半导体设备／零部件行业专题报告：半导体设备／零部件25年报及26Q1业绩复盘

西部证券研发中心2026年5月17日 王昊哲|分析师S0800525080003wanghaozhe@xbmail.com.cn张恒晅|分析师S0800525020001zhanghengxuan@research.xbmail.com.cn徐凡|联系人xufan@xbmail.com.cn 半导体设备半导体设备//零部件标的盈利情况汇总零部件标的盈利情况汇总 01前道设备 CONTENTS目录CONTENTS目录 零部件03 营收端：前道设备收入延续高增长营收端：前道设备收入延续高增长，，20262026QQ11增速回落但仍保持较高景气增速回落但仍保持较高景气 前道设备板块收入端延续较快增长，2026Q1在高基数下增速有所回落，但仍维持较高景气。2025年，前道设备公司合计实现营业收入861.77亿元，同比增长30.39%，在2023、2024年分别增长34.20%、35.33%的基础上继续保持较快扩张；2026Q1合计实现营业收入204.06亿元，同比增长23.12%，增速较2025年全年有所回落，但仍处于较高水平。 分公司来看，2025年拓荆科技、中科飞测、京仪装备、华海清科、中微公司、北方华创收入增速分别为58.87%、48.75%、38.95%、36.46%、36.62%、31.89%，增长表现较好；2026Q1拓荆科技、北方华创、中微公司、华海清科、中科飞测仍分别实现56.97%、25.80%、34.13%、31.66%、34.63%的收入增长，核心前道设备厂商收入端保持韧性。相对而言，精测电子2026Q1收入同比增长7.26%，较2025年的30.51%有所放缓；屹唐股份2026Q1收入同比下降10.58%，微导纳米2026Q1收入同比下降5.54%，两家公司收入端阶段性承压；芯源微2026Q1收入同比增长20.08%，较2025年的11.11%有所改善。 资料来源：wind，西部证券研发中心 利润端：利润端：20252025年利润增速放缓年利润增速放缓，，20262026QQ11盈利弹性明显修复盈利弹性明显修复 前道设备板块2025年利润增长弱于收入端，2026Q1归母净利润同比高增，盈利弹性阶段性修复。2025年，前道设备公司合计实现归母净利润122.90亿元，同比增长10.57%，明显低于收入端30.39%的增速；2026Q1，前道设备公司合计实现归母净利润36.92亿元，同比增长42.49%，增速显著高于收入端23.12%；同期合计毛利率为35.26%，归母净利率为18.14%，利润率较2025年全年明显修复，推动利润端弹性释放。 分公司来看，2025年利润端分化较收入端更明显。中科飞测、精测电子由2024年扭亏为盈，利润端实现修复；中微公司、拓荆科技、盛美上海、屹唐股份归母净利润分别同比增长30.69%、34.67%、21.05%、24.03%，利润与收入增长方向基本匹配。相较之下，芯源微归母净利润同比下降64.64%，微导纳米、京仪装备小幅下滑。2026Q1来看，中微公司利润弹性最为突出，归母净利润同比增长197.20%；拓荆科技实现扭亏为盈，京仪装备同比增长29.45%，精测电子小幅增长13.61%；但盛美上海、芯源微、屹唐股份、微导纳米利润端仍承压，中科飞测2026Q1较2025Q1亏损扩大。 资料来源：wind，西部证券研发中心 费用端：研发投入维持高位费用端：研发投入维持高位，，费用率下降对冲毛利率压力费用率下降对冲毛利率压力 前道设备板块研发投入维持高强度，期间费用率持续下降，规模效应对费用摊薄形成支撑。2025年，前道设备公司合计研发支出166.55亿元，同比增长32.52%，高于同期收入端30.39%的增速；研发费用率为16.13%，较2024年的17.05%小幅下降但仍处较高水平，反映板块仍处于技术迭代和新品导入阶段。