季节波动影响Q1收入增速，先进制程产品开始放量

中科飞测2025年一季报显示，公司收入2.94亿元，同比+24.89%，但受季节性波动影响，增速有所放缓。主要收入构成推测为无图形晶圆缺陷和晶圆图形缺陷检测设备，套刻精度量测等新品收入占比提升，先进制程产品占比同比大幅增长。公司存货/合同负债分别同比+58.18%/+25.91%，显示新接订单延续良好增长势头，在手订单充足。

2025Q1公司实现归母净利润/扣非归母净利润为-0.15/-0.43亿元，同比-144%/-656%，归母净利率/扣非归母净利率为-5.09%/-14.70%，盈利水平短期承压。主要原因是：1）毛利率同比+3.74pct，主要系先进制程等前道产品占比提升；2）期间费用率同比+20.05pct，其中研发费用同比+64%，达1.20亿元，是盈利承压主因。

公司产品线持续丰富，七大类成熟产品市场竞争力稳固，市占率有较大提升空间。纳米图形晶圆缺陷检测设备、暗场纳图形晶圆检测设备等新产品线进展顺利，已小批量出货至国内头部客户。公司还将人工智能和大数据技术应用于半导体质量控制数据，三大系列智能软件已在国内头部客户应用。

华西证券维持公司2025-2027年营收预测为20.74、30.78和44.21亿元，同比+50.3%、+48.4%和+43.6%；归母净利润预测为2.80、6.17和8.53亿元，同比+2528.9%、+120.4%和+38.2%。对应EPS为0.87、1.93和2.66元，2025/04/25股价82.1元对应PE分别为94、43和31。考虑到量/检测设备市场广阔且国产化率低，公司成长弹性较大，维持“增持”评级。

风险提示：晶圆厂资本开支不及预期，设备研发验证进度不及预期等。