半导体设备行业3月数据点评：产业链数据受疫情影响不明显，晶圆厂设备招标国产化加速

证券研究报告·行业点评·机械设备 半导体设备行业3月数据点评 1 / 8 东吴证券研究所 请务必阅读正文之后的免责声明部分 [Table_Main] 产业链数据受疫情影响不明显，晶圆厂设备招标国产化加速 增持（维持） 投资要点  产业链数据受疫情影响不明显，设备订单需求依旧强劲 全球半导体销量回暖趋势明显，2月全球半导体的销售额为345亿美元，同比+4.99%（11/12/1月同比分别为-11.4%/-5.5%/-0.23%），其中中国地区销售额+5.41%，增速持续高于全球。集成电路进出口方面：3月集成电路进口额为291亿美元，同比+19.54%；出口额为88亿美元，同比+10.2%。 晶圆代工厂收入大幅增长，订单无明显减少，继续维持资本开支计划：台积电3月营收同比大幅增长42.4%，受疫情影响并不明显，Q1合计实现营收约103.5亿美元，同比+42%（超此前102-103亿美元的预期）；订单方面未发生明显减少，继续维持2020年150-160亿美元的目标资本开支。中芯国际将Q1收入指引由环比增长0-2%上调至6-8%，毛利率指引由21%-23%上调为25%-27%；2020年资本开支将由2019年的22亿美元大幅提升至31亿美元。 半导体设备需求依旧强劲：2月北美半导体设备制造商销售额为23.7亿美元，同比+26.8%，增速为两年来最高水平。ASML Q1发货延迟，订单需求依旧强劲：Q1净利润3.91亿欧元，同比+10%，环比下降66%低于预期，主要受疫情影响发货延迟；Q1系统预订量达31亿欧元，环比+28%，其中包括11个EUV系统的15亿欧元。  国内主流晶圆厂招标正常进行，国产设备商获多个订单 华力集成、华虹（无锡）、合肥晶合自3月份以来开启招投标，长江存储自年初以来的密集招标仍在继续, 中微公司、北方华创、华海清科等中标多个设备订单，把握国产化机遇。 1）华力集成：年初以来，华力二期累计释放58台工艺设备，其中国产设备13台，国产化率22%。国产设备商中，吉姆西半导体和上海天隽各中标5台研磨设备，所在领域占比均为38%；中微半导体中标2台刻蚀设备，为年初以来唯一中标刻蚀设备的厂商。 2）华虹无锡：年初以来，华虹无锡累计释放129台工艺设备，其中国产设备17台，国产化率13%。国产设备商中，北方华创中标2台刻蚀设备、1台PVD设备及2台退火设备，相应领域占比分别为10%、12%、16%；中微半导体中标3台刻蚀设备，所在领域占比为15%；此外吉姆西半导体中标2台抛光设备及2台检测设备，相应领域占比分别为40%、10%；华海清科中标3台抛光设备，占比60%。 3）长江存储：年初以来，长江存储累计释放376台工艺设备，其中国产设备38台，国产化率10%。国产设备商中，北方华创中标3台刻蚀设备，3台薄膜沉积设备及4台退火设备，对应领域占比分别为6%、5%和17%；中微半导体中标9台刻蚀设备，占比19%；华海清科中标6台CMP设备，占比18%。 4）上海积塔：3月30日8寸线投产，月产能5万片的12英寸线产能建设也即将启动。3月份以来，上海积塔累计招标7台工艺设备，其中国产设备1台（芯源微的涂胶显影机），国产化率13%。  投资建议：建议重点关注【晶盛机电】国内晶体硅生长设备龙头企业，具备80%以上的整线生产能力，已有批量订单；【北方华创】产品线最全（刻蚀机，薄膜沉积设备等）的半导体设备公司；【中微公司】进入全球供应链的国产刻蚀设备龙头。其余关注【长川科技】【精测电子】【华兴源创】【至纯科技】【华峰测控】。  风险提示：晶圆厂扩产不及预期；设备国产化不及预期。 [Table_PicQuote] 行业走势 [Table_Report] 相关研究 1、《半导体设备行业2月数据点评：大基金二期预计 3 月底开始实质投资， 国产设备商将显著受益》2020-3-13 2、《半导体设备行业1月数据点评：晶圆厂资本开支加速带动设备需求，国产设备商迎来历史性新机遇》2020-2-17 2、《半导体设备行业12月数据点评：持续看好下游终端需求爆发带来的设备机会》2019-1-16 3、《半导体设备行业11月数据点评：半导体销量回暖，下游景气带来设备投资机会》2019-12-10 [Table_Author] 2020年04月19日 证券分析师 陈显帆 证券分析师 姓名 执业证号：S0600515090001 chenxf@dwzq.com.cn 执业证号：S06005XXXXXX 021-601XXXX xxxxx@dwzq.com.cn 证券分析师 周尔双 证券分析师 姓名 执业证号：S0600515110002 zhouersh@dwzq.com.cn 研究助理 朱贝贝 zhubb@dwzq.com.cn 执业证号：S06005XXXXXX 021-601XXXX xxxxx@dwzq.com.cn -17%-7%3%13%23%33%2018-092019-032019-092020-03沪深300 机械设备 2 / 8 东吴证券研究所 请务必阅读正文之后的免责声明部分 [Table_Yemei] 行业点评报告 附录一：本月有更新的半导体及设备销售额分析 图3：2 月北美半导体设备制造商出货额 23.68亿美元，同比+26.78%，增速为近两年来最高水平 图4：3月台积电合计营收同比大幅增长42.39% 数据来源：Wind，东吴证券研究所 数据来源：TSMC，东吴证券研究所 附录二：本月有更新的集成电路进出口数据分析 图5：3月集成电路进口金额同比+19.54%，3月出口金额同比+10.16% 数据来源：Wind,东吴证券研究所 -40%-20%0%20%40%60%80%0510152025302017-02 2017-08 2018-02 2018-08 2019-02 