Q1业绩超预期，前道设备加速突破

芯源微688037.SH公司研究|季报点评：

1. 业绩超预期，盈利能力保持较高水平。公司22Q1实现营收1.8亿元，同比增长62%；实现归母净利润3241万元，同比增长398%；其中扣非归母净利润3133万元，同比增长580%；Q1毛利率38.75%，同比提升2.86pcts，环比提升3.59pcts。
2. 前道涂胶显影设备市场开拓顺利，份额有望加速提升：SEMI预计2022年全球晶圆厂资本开支达1070亿美元，同比增长18%，带动设备需求提升；涂胶显影环节在半导体前道设备中投资占比约4%，公司是国内目前唯一能提供前道涂胶显影设备的厂商，offline涂胶显影机产品已实现批量销售，I-line涂胶显影机已经通过部分客户验证并进入量产销售阶段、KrF涂胶显影机已经通过客户ATP验收，有望持续放量引领国产替代。国内涂胶显影设备行业长期竞争格局极佳：由于涂胶显影机大部分机型需要与光刻机联机使用，壁垒高、验证成本高，与国内厂商对比来看，公司凭借深厚技术积累和在国内的先发优势有望占据市场中更多份额；与TEL等海外厂商对比来看，公司凭借本土化的服务团队能够为客户提供低成本的定制化服务， 同时随公司与大客户合作加深后续产品有望加速迭代，技术差距将持续缩小，助力公司份额提升。
3. 积极布局清洗设备市场，持续打开成长天花板：公司目前清洗设备领域主要产品为单片物理清洗机（在单片清洗机中市场规模占比约13%），已达到国际先进水平，2021年获得中芯国际、上海华力、武汉新芯、厦门士兰集科、扬杰科技、青岛芯恩、上海积塔等国内多家Fab厂商的批量重复订单，成功实现进口替代，未来份额有望持续快速提升。公司也积极研发单片化学清洗设备（市场规模在单片清洗中占比87%），化学清洗设备与涂胶显影设备存在技术协同，同时更加丰富的产品布局可以使得公司产品实现配套销售，带动公司清洗设备份额提升。 4