国产半导体真空泵龙头，技术壁垒深厚，为“专精特新”小巨人

中科仪（920186.BJ） 国产半导体真空泵龙头，技术壁垒深厚，为“专精特新”小巨人 2026年4月28日 公司研究/新股覆盖研究 投资要点： 中科仪是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务涵盖干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务。公司起源于20世纪50年代中国科学院下属真空科研单位，实际控制人为中国科学院控股有限公司，国家集成电路产业投资基金为公司第二大股东。干式真空泵为公司主要收入来源，主要客户覆盖长江存储、长鑫科技、中芯国际、北方华创、隆基绿能等头部企业。 收盘价（元/股）：-总股本（亿股）：1.72流通股本（亿股）：-流通市值（亿元）：- 干式真空泵行业受半导体、光伏及大科学装置需求拉动，国产替代加速，市场空间持续扩大。全球集成电路市场规模预计2026年将增至8,743亿美元，中国大陆半导体设备市场已连续四年成为全球最大市场，2024年市场规模达495.5亿美元。据测算，2024年全球集成电路领域干式真空泵需求约12.57万台，市场规模约125.74亿元；中国大陆需求约5.21万台，市场规模约52.11亿元。光伏产业在"双碳"目标驱动下中长期向好，2024年我国光伏新增装机277.57GW。全球干式真空泵市场长期由英国Edwards、日本Ebara等外资巨头垄断，但国产厂商正加速追赶。此外，我国科研经费投入持续高速增长，2024年全社会研发投入达36,130亿元，国家重大科技基础设施建设进入快速发展期，为真空科学仪器带来巨大市场需求。 分析师： 盖斌赫执业登记编码：S0760522050003邮箱：gaibinhe@sxzq.com 中科仪是国内半导体真空装备龙头，具备显著的技术积淀与市场竞争优势。公司是国内唯一在集成电路先进制程实现干式真空泵批量应用的国产企业，也是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，产品满足14nm先进逻辑芯片及128层以上3DNAND存储器工艺需求，已在中芯国际、长江存储、台积电、SK海力士等国内外领先企业实现大批量应用或小批量出货，打破欧美及日本企业长期垄断。公司拥有真空技术装备国家工程研究中心等三个国家级研发平台，构建了包含1500多项生产工艺的应用方案数据库，集成电路领域干式真空泵出货量超3万台。公司已形成沈阳、南通双基地架构，2025年产能达10,000台，募投项目达产后总产能将达2.65 万台。同时，公司是国内具备整合SUBFAB全类型设备数据能力的龙头企业，客户验证周期长、门槛高所形成的客户资源壁垒显著，全方位服务体系与高素质人才团队支撑公司持续发展。 估值分析和投资建议：公司是国内半导体真空装备龙头，唯一实现先进制程批量应用的国产企业。公司近三年营业收入持续稳步增长，2023-2025年营业务收入分别为8.52、10.82、12.91亿元，复合增长率达22.75%，主要得益于公司产品市场竞争力较强叠加行业发展景气，干式真空泵产品销量快速增 长。扣非后归母净利润分别为0.73、0.88、1.03亿元，持续增长。公司可比公司中拓荆科技、华海清科、北方华创、中微公司、芯源微、京仪装备2025年PE/2025年PE（扣非后）分别为118.17/未披露、62.06/69.71、59.12/61.18、91.71/124.95、497.14/-1971.03、123.62/158.72倍，均值为84.13/114.95倍。公司发行后股本为23,383.91万股，发行价对应发行后市值为36.28亿元，对应2025年PE/2025年PE（扣非后）为4.30/35.23倍，相较于可比具备较大的折价。 风险提示：技术和产品研发风险；市场竞争加剧的风险；国际贸易摩擦的风险；持有上市公司股份股价波动造成的经营业绩波动风险；经营业绩下滑的风险；产品尚未覆盖部分先进制程中等、苛刻工艺环节产生的风险；存货跌价风险。 目录 1.估值分析...........................................................................................................................................................................52.中科仪：国内尖端科学仪器设备及真空技术的领军者...............................................................................................83.国内半导体真空装备龙头，唯一实现先进制程批量应用的国产企业.....................................................................124.募集资金运用情况.........................................................................................................................................................145.行业受半导体、光伏及大科学装置需求拉动，国产替代加速，市场空间持续扩大.............................................156.风险提示.........................................................................................................................................................................19 图表目录 图1：公司与可比公司营收情况（亿元）.......................................................................................................................6图2：公司与可比公司归母净利润情况（万元）...........................................................................................................6图3：可比公司毛利率情况比较.......................................................................................................................................6图4：公司主营业务演变情况...........................................................................................................................................8图5：公司股权结构（发行前）.....................................................................................................................................10图6：公司收入构成（按品类，亿元）.........................................................................................................................11图7：主营收入构成(按区域，内到外2022-2025)........................................................................................................11图8：公司营业总收入情况（亿元）.............................................................................................................................11图9：公司归母、扣非后归母净利润情况（亿元）.....................................................................................................11图10：公司毛利率净利率情况.......................................................................................................................................12图11：2016-2026全球集成电路市场规模（亿美元）.................................................................................................15图12：2016-2023中国大陆集成电路规模（亿元）.....................................................................................................15图13：2016-2027全球晶圆厂设备销售规模(亿美元)..................................................................................................16 图14：2016-2024中国半导体设备规模(亿美元)..........................................................................................................16图15：2020-2024全球年新增光伏装机容量(GW).......................................................................................................17图16：2020-2024全国年新增光伏装机容量(GW).......................................................................................................17图17：2013-2022全球光伏设备行业销售收入(亿元)..................................................................................................17图18：2015-2025我国基础研究经费及投入研究与实验发展经费.............................................................................18 表1：中科仪与可比公司业务比较.....................................................