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中微公司(688012) 2021年一季度实现营业收入6.03亿元，同比增长46.24%，实现归属于上市公司股东的净利润1.38亿元，同比增长425.36%，扣非后净利润0.11亿元，较上年同期增加约0.17亿元，由亏损转为盈利。公司在收入增长的同时控制成本，毛利率较上年同期增长7.06个百分点，扣非后净利润同比扭亏为盈。公司净利润同比增长425.36%，主要系计入当期损益的政府补助较上年同期增长1.43亿元。目前行业下游客户需求旺盛，全球新建和扩产晶圆厂主要集中在中国大陆，中国大陆半导体设备市场规模在全球占比约20%至25%，有利于国产设备工艺验证的本土化配套。预计全球半导体制造设备市场将继续增长，2021年达到719亿美元，2022年有望达到761亿美元。公司深耕芯片制造刻蚀领域，作为国内刻蚀设备的龙头企业，迎来发展机遇，公司汇集行业顶尖人才，坚持以市场和客户需求为导向，在产品研发、市场布局、新业务投资拓展等诸多方面取得较大突破，已进入国际客户最先进生产线。刻蚀设备增势强劲，高投入巩固竞争优势，随着美国加大对中国大陆半导体技术限制，国产设备在制造产线本土化配套的机会和支持力度大幅提升，等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备的市场增速在前道设备中居首，其中等离子体刻蚀设备年市场规模超过120亿美元，预计2025年将达到150亿美元。公司在细分领域中市占率不断提高，持续扩大研发投入，2021年一季度研发投入占营收比23.31%，较上年同期增加5.79个百分点，大幅超过科创板半导体公司平均水平。公司定增募资100亿元用于产能提升和新设备技术研发，规划等离子体刻蚀设备产能为630腔/年，和包括UD-RIE介质刻蚀设备、SD-RIE介质刻蚀设备、ICP多晶硅刻蚀设备、125638ALE原子层刻蚀等新半导体刻蚀研发项目，有望进一步提升公司竞争力，驱动公司半导体刻蚀设备持续高增长。投资建议，我们预计 2021-2022年公司营收分别从32.9