2019-08 2020-02 北美半导体设备制造商出货额（亿美元） -30%-20%-10%0%10%20%30%40%50%60%70%0200004000060000800001000001200002018-03 2018-06 2018-09 2018-12 2019-03 2019-06 2019-09 2019-12 2020-03 营业收入额（百万新台币） 环比 同比 -40%-20%0%20%40%60%80%0100200300400500集成电路单月出口金额（亿美元） 集成电路单月进口金额（亿美元） 出口同比 进口同比 图1：2月全球半导体销售额同比+4.99%，回暖趋势明显 图2：2月中国半导体销售额同比为+5.41%，增速高于全球 数据来源：Wind,东吴证券研究所 数据来源：Wind,东吴证券研究所 -20%-15%-10%-5%0%5%10%15%20%25%30%0510152025303540452016-02 2016-08 2017-02 2017-08 2018-02 2018-08 2019-02 2019-08 2020-02 全球销售额（单位：十亿美元） 同比 -20%-15%-10%-5%0%5%10%15%20%25%30%35%02468101214162016-02 2016-08 2017-02 2017-08 2018-02 2018-08 2019-02 2019-08 2020-02 中国销售额（单位：十亿美元） 同比 rQwOsOsNsOmMyRwPtRsOpO7NdN9PmOrRmOmMeRnNnRkPtRoOaQpNpNxNsPqRvPsOtN 3 / 8 东吴证券研究所 请务必阅读正文之后的免责声明部分 [Table_Yemei] 行业点评报告 附录三：本月（2020年3月）有更新的半导体设备采购数据分析 表1：华力集成设备采购中标情况（截至2020.03），国产厂商中北方华创、盛美半导体所在领域设备占比超5% 检测设备 薄膜沉积设备 其他 KLA 18% 生长设备 研磨抛光设备 清洗设备 Nova 30% 应用材料 50% 应用材料 42% Screen 13% 东京电子 15% 日立国际电气 25% 荏原制作所 16% 北方华创 8% 是德科技 14% 日立高新技术 25% 东京电子 8% 泛林 11% Camtek 5% 沉积设备 华海清科 8% 盛美半导体 6% 应用材料 13% 沈阳拓荆 33% 吉姆西半导体 18% 华景电通 60% 日立高新技术 1% AMSL 56% 上海天隽机电 8% 其他 2% 其他 7% 泛林 11% 其他 0% 氧化/扩散/热处理设备 刻蚀设备 溅射设备 涂布/显影/去胶设备 Tokyo Electron 50% 泛林 32% 应用材料 86% 东京电子 41% 应用材料 29% 东京电子 15% 北方华创 14% 美商得升 19% 日立国际电气 8% 中微半导体 11% 光刻设备 Mattson 7% 北方华创 4% 志圣工业 2% ASML 100% 泛林 30% 日立高新技术 8% 北方华创 1% 离子注入设备 退火设备 SHIBAURA 1% Sumitomo 38% KOKUSAI 13% Edwards Limited 35% 应用材料 55% 应用材料 44% 应用材料 3% 亚舍立 3% Mattson 13% 北京中科信电子装备有限公司 3% Ultratech SE 6% 东京电子 19% 北方华创 6% 数据来源：中国国际招标网，东吴证券研究所 （红色为国产设备商，其中美国Mattson 被屹唐半导体收购） 北京北方华创微电子装备有限公司 6.25% 表2：华力集成采购中标具体情况（近期5条重要设备采购信息） 日期 制造公司 国家及地区 设备种类 详细设备 数量 2020/4/13 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司 中国 研磨设备 氧化膜化学机械研磨双剂研磨液供应装置 3 2020/4/13 上海天隽机电设备有限公司 中国 研磨设备 金属膜化学机械研磨双剂研磨液供应装置 5 2020/4/14 Tokyo Electron Limited 日本 涂胶机 248nm深紫外线扫描式光刻机配套涂胶显影机 1 2020/4/14 Tokyo Electron Limited 日本 涂胶机 193nm深紫外线沉浸式光刻机配套涂胶显影机 1 2020/4/16 盛奕半导体科技（无锡）有中国 其他 Local Scrubber排气集中处理系统6 4 / 8 东吴证券研究所 请务必阅读正文之后的免责声明部分 [Table_Yemei] 行业点评报告 限公司 （WET设备用） 数据来源：中国国际招标网，东吴证券研究所（红色为国内厂商中标） 表3：晶合设备采购中标情况（截至2020.03） 检测设备 薄膜沉积设备 其他设备 KLA 20% 生长设备 研磨抛光设备 清洗设备 HSEB 13% 东京电子 42% 应用材料 75% Tel 26% Keysight 19% TEL 33% Allied Hiqh Tech Products Inc 8% SCREEN 19% TEL 13% KOKUSAI 25% 日立高新技术公司 8% J.E.T CO.,LTD. 11% 日立高新技术 7% 沉积设备 新川 8% 东京电子 16% Nikon 4% 应用材料 94% 涂布/显影/去胶设备 北京京仪 7% QualiTau Inc 4% 日立国际电气 4% TEL 40% 其他 21% 其他 21% KOKUSAI 32% 氧化/扩散/热处理设备 刻蚀设备 光刻设备 日立国际电气 24% 应用材料 100% TEL 32% 佳能株式会社 90% J.E.T