明场是当前除了光刻机之外,国产化率最低的半导体设备领域。KLA(美国)市值为1988亿美元,持续创新高,主要受尖端逻辑、HBM和先进封装技术投资增长的推动。明场设备市场占比中,Fab/逻辑占比59%(之前占比74%),存储占比41%(DRAM 78%,NAND 21%)。
国内明场设备市场方面,卓胜微的TB2000明场检测设备面向14-28nm工艺节点,正在与多家头部客户进行晶圆样片验证,后续有华力和长存值得关注。国内28nm明场设备主要玩家包括长鑫(中科飞创新凯莱)、长存(中科飞创新凯莱天准科技)、华力(天准科技)等。
研究结论指出,天准科技在明场设备领域预期差很大,弹性空间超过200亿元人民币。