公司2024年上半年实现营收4.64亿元,同比增长26.91%,但归母净利润为-0.68亿元,扣非归母净利润为-1.15亿元,同比转亏。主要原因是市场需求旺盛,客户订单量持续增长,合同负债达6.28亿元创历史新高。研发投入大幅增加(同比增长114.22%至2.07亿元)和股份支付费用(新增2851.70万元)导致利润承压。多款重要设备研发取得进展,如明场和暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备已小批量出货并进入客户产线验证。预计2024-2026年营收分别为12.42/18.16/24.15亿元,归母净利润分别为1.41/2.14/4.11亿元,对应PE分别为123.19/81.10/42.30倍,维持“增持”评级。风险提示包括半导体市场景气度下行、海外供应风险、国内需求放缓、高端设备研发不及预期及行业竞争加剧。