电子行业：先进封装设备重要性提升，晶圆制造设备持续升级

核心观点 ⚫事件：2026年3月25日-27日，2026上海国际半导体展览会（SEMICON China2026）在上海新国际博览中心举办。 ⚫先进封装设备重要性提升，头部设备厂商持续深化布局。部分投资者低估了未来先进封装设备的市场体量。我们认为，先进封装设备在未来半导体产业中的重要性持续提升，头部设备厂商正持续深化布局。本次SEMICON上，部分头部半导体设备厂商在先进封装设备领域集中发力产品突破。其中，北方华创发布12英寸QomolaHPD30混合键合设备，聚焦SoC、HBM、Chiplet等3D集成全领域应用对芯片互连的极限要求，成为国内率先完成D2W混合键合设备客户端工艺验证的厂商。拓荆科技3D IC系列新品涵盖熔融键合、激光剥离等多款新产品，重点聚焦先进逻辑芯片Chiplet异构集成、三维堆叠及HBM相关应用，其中Pleione 300 HS芯片对晶圆熔融键合设备兼容多种芯片尺寸和厚度，能实现自动更换拾取与键合模组；Volans300键合空洞修复设备解决键合界面空洞修复难题。ASMPT推出全新裸晶圆处理系统ALSI LASER1206，精准响应先进封装企业需求，为人工智能、智能出行等高增长市场提供解决方案。整体来看，键合设备等先进封装设备已成为头部半导体设备企业的核心布局赛道。 薛宏伟执业证书编号：S0860524110001xuehongwei@orientsec.com.cn021-63326320蒯剑执业证书编号：S0860514050005香港证监会牌照：BPT856kuaijian@orientsec.com.cn021-63326320贾国瑞执业证书编号：S0860526030002jiaguorui@orientsec.com.cn021-63326320 ⚫晶圆制造设备持续升级，国内企业强化创新布局。部分投资者低估了国产设备厂商在晶圆制造设备上的技术创新能力以及产品竞争力。我们认为，国内企业正持续强化创新布局，顺应刻蚀、薄膜沉积等多个领域的升级需求。本次SEMICON上，北方华创发布新一代12英寸NMC612H电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备，将ICP小尺寸刻蚀的深宽比提升到数百比一，均匀性带入埃米级时代，聚焦先进逻辑与先进存储领域关键刻蚀工艺需求。中微公司推出新一代电感耦合ICP等离子体刻蚀设备Primo Angnova、高选择性刻蚀机Primo Domingo，为5纳米及以下逻辑芯片技术以及同等技术节点难度的先进存储芯片的制造领域提供了自主可控、技术领先的ICP刻 蚀 工 艺 解 决 方 案 。 拓 荆 科 技 推 出 了 低 介 电 薄 膜 设 备PF-300L Plus nXPECVD、PEALD原子层沉积设备VS 300 Astra-s SiN等。盛美上海正式推出全新产品组合架构“盛美芯盘”，并带来包括单片SPM喷嘴清洗技术，均匀大氮气泡鼓泡刻蚀技术，超临界二氧化碳三维清洗干燥技术等原创技术。 李晋杰执业证书编号：S0860125070012lijinjie@orientsec.com.cn021-63326320 雷星宇执业证书编号：S0860126030013leixingyu@orientsec.com.cn021-63326320 AI需求引领，NAND紧缺持续2026-03-04长鑫科技IPO获受理，重视存储产业链国产化机遇2026-01-04 长存三期成立，半导体设备有望国产化加速2025-09-11 ⚫国产半导体设备核心部件加速突围。本届SEMICON上，一批本土零部件企业带来最新的落地成果。其中，中微公司推出了高端半导体刻蚀设备中关键子系统SmartRF Match智能射频匹配器，可用于在设备腔体内实现稳定的等离子体生成与控制。启尔机电展出了其LP系列磁悬浮泵、BD系列阻尼器、BP系列波纹管泵（风囊泵）、UFC系列液体超声流量控制器、UF-CV系列外夹式流量传感器、液体纯化系统等。整体来看，本土企业在半导体设备核心部件领域已实现多点突破，本土半导体设备零部件供应链体系有望持续完善。 投资建议与投资标的 ⚫先进封装设备重要性提升，晶圆制造设备持续升级。相关标的：北方华创、中微公司、盛美上海、拓荆科技、华海清科、百傲化学、芯源微、ASMPT、精测电子等 风险提示 AI落地不及预期，技术迭代速度不及预期，国产化进展不及预期 投资建议：先进封装设备重要性提升，晶圆制造设备持续升级 先进封装设备重要性提升，晶圆制造设备持续升级。相关标的：北方华创(002371，买入)、中微公司(688012，买入)、盛美上海(688082，买入)、拓荆科技(688072，买入)、华海清科(688120，未评级)、百傲化学(603360，未评级)、芯源微(688037，买入)、ASMPT(00522，未评级)、精测电子(300567，买入)等。 风险提示 AI落地不及预期：若AI落地不及预期，可能导致半导体设备下游需求增长不及预期。