与此同时，期间费用合计239.88亿元，期间费用率由2023年的31.39%、2024年的30.52%进一步降至2025年的29.79%，说明收入规模扩大后费用摊薄效应逐步显现。 盈利能力来看，2025年前道设备公司平均毛利率为40.00%，较2023年的45.19%、2024年的41.31%继续回落，反映产品结构变化及竞争加剧对毛利率形成压力；但扣非归母净利率由2023年的12.63%、2024年的9.56%降至2025年的8.59%。整体来看，板块短期仍面临毛利率下行压力，但费用端管控持续改善，研发投入保持高位，后续随着新产品放量、收入规模扩大及费用率进一步摊薄，盈利能力仍具修复基础。 资料来源：wind，西部证券研发中心 存货及合同负债：存货维持高位存货及合同负债：存货维持高位，，合同负债整体平稳合同负债整体平稳 前道设备板块存货规模继续提升，合同负债整体保持稳定，反映在手订单及备货需求仍处较高水平。截至2025年末，前道设备公司合计存货685.38亿元，较2024年末继续增长；2026Q1末进一步提升至701.40亿元，说明板块仍在围绕在手订单、产品交付及供应链安全进行较高水平备货。合同负债方面，2025年末合计204.77亿元，较2024年末201.01亿元小幅增长；2026Q1末为203.84亿元，基本保持稳定。 资料来源：wind，西部证券研发中心 现金流：现金流：20252025年经营现金流明显改善年经营现金流明显改善，，20262026QQ11受季节性及备货影响阶段性转负受季节性及备货影响阶段性转负 前道设备板块2025年经营现金流显著改善，2026Q1阶段性转负，主要体现设备企业交付、回款及备货节奏的季度波动。2025年，前道设备公司经营活动产生的净现金流合计约90亿元，较2024年明显提升，说明在收入规模扩大、订单回款改善及前期交付项目逐步回款的背景下，板块现金流质量有所修复。2026Q1，板块经营现金流合计转为小幅净流出，考虑设备企业通常存在年初备货、支付薪酬奖金及项目验收回款节奏错配，单季度现金流波动较大。 分公司来看，2025年北方华创、中微公司、拓荆科技现金流表现较好，经营现金流分别约21.33亿元、22.95亿元和36.33亿元，反映头部设备公司收入确认与销售回款较为顺畅；华海清科、盛美上海、芯源微、精测电子、微导纳米、京仪装备亦实现经营现金流净流入。2026Q1分化加大，北方华创仍实现约7.48亿元净流入，屹唐股份、微导纳米维持正流入；中微公司、拓荆科技、中科飞测、精测电子等转为净流出，其中拓荆科技为-5.20亿元、中科飞测为-0.20亿元。 资料来源：wind，西部证券研发中心 前道增长：存储扩产前道增长：存储扩产++先进制程迭代先进制程迭代，，拉动前道设备需求提升拉动前道设备需求提升 存储扩产和先进制程迭代共同拉动前道设备需求，刻蚀、薄膜沉积、清洗、量检测等环节有望持续受益。根据SEMI2025年末预测，WFE市场2025年预计同比增长11.0%至1157亿美元，2026/2027年继续增长9.0%/7.3%，受AI相关先进逻辑、DRAM/HBM及NAND扩产带动。 从应用结构看，晶圆代工/逻辑、DRAM及NAND是前道设备需求的重要增量。根据SEMI预测，2025年晶圆代工/逻辑WFE预计同比增长9.8%至666亿美元；DRAM设备销售额预计增长15.4%至225亿美元；NAND设备市场预计增长45.4%至140亿美元，分别对应AI加速器/HPC扩产、HBM放量、3DNAND堆叠升级等需求。 资料来源：SEMI，西部证券研发中心 CONTENTS目录CONTENTS目录 02 零部件03 营收营收//利润端：后道设备收入持续增长利润端：后道设备收入持续增长，，利润端弹性显著强于收入端利润端弹性显著强于收入端 后道设备板块2025年收入端持续增长，2026Q1增速进一步抬升，利润端表现出更强弹性。