核心新股周巡礼系列10：恒运昌招股书梳理

行业评级：增持 主要观点： 报告日期：2026-02-09 历经十余载发展风雨兼程，恒运昌历经三个发展阶段，成为国内领先的等离子体射频电源公司 公司于2013年成立，先后经历了起步探索期(2013-2017年)、快速发展期(2018-2022年)、持续创新期(2023-至今)。起步探索阶段，公司自主开发出等离子体射频电源的大功率实时等离子体阻抗测量技术等核心技术，为公司半导体级等离子体射频电源及匹配器的研发、生产和销售奠定了扎实的技术基础。 快速发展阶段(2018-2022年)，公司自研产品在半导体领域的应用取得重大突破，研制出Bestda系列等离子体射频电源系统，可应用于28纳米制程晶圆制造。 分析师：陈耀波执业证书号：S0010523060001邮箱：chenyaobo@hazq.com分析师：李元晨 持续创新阶段(2023-至今)，公司突破了先进制程的技术难题，研发出Aspen/Basalt系列等离子体射频电源系统，可支持7-14纳米制程晶圆制造设备。 执业证书号：S0010524070001邮箱：liyc@hazq.com 营收方面，2022年、2023年、2024年和2025年1-6月，公司自研产品中等离子体射频电源系统收入分别为9,879.50万元、21,640.56万元、42,561.95万元及23,272.97万元，呈快速增长趋势，分别占比营业收入的94.62%，90.50%，93.32%和90.25%。等离子体射频电源系统包括等离子体射频电源和匹配器。公司持续积累等离子体射频电源关键技术，持续拓展半导体设备和晶圆 相关报告 厂客户 1.核心新股周巡礼系列9-盛合晶微招股书梳理2025/11/032.核心新股周巡礼系列7-臻宝科技招股书梳理2025/08/163.核心新股周巡礼系列6-视涯科技招股书梳理2025/08/104.核心新股周巡礼系列5-强一半导体招股书梳理2025/08/04 公司产品已实现量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并配套中芯国际、长江存储等国内晶圆厂，在国内半导体领域系首家出货过亿元和首家实现等离子体射频电源系统(支持半导体先进制程)量产的国产厂商。 其中2023年，公司对中微公司、北方华创、盛美上海等客户首次实现销售收入。2024年，公司对中微公司、北方华创、微导纳米的核心技术业务收入分别达4,288.56万元、2,813.65万元、2,306.19万元，相比2023年分别翻7倍、25倍和3倍。2025年1-6月，公司进一步拓展新客户，实现对屹唐股份、思锐智能、无锡邑文等细分领域头部客户的销售收入突破，客户结构持续多元化。等离子体射频电源系统是半导体制造中极其关键的专用电源系统，国产 替代和晶圆厂扩产带来持续成长 目前在中国大陆等离子体射频电源系统市场中，海外厂商仍占据垄断地位，合计占据约89%的市场份额，海外厂商主要包括美国两大巨头MKS和AE，以及霍廷格(德国)、DAIHEN(日本)等其他厂商，国产厂商市场份额占比约11%，主要的国产厂商包括恒运昌、华丞电子、英杰电气，此外吉兆源和神州半导体也有相关业务。在中国大陆等离子体射频电源系统市场中，恒运昌的市场份额为3.8%，位列国产厂商第一位。与此同时，恒运昌产品集中于技术难度最高、应用领域最大的半导体市场， Aspen系列产品可支持7-14纳米先进制程工艺，并已实现对半导体设备行业头部客户的批量供货。在中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场中，恒运昌的市场份额为6.1%，亦位列国产厂商第一，在国产厂商中市场地位领先。风险提示 研发不及预期，晶圆厂扩产进度不及预期，贸易摩擦加剧，市场竞争加剧，客户集中度较高。 正文目录 1恒运昌：国内领先的等离子体射频电源公司..............................................................................................................51.1历经十余载发展风雨兼程，恒运昌历经三个发展阶段，成为国内领先的等离子体射频电源公司...................51.2公司自研产品主要为等离子体射频电源系统，已迭代三代等离子体射频电源系统系列产品..........................81.3公司拥有核心技术，多款产品通过国内半导体龙头设备商及头部晶圆厂客户的认可...................................102等离子体射频电源系统是半导体制造中极其关键的专用电源系统，国产替代和晶圆厂扩产带来持续成长.............142.1等离子体实现了传统高温薄膜沉积和化学溶剂湿法刻蚀无法达到的工艺效果..............................................142.2等离子体射频电源系统的发展推动了半导体先进工艺的突破.......................................................................142.3等离子体射频电源持续成长，欧美头部厂商占据主导..................................................................................152.4国内晶圆厂持续扩产和国产替代带来等离子体射频电源系统成长动力,恒运昌位列国产厂商第一位............173恒运昌研发团队具备丰富行业经验，持续聚焦等离子体射频电源系统，致力于国产替代......................................203.1公司募资重点投入半导体射频电源系统产业化、半导体与真空装备核心零部件智能化及研发与前沿技术创新.............................................................................................................................................................................203.2公司核心技术人员拥有丰富的行业经验........................................................................................................213.3公司背靠产业资本和国资，合力助推半导体设备核心零部件国产化............................................................224一周科技行业要闻....................................................................................................................................................23风险提示：..................................................................................................................................................................23 图表目录 图表1恒运昌核心产品研制成功时间节点...................................................................................................................5图表2恒运昌公司三个核心发展阶段..........................................................................................................................6图表3等离子体在半导体各前道工艺中的应用(蓝框)..................................................................................................7图表4恒运昌公司主要产品在晶圆反应腔中的应用....................................................................................................7图表5恒运昌公司主营业务收入包括自研产品、引进产品和技术服务收入................................................................8图表6恒运昌公司自研产品等离子体射频电源系统占比90%以上..............................................................................8图表7恒运昌公司等离子体射频电源和匹配器的收入、数量和均价...........................................................................8图表8恒运昌公司等离子体射频电源和匹配器按照三代产品拆分...............................................................................9图表9恒运昌公司等离子体射频电源系统的主要应用领域..........................................................................................9图表10Aspen/Basalt系列.......................................................................................................................................10图表11Bestda系列..................................................................................................................................................10图表12恒运昌公司等离子体射频电源系统核心技术体系.........................................................................................10图表13恒运昌公司核心技术1..................................................................................................................................11图表14恒运昌公司核心技术2..................................................................................................................................11图表15恒运昌公司主要客户累计收入达到千万元时间节点