国海化工 光刻胶专家电话会

00:00:01 大家好，欢迎参加国海化工光刻胶专家电话会。目前所有参会者均处于静音状态。下面开始播报声明，国海证券研究所提醒您，一、本次电话会议仅面向符合国海证券投资者适当性管理要求的客户，以及受邀客户，第三方专家发言内容仅代表其个人观点，所有所表述的意见均不构成任何投资建议。二专家所述信息或所表述的意见均不构成国海证券研究所研究观点。如果专家发布的观点和国海证券研究所发布的观点有分歧或不一致，这也仅作为一种不同的分析角度，仅供投资者参考。 00:00:40 三，依照监管要求和保密原则，未经合法授权，严禁录音，记录，转发。感谢您的理解和配合。若本次交流内容不慎流出或涉嫌违反上述情形的，我们将保留追究法律责任的权利。再次感谢您对国海证券的理解和配合，谢谢，主讲嘉宾提示，本次会议中应。 00:01:02 避免传播尚未公开的内幕信息、诋毁同行的言论，确保会议内容合法合规。 00:01:10 好的，各位投资者大家晚上好啊，欢迎在大家在今天这个时间呢，参加我们本次渤海化工组织的光刻胶专家电话会啊，我是中海化工董国俊。那么今天呢，我们非常荣幸地邀请到了光刻胶行业的专家啊，给大家做一个详细的这个交流啊。喂，哎，大家能听到吗？哎喂，哎，可以听到，请说没信号，你说哎哎哎好，可以可以。哎，欢迎大家来到我们本次会议啊，那个那么我们今天呢邀请了这个光刻胶行业专家，然后给大家呢做一个交流啊。呃，我是国海化工董国俊啊，那个咱信号不太好。那么专家呢， 00:01:55 首先呢，我先这个抛砖引玉啊，这个向您这个呃这个请教一个问题啊，然后也正好借这个问题可能呃也给大家呢，再进一步的这个聊聊光刻胶啊。 00:02:07 就是首先咱们说现在整个这个半导体光刻胶这个产品呢，其实从包括最初的研发啊到这个 可能有一些送样，包括到后续的有量量产这个整体的这么一套流程下来，它具体是有哪些环节，然后周期有多久啊？就是每个环节的周期有多久，然后包括我们近期有没有观察到这个下游客户对这种啊，咱们这个光伏胶整个产业链的一个。速度有加快的这种情况啊这个问题首先先请您帮我们解答一下，好谢谢嗯。好的，那个我大概跟呃各位去去说一下， 00:02:49 大概的一个光胶的测试进程和现在的一个情况吧。 00:02:53 呃，其实光刻胶呢大概分几个市场，刚才您讲是在半导体这一块儿。呃，其实光刻胶主要是用在最早是用在PSPCB线路板，后面呢就LCD，后来呢在现在最高端的应该就是IC IC芯片这一块儿呢，实际上又分几块儿的产品，就刚才讲集成电路呢，它是有机线就是。435nm的光刻胶还有I线，I线呢就是通称的365nm的曝光机。呃，基线和I线的核心的播放设备呢，主要是日本尼康和佳能这两家是比较大的。后来呢，应该是后面发展到KRF248光刻胶248，然后再往上是193。当然台积电最后就1193，emerging这个设备其实从emerging的设备其实慢慢就转入了SML的一个。 00:03:44 呃，控制的一个实力的一个产品，呃，但是在K线的时候，其实尼康跟SML开始的时候应该是不相伯仲了，应该是。呃，在线上就是机子外这块，因为国内其实也没有太多产品，也没有一个市场，包括机器也是在被国内就是国外锁定这个状态。 00:04:03 所以刚才你讲这个半导体光刻胶的测试呢，应该是可以分成两块儿或者三块儿来讲，就是叫接线，就类似于中低端。其实中低端这块儿呢，国内的从其实是国内最早做公交的，应该是从六十六五七五八公关， 00:04:23 就是国内其实是有两家。单位在做了一个是研究所，一个是就苏州那两家在呃一家这两家在做目前呢，应该是有一家上市一家被收购嘛。然后但是其实国内的光刻胶起步并不比日本晚，但是因为就是在测试和这个整个这个力度上，慢慢在从应该是从80年代90年代就慢慢落后下来。 00:04:46 呃，光刻胶的核心就是像您说测试的设备和原材料的整个配套，日本实际上就是在前期的一些配套，包括在在。