北交所首次覆盖报告：中科院真空设备龙头：打破海外垄断，半导体+光伏双驱迎来高增长

中科仪（920186.BJ） ——北交所首次覆盖报告 2026年06月12日 诸海滨（分析师）zhuhaibin@kysec.cn证书编号：S0790522080007 投资评级：增持（首次） 中科院背景真空设备领军者，产能释放迎增长 公司主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。公司拥有三个国家级研发平台，截至2025年12月31日，公司已经获得授权的发明专利103项、实用新型专利20项，软件著作权登记37项。我们看好公司募投放量，同时下游需求增加，预计公司2026-2028年的归母净利润分别为2.26/2.64/3.14亿元（不考虑交易性金融资产公允价值变动以及出售金融资产所得收入)，对应EPS分别为1.01/1.18/1.40元/股，对应PE为87.6/75.2/63.3X，首次覆盖，给予“增持”评级。 集成电路+光伏双轮驱动，干式真空泵需求持续高增 公司的干式真空泵主要向集成电路、光伏产业销售。根据WSTS预计，2025年全球集成电路市场规模将增至6,779亿美元，较2024年增长25.65%。根据中国半导体行业协会统计数据，2016-2023年中国大陆集成电路产业收入年复合增长率达16.03%。根据公司测算，2024年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为12.57万台，市场规模约125.74亿元；中国大陆集成电路产业对干式真空泵的需求为5.21万台，市场规模约52.11亿元；2024年我国光伏产业对干式真空泵的需求约6.7-8.2万台，按单台均价7万元估算，市场规模约47.0-57.2亿元。 北交所研究团队 国产干式真空泵龙头企业打破海外垄断，打入国际晶圆大厂供应链 公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。干式真空泵领域，公司的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业，以及客户A等国内主流集成电路设备制造企业，并已通过台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证实现小批量出货。公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。 风险提示：技术产品研发风险、市场竞争加剧风险、经营业绩下滑风险、公允价值变动风险。 目录 1、公司：半导体设备细分专精小巨人，国产真空领域主力军.................................................................................................41.1、产品：主营干式真空泵及真空科学仪器设备..............................................................................................................61.1.1、技术概述：真空技术应用广泛，其中集成电路对真空环境有较高依赖.......................................................61.1.2、主要产品为干式真空泵和真空科学仪器设备...................................................................................................81.2、创新能力：自主研发打破海外垄断，核心技术构筑护城河....................................................................................141.3、竞争格局：集成电路干式真空泵海外卡喉，公司抢抓国产替代机遇....................................................................181.4、募投项目：扩产+研发中心建设，进一步增强产品优势..........................................................................................212、行业：集成电路产业稳步增长，干式真空泵市场持续扩容...............................................................................................222.1、干式真空泵：下游稳步增长，我国已成全球最重要的集成电路市场....................................................................232.2、真空科学仪器设备：基础研究持续深入带来发展空间............................................................................................282.3、技术水平特点：干式真空泵设计制造难度大、稳定性可靠性要求高....................................................................293、财务：营业收入稳步增长，2025年营收、归母净利润双增..............................................................................................334、盈利预测：可比公司PE TTM均值为176.68X....................................................................................................................365、风险提示..................................................................................................................................................................................38附：财务预测摘要..........................................................................................................................................................................39 图表目录 图1：公司干式真空泵产品破了欧美及日韩企业对同类产品的长期垄断地位........................................................................4图2：公司逐步成为中国半导体和泛半导体领域的核心零部件提供商....................................................................................5图3：国科控股为公司实际控制人...............................................................................................................................................5图4：不同应用场景对真空环境的要求不同................................................................................................................................6图5：真空泵根据可工作的压强范围具体分为干式真空泵、分子泵、离子泵等....................................................................7图6：典型的半导体产业真空系统布局.......................................................................................................................................7图7：真空泵是半导体制造真空系统的核心关键部件................................................................................................................8图8：罗茨干泵抽气结构及过程示意图.......................................................................................................................................9图9：公司薄膜制备设备示意图.................................................................................................................................................11图10：公司分子束外延（MBE）设备示意图...........................................................................................................................11图11：公司为上海光源提供关键技术装备................................................................................................................................13图12：2025年干式真空泵销售收入占公司主营收入的64.70%（万元）..............................................................................14图13：2023-2025年度，公司综合毛利率低于同行业上市公司（%）..................................................................................21图14：2023-2025年公司研发费用率略低于可比公司均值（%）..........................................................................................21图15：预计2025年全球集成电路市场规模将增至6,779亿美元（亿美元）......................................................................23图16：2016-2023年中国大陆集成电路产业收入年复合增长率达16.03%（亿元）............................