国产浸润式DUV光刻机产业链已进入量产前夜,主要零部件供应商包括:茂莱光学(曝光物镜)、汇成真空(镀膜设备)、菲沃泰(薄膜耗材)、美利信(腔体机械臂减震器)、波长光电(照明系统)。
光刻机量产后,零部件供应将成为配套设备的扩产瓶颈,关键配套设备供应商包括:富创精密(平台型龙头)、江丰电子(静电卡盘)、正帆科技(气体传输系统)、珂玛科技(陶瓷加热器)、神工股份(硅零部件)、新莱应材(超高纯阀门)、京仪装备(温控装置)、埃科光电(工业相机)。
国产浸润式DUV光刻机将来量产将带动配套设备需求,主要供应商包括:芯源微(涂胶显影机)、飞测/精测(量检测设备)、先导基电(离子注入机)、华海清科(抛光减薄)、拓荆科技(薄膜沉积与混合键合)、华创/中微(刻蚀设备)、长川/精智(测试设备)。