半导体设备零部件|2022年报&2023年一季报总结设备及零部件国产化加速，在手订单饱满证券研究报告·行业研究·半导体设备零部件1首席证券分析师：周尔双执业证书编号：S0600515110002zhouersh@dwzq.com.cn证券分析师：罗悦执业证书编号：S0600120100013luoyue@dwzq.com.cn研究助理：韦译捷执业证书编号：S0600122080061weiyj@dwzq.com.cn2023年5月9日 核心逻辑&相关标的◆投资逻辑•业绩增速短期受海外周期影响，下半年景气度有望修复2022年6家A股半导体设备零部件上市公司实现营业总收入131亿元，同比+33%，归母净利润19亿元，同比+63%，利润增速强于营收，板块业绩增速上行，主要受益海外半导体产业链高景气和国内零部件国产化，各厂商加速产能释放，规模效应摊薄费用。其中，纯度最高、产品线最广的平台型厂商富创精密上市进入高速扩张期，营收、归母净利润同比+83%/94%，表现显著优于行业。2023年Q1 6家A股半导体设备零部件上市公司实现营业总收入28亿元，同比+11%，归母净利润3亿元，同比+6% ，受海外周期下行、地缘政治因素影响，增速放缓。考虑到国内半导体零部件进口替代提速、2023年下半年海外半导体景气度有望复苏，业绩增速有望逐步回暖。•受益半导体设备及零部件国产化提速，双重国产替代前景可观1）大陆晶圆供不应求，下游扩产及产业链东移是长期趋势。2021年中国大陆晶圆产能全球占比仅为16%，远低于半导体销售额全球占比（2021年约35%）。在政策扶持和IC设计加速崛起驱动下，大陆晶圆厂扩产、全球晶圆产能东移将成为半导体产业长期发展趋势，国内设备、零部件需求持续旺盛。2）设备国产化率提升，国产设备商快速崛起。半导体是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性产业，其中设备是产业链的支撑环节。继2022年10月美国对中国大陆半导体设备制裁升级后，2023年荷兰、日本相继加入限制阵营，海外制裁升级背景下，我们看好晶圆厂加速国产设备导入，2023年半导体设备国产化率提升有望超出市场预期。3）核心零部件市场规模超150亿美元，国产化率不足10%。半导体设备零部件约占设备价值量的50%，2022年国内半导体设备市场规模预计约300亿美金，对应半导体设备零部件市场规模为150亿美元。由于起步较晚、技术壁垒高，核心半导体设备零部件国产化率不足10%，国产零部件厂商成长天花板极高。4）拓品+扩产路线清晰，零部件厂进入业绩兑现期。◆相关标的：重点推荐平台化半导体设备零部件龙头【富创精密】，管阀核心零部件供应商【新莱应材】，真空泵由光伏切入半导体【汉钟精机】，气柜模组【正帆科技】，精密金属结构件龙头【华亚智能】。建议关注靶材及精密零部件【江丰电子】、电源环节【英杰电气】。2风险提示：半导体设备行业周期波动，国际贸易摩擦，客户产业链转移风险等。证券代码可比公司货币总市值归母净利润（亿）PE2022-2025E（亿）2022A2023E2024E2025E2022A2023E2024E2025E归母净利润CAGR688409富创精密CNY204 2.5 3.5 5.1 7.5 83 58 40 27 45%300666江丰电子CNY178 2.7 4.0 5.4 6.6 67 45 33 27 36%300260新莱应材CNY152 3.4 4.6 6.6 8.9 44 33 23 17 37%002158汉钟精机CNY120 6.4 7.4 9.4 11.8 19 16 13 10 22%688596正帆科技CNY106 2.6 4.0 5.7 7.6 41 26 19 14 43%003043华亚智能CNY42 1.5 1.4 2.1 3.3 28 31 20 13 31%数据来源：Wind，东吴证券研究所注：江丰电子为Wind一致预测，其余均为东吴预测可比公司估值表（2023/5/9） 半导体设备零部件相关公司•我们选取了A股6家核心业务为半导体设备零部件的上市公司进行分析，选取公司的细分产品、业绩和市场表现如下：数据来源：Wind，东吴证券研究所3证券代码证券简称核心产品2023/5/82022/12/31市值（亿元）收入（亿元）YOY归母净利润（亿元）YOY毛利率归母净利润率ROE（加权）PE-TTM688409富创精密工艺零部件（腔体、匀气盘等）、结构零部件、气体管路、模组产品21415.483%2.594%33%15%12%88300666江丰电子PVD 压环、准直器，CVD 腔体、喷淋头，CMP 耗材18823.246%2.7149%30%10%11%65300260新莱应材不锈钢腔体、管道管件、阀门等，应用于气体、真空领域15126.228%3.4103%30%13%24%47002158汉钟精机真空泵12332.710%6.432%36%20%23%18688596正帆科技气柜模组（Gas Box）11327.047%2.654%27%10%13%44003043华亚智能金属结构件446.217%1.535%38%24%16%30 受地缘政治等因素影响，主要公司估值回落至近两年均值以下图：2022年10月起半导体设备零部件公司估值回落数据来源：Wind，东吴证券研究所40204060801001201401601802021-01-082021-04-082021-07-082021-10-082022-01-082022-04-082022-07-082022-10-082023-01-082023-04-08新莱应材富创精密华亚智能历史均值（新莱）历史均值（富创）历史均值（华亚） 目录52、受益半导体设备及零部件国产化提速，双重国产替代前景可观半导体零部件：设备及零部件国产化加速，在手订单饱满1、2022年归母净利润同比+63%，在手订单饱满3、投资建议和风险提示 1.1 2022/2023Q1板块营收同比分别+33%/+11%，国产化提速•2022年板块营收同比+33%，国产化提速。