北交所新股申购报告：半导体核心真空泵突破先进制程，中科院“小巨人”加速国产替代

2026年04月10日 ——北交所新股申购报告 北交所研究团队 诸海滨（分析师）zhuhaibin@kysec.cn证书编号：S0790522080007 真空技术国家队“小巨人”，研发平台夯实壁垒，营收快速增长 公司主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。作为中国科学院下属专注于洁净真空、超高真空技术研究和发展的企业，公司拥有三个国家级研发平台，是我国真空技术及真空类科学仪器攻坚的主力军。公司被评为2020年度、2023年度国家“专精特新”小巨人企业，国家知识产权优势企业等多项荣誉称号，截至2025年12月31日，公司已经获得授权的发明专利103项、实用新型专利20项，并取得软件著作权登记37项。2022-2025年度，公司营业收入整体呈快速增长趋势，2025年公司营收为12.91亿元。受持有股份公允价值变动损益影响，2022-2025年公司的净利润变动较大，剔除这部分影响后，公司扣非归母净利润分别为6,186.11万元、7,298.08万元、8,787.75万元和10,297.96万元。 集成电路+光伏双轮驱动，干式真空泵需求持续高增 公司研制的干式真空泵主要向集成电路、光伏产业销售。根据WSTS预计，2025年全球集成电路市场规模将增至6,779亿美元，较2024年大幅增长25.65%。根据中国半导体行业协会统计数据，2016-2023年中国大陆集成电路产业收入年复合增长率达16.03%。根据中国光伏行业协会统计数据显示，2020-2024年，全球光伏年新增装机容量年均复合增长率达42.10%，我国光伏年新增装机容量年均复合增长率达54.91%。根据公司测算，2024年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为12.57万台，市场规模约125.74亿元；中国大陆集成电路产业对干式真空泵的需求为5.21万台，市场规模约52.11亿元；2024年我国光伏产业对干式真空泵的需求约6.7-8.2万台，按单台均价7万元估算，市场规模约47.0-57.2亿元。 相关研究报告 《鸿仕达（920125.BJ）：果链占比超80%智能制造“小巨人”，在手订单2.6亿—北交所新股申购报告》-2026.4.10《境外收入提升89%、发行投资智能电机产能，2025全年归母净利润+26%—北交所信息更新》-2026.4.9 《智能能源计量“隐形冠军”，欧洲市场稳固+境内加速突破—北交所首次覆盖报告》-2026.4.9 国产干式真空泵龙头企业打破海外垄断，可比公司PE（2024）均值91.39X 公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。干式真空泵领域，公司的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业，以及客户A等国内主流集成电路设备制造企业，并已通过台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证实现小批量出货。除硅基半导体外，公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。可比公司PE（2024）均值为91.39X，PE（TTM）均值为126.39X。募投项目预计将扩大干式真空泵产能，同时进一步增强研发能力，丰富公司产品体系，增强产品优势，前景较好。 风险提示：技术产品研发风险、市场竞争加剧风险、经营业绩下滑风险。 目录 1、公司：半导体制造设备“小巨人”，国内真空技术主力军...................................................................................................41.1、产品：主营干式真空泵及真空科学仪器设备..............................................................................................................61.1.1、技术概述：真空技术应用广泛，其中集成电路对真空环境有较高依赖.......................................................61.1.2、主要产品为干式真空泵和真空科学仪器设备...................................................................................................81.2、财务：营业收入稳步增长，2025年营收、归母净利润双增...................................................................................142、行业：集成电路产业稳步增长，干式真空泵市场持续扩容...............................................................................................172.1、干式真空泵：下游稳步增长，我国已成全球最重要的集成电路市场....................................................................182.2、真空科学仪器设备：基础研究持续深入带来发展空间............................................................................................232.3、技术水平特点：干式真空泵设计制造难度大、稳定性可靠性要求高....................................................................243、看点：自主研发创新打破海外垄断，把握国产替代机遇...................................................................................................273.1、竞争格局：集成电路中干式真空泵市场仍是海外企业占据主导地位....................................................................293.2、核心技术：八大核心技术构建护城河........................................................................................................................323.3、募投项目：扩产+研发中心建设，进一步增强产品优势..........................................................................................344、估值对比：可比公司PE TTM均值126.39X........................................................................................................................355、风险提示..................................................................................................................................................................................36 图表目录 图1：公司干式真空泵产品破了欧美及日韩企业对同类产品的长期垄断地位........................................................................4图2：公司逐步成为中国半导体和泛半导体领域的核心零部件提供商....................................................................................5图3：国科控股为公司实际控制人...............................................................................................................................................5图4：不同应用场景对真空环境的要求不同................................................................................................................................6图5：真空泵根据可工作的压强范围具体分为干式真空泵、分子泵、离子泵等....................................................................7图6：典型的半导体产业真空系统布局.......................................................................................................................................7图7：真空泵是半导体制造真空系统的核心关键部件................................................................................................................8图8：罗茨干泵抽气结构及过程示意图.......................................................................................................................................9图9：公司薄膜制备设备示意图.................................................................................................................................................11图10：公司分子束外延（MBE）设备示意图...........................................................................................................................11图11：公司为上海光源提供关键技术装备................................................................................................................................13图12：2025年干式真空泵销售收入占公司主营收入的64.70%（万元）..............................................................................14图13：2025年公司