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炬光科技DUV光刻机核心部件布局及光场匀化器进展

2026-07-28 未知机构 生产-肖徐-审核报告小号
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炬光科技:炬光科技:DUV光刻机核心部件布局及光场匀化器进展光刻机核心部件布局及光场匀化器进展 2026年7月28日2阅读 摘要 本文介绍了炬光科技的光刻机相关业务布局,公司多年为全球高端光刻机生产商的核心设备提供光场匀化器这一核心激光光学元器件,且该产品已应用于国产光刻机样机,单套产品价值量在数十万元至近百万元,公司还计划向更高价值的光学模组等产品延伸。 今日阅读配额已用完 您的每日阅读次数已达上限,请明天再来