2022年6家A股半导体设备零部件上市公司实现营业总收入131亿元，同比+33%，延续高速增长。板块业绩增速上行，主要受益2021-2022上半年国内零部件国产化加速及海外半导体产业链高景气。其中，纯度最高、产品线最广的平台型厂商富创精密上市进入高速扩张期，营收同比+83%，表现显著优于行业。•2023年Q1板块营收同比+11%，需求有望逐步回暖。2023年Q1 6家A股半导体设备零部件上市公司实现营业总收入28亿元，同比+11%。考虑到国内半导体零部件进口替代提速、2023年下半年海外半导体景气度有望复苏，需求有望逐步回暖。◆2022年板块营收同比+33%◆纯度最高、产品线最广的平台型厂商富创精密收入增速显著强于行业数据来源：Wind，东吴证券研究所60%10%20%30%40%50%020406080100120140营业总收入（左，亿元）营收增速（右）-20%0%20%40%60%80%100%富创精密正帆科技新莱应材华亚智能江丰电子汉钟精机2022营收同比2023Q1营收同比 1.2 2022年板块归母净利润同比+63%，增速强于营收•2022年板块归母净利润同比+63%，利润增速超过营收。2022年6家A股半导体设备零部件上市公司实现归母净利润19亿元，同比+63%。利润增速强于营收，主要系产能释放，规模效应摊薄费用。其中，富创精密、新莱应材、江丰电子归母净利润增速分别为94%、103%、149%，显著强于行业。•2023年Q1板块实现归母净利润3亿元，同比+6%，受规模效应减弱、部分企业半导体设备零部件占比下滑拖累毛利率影响，增速放缓。◆2022年板块归母净利润同比+63%◆重点跟踪公司归母净利润增速数据来源：Wind，东吴证券研究所70%20%40%60%80%100%0510152025归母净利润（左，亿元）归母净利增速（右）-80%-40%0%40%80%120%160%富创精密正帆科技新莱应材华亚智能江丰电子汉钟精机2022归母净利润同比2023Q1归母净利润同比 1.3 2022年板块毛利率、净利率稳步提升•2022年板块销售毛利率32.2%，同比提升1.7pct，销售净利率15.4%，同比提升2.8pct。受益于规模效应、汇率波动确认收益，2022年各半导体零部件厂商盈利能力均有所提升。◆2022年板块销售毛利率同比提升2pct数据来源：Wind，东吴证券研究所830.6%28.4%31.6%30.5%32.2%31.0%20%30%40%201820192020202120222023Q1板块毛利率（等权重平均）板块毛利率（等权重平均）0%5%10%15%20%25%30%35%40%45%富创精密正帆科技新莱应材华亚智能江丰电子汉钟精机2021销售毛利率2022销售毛利率2023Q1销售毛利率9.0%6.2%14.1%12.6%15.4%12.0%0%5%10%15%20%201820192020202120222023Q1板块净利率（等权重平均）板块净利率（等权重平均）0%5%10%15%20%25%30%富创精密正帆科技新莱应材华亚智能江丰电子汉钟精机2021销售净利率2022销售净利率2023Q1销售净利率◆除产能短期遇到瓶颈的华亚智能，2022年各半导体零部件公司毛利率均上行◆2022年板块销售净利率同比提升3pct◆2022年各半导体零部件公司净利率均上行 1.4 期间费用率稳中有降，研发费用率维持高水平•2022年板块期间费用率14.2%，同比下降2.5pct。2022年规模效应摊薄费用，行业费控能力提升；国产替代加速，研发投入5%，维持较高水平，其中富创精密研发费用率8%，显著高于行业。远期来看，海外半导体设备零部件龙头京鼎精密、超科林2022年期间费用率分别约10%、11%，国产厂商降本空间仍然较大。数据来源：Wind，东吴证券研究所◆2022年板块研发费用率5.2%，维持较高水平◆2022年板块期间费用率14.2%，同比下降2.5pct920.0%21.9%18.6%16.7%14.2%19.6%0%10%20%30%期间费用率期间费用率-3%0%3%6%9%销售费用率管理费用率（不含研发）研发费用率财务费用率0%5%10%15%20%25%30%富创精密正帆科技新莱应材华亚智能江丰电子汉钟精机2021期间费用率2022期间费用率2023Q1期间费用率0%2%4%6%8%10%12%富创精密正帆科技新莱应材华亚智能江丰电子汉钟精机2021研发费用率2022研发费用率2023Q1研发费用率◆除正帆科技，2022年各零部件厂商期间费用率均下降◆富创精密、正帆科技研发费用率高于行业平均 1.5 截至2022年末板块合同负债同比+48%，在手订单饱满•截至2022年末，板块合同负债同比+48%，在手订单饱满。截至2022年末6家半导体设备零部件公司合同负债14.3亿元，同比+48%，Q1合同负债仍维持高水平。我们判断受景气下行、地缘政治等影响，零部件厂商订单确认进程被延后。随下半年行业景气回暖，前期订单有望加速确认，带动收入增速回暖。◆截至2022年末板块合同负债14亿元，同比+48%◆截至2022年末板块存货60亿元，同比+59%◆富创精密、正帆科技、汉钟精机2023Q1末合同负债环比2022年末明显提升◆各半导体设备零部件厂商存货基本为历史高水平1097%25%24%38%48%41%0%20%40%60%80%100%120%02468101214161820201820192020202120222023Q1预收账款/合同负债（左，亿元）YOY（右）数据来源：Wind，东吴证券研究所197211541174121111168111403714251181520302004006008001000120014001600富创精密正帆科技新莱应材华亚智能江丰电子汉钟精机2021年末合同负债（百万元）202