芯源微是一家成立于2002年的高新技术企业，专注于半导体生产设备的研发、生产和销售，总部位于沈阳浑南区，并在上海临港设有全资子公司。公司拥有217项授权专利，其中162项为发明专利，产品系列丰富，可定制化满足用户需求。其涂胶机、显影机等高端半导体装备已广泛应用于半导体生产、高端封装等领域，是国内领先的高端半导体装备制造企业。
公司曾承担国家02科技重大专项，连续两年被评为中国半导体行业十强企业，2019年在上交所科创板上市，成为“辽宁省科创板第一股”。
调研中，公司执行委员会委员、副总裁、董事会秘书刘书杰介绍了公司情况，并回答了相关问题：
- Q1：2025年上半年签单及经营情况
公司签单情况良好，具体数据以后续公告为准。
- Q2：全新一代涂胶显影机研发进展
采用六层对称架构和晶圆并行传输模组，满足未来高端光刻机产能需求，研发进展顺利。
- Q3：与外资同行厂商的技术差距
公司正视差距，通过加大研发投入、提升产品竞争力、降低成本等方式缩短差距，并推进市占率提升。
- Q4：当前发展路径
聚焦集成电路主战场，以涂胶显影、清洗、先进封装为三大支柱业务，坚持研发服务于市场，同时拓展中国台湾、韩国等新客户群体。
- Q5：前道化学清洗机进展
高温SPM机台成功通过客户工艺验证，打破国外垄断，前道化学清洗产品上半年签单快速增长，力争打造第二增长极。
