升。