尼康和佳能设备导入icfb厂的时候，所有材料就已经在开始匹配工艺在做这个测试。所以说fiveb厂在引入lisal这些设备的同时，因为你可以知道TEL啊，包括xte就是包括所有的刻蚀设备、干刻设备、光刻设备基本上都是基本上是以日系为准吧。所以说日系设备在开发的同时已经所有材料都评估完，这样的话因为光刻叫其实有几种叫法，那我就跳到哪儿说到哪儿，如果各位有什么问题随时来来讲，因为我就是讲这个背景。 00:05:30 呃，光刻胶实际上就是在国内的定义叫光致抗蚀剂，日本叫光阻。就是其实常通的成分叫photoresist，它的核心呢类似叫l i s a l，l i s a l这个工艺叫时转印啊， 00:05:43 最早叫时转印技术，大家就是把那个mask版的一些集成电路的Python图形，通过一些光刻的方法转移到这个就substrate包括就是这个集成电路基板上去。呃，但是随着这个，就是说刚才讲这个集成度的高摩尔定律的达到这个极限之后呢，它逐渐从原来的微米到亚微米。其实KRF主要是I线的临界，关键点就是在点35和呃点13.35实际上是I线的极限了，应该是。但是它现在有一些光刻机的LS的一个更新之后呢，可以低于点35.30也差不多能做。但是点13呢基本上是就K2F光刻胶248才能做到，剩下再往下就是193193em,这样的话就是大概在呃几十个纳米左右吧，这样子就是像能达到点13以下的一个分辨率。 00:06:30 呃，刚才就是为什么讲这些背景呢，就是说呃核心的。 00:06:36 FAB厂的测试现在其实难就难在，其实I线和KRF合胶，这是国内现在目前比较有机会能够量产导入的，而且国内其实有。就是K设几家公司像已经它其实是量产在在用了，应该是I线和K线，国内几家上市公司应该是在用。呃但是193这块儿呢，我我知道是国内是其实有有有在测，而且应该在国内第二大第三大的一些发布厂里面，其实已经有号称听说是50家的光刻胶公司在里面去一直在测。 00:07:11 但是呢，因为它的初期测试我听说啊，就是实际上是一般我了解情况应该是都在做叫基础测试。呃，基础测试呢，它实际上关注的是你的bbbell，就是它的形貌，M电竞切完之后，包括干客的一些性能，跟你的现在的到替代的一家目标设的光刻胶，比如说像tok啊GSR信越还有什么什么chemical，这几家大公司的对应的光胶，一定要跟它一些性能performance，包括Co OA,它要一致才能够进行后面的测试。 00:07:49 呃，刚才您这边问就是说整个流程吧，其实呃，用中文讲就是。基础测试小批量测试中批量还有大批量，他们基本上按这个流程来走。大批量之后呢，还有个批量稳定的测试。 00:08:03 最后呢，他要是要是要看你的SPC，包括你的那个呃路三面就是上线下线SPC的CPK，这些所有的按那个统计数据，统计数据是否符合跟竞争社的历年的c OA的数据做对比。如果你比他高，那这个时候实际上就是说five厂会提出异议，你的高的原因是什么？如何改正，就是类似于8d report的，包括你的持续改进啊，改进来提升你的性能。要跟客户，就是你的呃竞争就要要竞争的那几那几家商社的进口产品要做到一致， 00:08:40 才能够往后面批量使用。因为尤其一些关键词，因为现在因为IC的FIB呢，基本上就是你像七八十道光刻都会很多，但是呢它其实是有关键层，刚才讲的就是基安线光刻胶呢，它实际上在这七八十道光刻。里边有I线的，也有KRF和ARF，但是实际上呢，因为它各个five厂的，它对于它的设备机能的设备机台的投入呢，包括它的测试一些特殊条件要求，有的时候会用KRF去替代一些I线光胶的呃工艺去做。这样的话，他因为他比如说有些发布厂的全是KF光机，他不可能去拿I在静态安线光机做这个事情，所以说呢，有一些外B上就会有这个特殊的一些要求， 00:09:22 呃，国内像刚才讲就是说在小批量测试的时候，它实际上是不关注你的。金属，还有你的颗粒，还有一个就是你的稳定性，这个是不关注的，它一般就看你的。 