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中微公司2022年上半年营收同比增长47%达19.7亿元,扣非归母净利润同比增长615%达4.4亿元,新签订单同比增长约62%达30.6亿元。刻蚀设备持续高增长,MOCVD受益于Mini/MicroLED及化合物半导体市场增长,薄膜沉积设备研发进展顺利,大规模扩建提供高增长保障。我们维持22-24年公司每股收益预测分别为1.58、2.23、3.11元,采用绝对估值法(FCFF),维持目标价172.28元,维持买入评级。