国产初代浸没式DUV光刻机的交付更多是政策考核节点的落地,而非具备量产价值的产业突破。市场普遍混淆了“验收交付”与“量产可用”的标准,同时严重高估了初代产品的技术水平,且误判了国内半导体制造的真实瓶颈。
一、交付节奏:符合预期,但“交付≠量产可用”
- 交付规模判断:今年交付5台、明年交付20台国产浸没式DUV的传闻符合产业预期,项目已多次延期,存在明确的考核交付压力,落地并不意外。
- 历史先例佐证:2023年上海微电子(smee)交付的6台干式DUV,已完成02专项验收、工信部与科技部验收,并入列工信部指导目录,实现了正式销售;但设备仅能完成基础曝光成像,每生产数小时就需重新对准,完全不满足晶圆量产需求。