00:09:38 样品的所有光刻的性能是否跟竞争社差异不大？ 00:09:43 这个是在10年前。我为什么讲这句话呢？就10年前，呃，我知道的国内的所有的高端的12寸厂，没有一家同意去进行二氧化硅测试，因为他们光刻胶的BOM成本在里边基本上可以认为是零。但是它在产线的叶的良率里边和它的最后性能里边会影响关键性的，叫pperson材料p materials. 00:10:07 所以说呢，呃，所有的工程师拒绝进行这个方面的调整，因为他只有一个调整。他说我不动recipe就是其实光刻工艺很复杂，它里边比如说光刻我们讲就是说coating的数据，coating也有有主主转木慢转，就是它扣涂胶就有一个润序的数据，同时后面光刻光刻的数据显影，然后涂胶，最后光呃刻时，每一个都是很复杂的一些工艺参数。 00:10:34 当时在十几年前是所有的大厂是不会调任何参数，你拿过来的光胶跟目标设要做到完全一致，那我才会进行下面的实验。这个当时据我了解，应该没有人有一有一家有任何机会啊，当时国内目前国内号号称已经很强的公司，实际上也做不到，因为没有因为你的原材料拿不到，跟日本的竞争设一样的原材料配方也要一样。你的原材料一样，还有你的工艺都要一样，甚至最后测试你也要一样，你才有可能跟日本人完全一样。 00:11:07 这个是当时做不到的，后来就是因为呃，日本的一些商社。不够或者是说缺货，因为它的产能不足之后呢，所以说他就会优先要搞台积电，包括英特尔这些大的公司，包括Samsung啊，包括汉尼这些大客户，他不会去中国市场，会放在第二步来做。 00:11:28 所以这个时候呢，国内的一些发布厂就会有这种危机感，他们就会决定，那我如果断货会把工厂停掉嘛，那国内的细碎供应商就。拿到一些关键的机会，所以说在那个时间点上，就是国内的K线光刻胶和I线光刻胶就获得了很好的一次机会，因为客户很同意给你调recipe。这个时间点呢，就是我可以根据你的胶找我的所有工艺，然后满足我的要求。这个是国内的唯一国产化的一次非常好的机会。 00:12:02 呃，后面您再讲就是现在的问题就是说国产化率，因为就是我认为就是中美贸易争端，尤其最近不是在吵吵这个中日的问题嘛，这咱们就不说这敏感的问题，但是我认为就是外B 厂的呃国产化率的这个积极性现在是非常高的。因为这个无论从任何层面上都是有需求和作作为，就是这种上百亿上千亿这种投资的一个产业的一个基础保证。 00:12:31 啊，这是大概的情况了，然后我认为还有一个就是测试的话，这个跟跟各家在客户端测试有两个重点的问题，第一点就是说你在基础测试的时候要跟所有你竞争车的。形貌和工艺他肯调，但是不可能大调，因为毕竟说嗯所有的工艺条件它是摸过的，它是有一些最优化的条件，它可以上下，比如10%或者调一下5%给你调一调，然后满足他的要求。你你的胶不能完全偏离太多，跟原来的那个呃进口的胶，然后他调好之后呢，你这个产品就作为呃我们产前一般叫SCD嘛，就是这个就作为你的标准品了，就不能再动了。 00:13:13 后续的话，你再导入的所有量产品就是刚才讲那个测试基础测试啊，小批量中批量在小批量中批量的时候，它就会验证你的批次稳定性。比如说跑5个lot或者是6个lot，每一个lot呢，它会关注你所有的性能，如果你的性能在批次分析上没有大的差异的话，那它才会放在有几个机台在某些layer来让你去使用。 00:13:37 因为国产化的话还有个问题就是说。我听说就是说实际上就是说像讲几七八十道光刻，在最基础的底下那一层光刻，那几层光刻胶，它其实是相对这整个的这个产品。啊，影响啊。没有那么大了，所以说呢，目边目前的话，一般国产化讲的都是其实会放在下面几个非关键层去测。后续呢，随着这个产品成熟性呃赛克上才会根据你的产品稳定性和你的性能，再会去做一些新的那样的一些去去应用去导入和测试了。一般是这个进程，但是如果你的产品性能稳定性不好的话，呃，那你就会拖很长