技术迭代速度不及预期：若刻蚀、薄膜沉积、先进封装等技术迭代速度不及预期，可能影响半导体设备下游需求。 国产化进展不及预期：若国产厂商在半导体设备技术突破等方面进展不及预期，可能导致国产化进程不及预期。 分析师申明 每位负责撰写本研究报告全部或部分内容的研究分析师在此作以下声明： 分析师在本报告中对所提及的证券或发行人发表的任何建议和观点均准确地反映了其个人对该证券或发行人的看法和判断；分析师薪酬的任何组成部分无论是在过去、现在及将来，均与其在本研究报告中所表述的具体建议或观点无任何直接或间接的关系。 投资评级和相关定义 报告发布日后的12个月内行业或公司的涨跌幅相对同期相关证券市场代表性指数的涨跌幅为基准（A股市场基准为沪深300指数，香港市场基准为恒生指数，美国市场基准为标普500指数）； 公司投资评级的量化标准 买入：相对强于市场基准指数收益率15%以上；增持：相对强于市场基准指数收益率5%～15%；中性：相对于市场基准指数收益率在-5%～+5%之间波动；减持：相对弱于市场基准指数收益率在-5%以下。 未评级——由于在报告发出之时该股票不在本公司研究覆盖范围内，分析师基于当时对该股票的研究状况，未给予投资评级相关信息。 暂停评级——根据监管制度及本公司相关规定，研究报告发布之时该投资对象可能与本公司存在潜在的利益冲突情形；亦或是研究报告发布当时该股票的价值和价格分析存在重大不确定性，缺乏足够的研究依据支持分析师给出明确投资评级；分析师在上述情况下暂停对该股票给予投资评级等信息，投资者需要注意在此报告发布之前曾给予该股票的投资评级、盈利预测及目标价格等信息不再有效。 行业投资评级的量化标准： 看好：相对强于市场基准指数收益率5%以上； 中性：相对于市场基准指数收益率在-5%～+5%之间波动； 看淡：相对于市场基准指数收益率在-5%以下。 未评级：由于在报告发出之时该行业不在本公司研究覆盖范围内，分析师基于当时对该行业的研究状况，未给予投资评级等相关信息。 暂停评级：由于研究报告发布当时该行业的投资价值分析存在重大不确定性，缺乏足够的研究依据支持分析师给出明确行业投资评级；分析师在上述情况下暂停对该行业给予投资评级信息，投资者需要注意在此报告发布之前曾给予该行业的投资评级信息不再有效。 免责声明 本证券研究报告（以下简称“本报告”）由东方证券股份有限公司（以下简称“本公司”）制作及发布。 本报告仅供本公司的客户使用。本公司不会因接收人收到本报告而视其为本公司的当然客户。本报告的全体接收人应当采取必要措施防止本报告被转发给他人。 本报告是基于本公司认为可靠的且目前已公开的信息撰写，本公司力求但不保证该信息的准确性和完整性，客户也不应该认为该信息是准确和完整的。同时，本公司不保证文中观点或陈述不会发生任何变更，在不同时期，本公司可发出与本报告所载资料、意见及推测不一致的证券研究报告。本公司会适时更新我们的研究，但可能会因某些规定而无法做到。除了一些定期出版的证券研究报告之外，绝大多数证券研究报告是在分析师认为适当的时候不定期地发布。 在任何情况下，本报告中的信息或所表述的意见并不构成对任何人的投资建议，也没有考虑到个别客户特殊的投资目标、财务状况或需求。客户应考虑本报告中的任何意见或建议是否符合其特定状况，若有必要应寻求专家意见。本报告所载的资料、工具、意见及推测只提供给客户作参考之用，并非作为或被视为出售或购买证券或其他投资标的的邀请或向人作出邀请。 本报告中提及的投资价格和价值以及这些投资带来的收入可能会波动。过去的表现并不代表未来的表现，未来的回报也无法保证，投资者可能会损失本金。外汇汇率波动有可能对某些投资的价值或价格或来自这一投资的收入产生不良影响。那些涉及期货、期权及其它衍生工具的交易，因其包括重大的市场风险，因此并不适合所有投资者。 在任何情况下，本公司不对任何人因使用本报告中的任何内容所引致的任何损失负任何责任，投资者自主作出投资决策并自行承担投资风险，任何形式的分享证券投资收益或者分担证券投资损失的书面或口头承诺均为无效。 本报告主要以电子版形式分发，间或也会辅以印刷品形式分发，所有报告版权均归本公司所有。未经本公司事先书面协议授权，任何机构或个人不得以任何形式复制、转发或公开传播本报告的全部或部分内容。不得将报告内容作为诉讼、仲裁、传媒所引用之证明或依据，不得用于营利或用于未经允许的其它用途。 经本公司事先书面协议授权刊载或转发的，被授权机构承担相关刊载或者转发责任。不得对本报告进行任何有悖原意的引用、删节和修改。 提示客户及公众投资者慎重使用未经授权刊载或者转发的本公司证券研究报告，慎重使用公众媒体刊载的证券研究报告。 东方证券研究所 东方证券股份有限公司经相关主管机关核准具备证券投资咨询业务资格，据此开展发布证券研究报告业务。东方证券股份有限公司及其关联机构在法律许可的范围内正在或将要与本研究报告所分析的企业发展业务关系。因此，投资者应当考虑到本公司可能存在对报告的客观性产生影响的利益冲突，不应视本证券研究报告为作出投资决策的唯一因素。