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国产浸没式光刻机交付现状分析
2026-07-28
未知机构
王英文
今年交付5台浸没式ArFi设备是合理且符合预期的,此前已有相关预测。
今年交付5台不代表该设备可直接用于量产线,第一代浸没式交付属于正常时间节点,且前有先例。
国产第一代浸没式设备在技术水平和性能上无法对标ASML的1980设备,仍需多代迭代提升。
由于国内多数晶圆厂已能采购到ASML的1980设备,国产设备未能超越该水平对国内产线无实际制程推进作用。
当前国内光刻机库存充足(包括1980、2050、2100等型号),急迫需求并非囤积设备,而是因美国出口管制导致美系设备采购受阻。
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