2025年，后道设备公司合计实现营业收入102.03亿元，同比增长37.55%，较2024年的增长势头继续延续；2026Q1合计实现营业收入26.68亿元，同比增长59.54%，增速进一步提升，显示封测设备需求修复较为明确。利润端来看，2025年后道设备公司合计实现归母净利润23.16亿元，同比增长128.42%，明显高于收入端增速；2026Q1合计实现归母净利润5.83亿元，同比增长151.27%，利润弹性继续释放。 分公司来看，后道设备公司利润释放节奏存在分化。2025年华峰测控、长川科技、金海通、联动科技收入分别同比增长48.72%、45.31%、71.68%、13.84%，归母净利润分别同比增长60.55%、190.42%、124.93%、65.25%，收入与利润同步修复；2026Q1长川科技、精智达、金海通、联动科技收入增速分别达到69.09%、118.84%、120.77%、44.56%，其中长川科技、金海通归母净利润分别同比增长217.60%、221.54%，盈利恢复较为突出。相对而言，砂电股份2025年收入同比下滑17.52%、利润同比下降42.50%，2026Q1收入继续下滑66.03%并转亏；耐科装备2026Q1利润相较2025Q1下降37.19%。 资料来源：wind，西部证券研发中心 盈利能力：后道设备毛利率整体维持较高水平盈利能力：后道设备毛利率整体维持较高水平，，规模效应摊平费用增长规模效应摊平费用增长 后道设备板块毛利率整体维持在较高水平，2025年盈利基础较2024年有所修复。从毛利率看，样本后道设备公司平均毛利率由2024年的49.79%提升至2025年的50.88%，2026Q1仍维持在49.95%的较高水平。分公司来看，华峰测控毛利率持续处于70%以上，长川科技、联动科技、金海通等公司毛利率保持在50%左右或以上，体现测试、分选等设备较强的产品盈利能力；精智达、金海通、耐科装备2025年毛利率较2024年均有修复。整体来看，后道设备板块具备较好的毛利率基础，是收入修复后利润端弹性释放的重要支撑。 费用端看，2025年收入增长带动费用率继续下降，2026Q1受季度收入和投入节奏影响有所回升。样本公司平均期间费用率由2023年的35.57%、2024年的33.94%下降至2025年的31.99%，费用摊薄效果逐步显现；同期期间费用绝对额仍在增长，公司仍处于研发投入、客户验证和市场开拓阶段。2026Q1平均期间费用率回升至40.25%。研发费用方面，2025年研发费用同比增长8.77%，2026Q1同比增长22.96%，后道设备公司持续围绕测试、分选及先进封装相关设备加大投入。 行业变化：封测厂经营端持续修复行业变化：封测厂经营端持续修复，，收入回暖带动盈利能力与周转效率改善收入回暖带动盈利能力与周转效率改善 封测端周期属性更加明显，主要封测厂经营数据持续改善，后道设备需求具备复苏基础。从收入端看，2025年内日月光控股、力成、华天科技、长电科技、通富微电整体呈现修复趋势，其中华天科技、通富微电收入逐季提升，2025Q4分别达到48.34、78.05亿元；长电科技2025Q4收入为102.02亿元，仍处于较高水平。台股封测厂方面，日月光控股收入由2025Q1的324.16亿元提升至2025Q4的396.93亿元，力成由33.90亿元提升至47.76亿元，反映全球封测龙头经营端亦在边际修复。 从盈利能力和周转效率看，封测厂景气度同步改善。毛利率方面，华天科技由2025Q1的9.00%提升至2025Q4的15.62%，长电科技由12.63%提升至15.28%，力成由17.05%提升至18.64%；存货周转率方面，日月光控股、力成、华天科技、长电科技、通富微电2025Q4分别提升至8.14、10.36、5.98、8.78、6.30，较2025Q1明显改善。整体来看，主要封测厂收入、毛利率和存货周转率同步修复，后道测试、分选及封装设备需求具备回暖基础。 行业变化：封测厂资本开支回升行业变化：封测厂资本开支回升，，扩产意