关注:菲沃泰(DUV浸没式光刻机核心耗材防水镀膜的国内唯一供应商,已量产供货)、安孚科技(通过投资华昇迈切入光刻机核心子系统DUV光源的研发制造)、芯碁微装(直写光刻龙头,其技术在先进封装和高阶PCB领域可部分替代传统光刻,受益于光刻自主化大趋势)、苏大维格(具备激光直写与投影光刻技术,核心零部件已实现国产化)、茂莱光学(国产光刻机加速扩产的核心光学部件供应商)、汇成真空(国产光刻机加速扩产的核心真空系统供应商)