智能制造行业周报：晶圆产能持续扩张，看好薄膜沉积设备需求上行

本周行情回顾

• 沪深300指数上涨1.64%，机械设备板块上涨3.91%，排名申万一级行业第7位。
• 机械设备子板块中，印刷包装机械表现最佳，上涨9.01%。
• 机械设备板块PE-TTM估值较上周整体回升0.33%，子板块中PE-TTM排名前三为机器人（172.1x）、其他自动化（139.2x）、磨具磨料（100.2x）；排名后三为工程整机（19.0x）、轨道交通Ⅲ（19.0x）、能源重型设备（25.2x）。
• PE-TTM抬升幅度前三子板块为工程器件（13.92%）、印刷包装机械（3.61%）、楼宇设备（3.42%）；回调幅度前三子板块为制冷空调设备（-4.21%）、机床工具（-2.5%）、轨道交通Ⅲ（-2.06%）。

产业端重要变化

• 人形机器人：汽车厂商在智能驾驶领域的技术积累可迁移至人形机器人研发，车企加速自研进程。东风汽车将于2026年投入两款自研人形机器人，长安汽车拟出资2.25亿元参与设立机器人科技公司。
• 半导体设备：薄膜沉积设备在前道工艺中价值量占比约22%，在新产线建设与产能扩充双重拉动下需求持续增长。全球300mm晶圆厂投资预计2025年增长20%至1165亿美元，2026年再增12%至1305亿美元；中国大陆2025-2027年年均投建规模超300亿美元。
• 中国厂商布局：拓荆科技拟定增募资不超46亿元，提升PECVD、SACVD、HDPCVD等设备产能；微导纳米ALD与高端CVD产品已深度切入国产存储客户量产线。

投资建议

• 关注人形机器人核心零部件配套企业：中大力德、鸣志电器、德昌电机控股。
• 重点关注薄膜沉积与存储测试链条国产设备供应商：微导纳米、拓荆科技、精智达、长川科技。
• 关注可控核聚变工程产业链受益方向：钨材料（厦门钨业）、温控系统（杭氧股份）。

风险提示

• 宏观经济波动风险、终端需求传导压力、供应链稳定与技术迭代挑战、市场估值波动。