近年来,我国围绕半导体键合设备行业出台了一系列支持政策,从鼓励外商投资、核心技术攻关到标准化建设,形成了较为完善的政策体系 【1】 。
1. 鼓励外商投资,引入国际资源
2022年10月,国家发改委和商务部联合发布《鼓励外商投资产业目录(2022年版)》,将“制造业-计算机、通信和其他电子设备制造业-集成电路封装及测试设备制造”列为全国鼓励外商投资产业目录,为外资进入国内半导体封装设备领域打开了方便之门 【1】 。
2. 推动核心器件与专用设备技术攻关
2023年1月,工信部等6部门发布《关于推动能源电子产业发展的指导意见》,明确提出研究小型化、高性能、高效率、高可靠的功率半导体、传感类器件、光电子器件等基础电子元器件及专用设备、先进工艺,支持特高压等新能源供给消纳体系建设 【1】 。
3. 强化电子材料与专用设备协同发展
2023年9月,工信部和财政部联合发布《电子信息制造业2023—2024年稳增长行动方案》,推动电子材料、电子专用设备和电子测量仪器技术攻关,研究建立电子材料产业创新公共服务平台,发挥好集成电路材料生产应用示范平台、国家新材料测试评价平台电子材料行业中心等公共服务功能 【1】 。
4. 明确战略新兴产业定位
2023年12月,国家统计局发布《工业战略性新兴产业分类目录(2023)》,将“集成电路制造-半导体器件专用设备制造-封装设备”列为战略性新兴产业重点产品,这一定位有助于相关企业在融资、税收等方面获得更多政策倾斜 【1】 。
5. 布局未来产业,推动技术迭代
2024年1月,工信部等7部门发布关于推动未来产业创新发展的实施意见,鼓励向设计、生产、检测、运维等环节打造应用试验场,以产品规模化迭代应用促进未来产业技术成熟 【1】 。
6. 完善标准体系建设
2024年3月,工信部等18部门联合发布《贯彻实施〈国家标准化发展纲要〉行动计划(2024—2025年)》,实施新产业标准化领航工程,围绕新一代信息技术、新能源、新材料、高端装备等产业领域,适度超前研制相关标准,以标准引领产业创新发展 【1】 。
值得一提的是,我国在半导体键合设备和材料领域已建立了较为完善的标准体系,包括GB/T 8750-2022《半导体封装用金基键合丝、带》、GB/T 41853-2022《半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量》等国家标准,以及T/ZZB 1718-2020、T/CMIF 137-2021等团体标准,为行业规范化发展提供了有力支撑 【3】 。
美国: 美国长期通过出口管制手段限制高端半导体设备对华出口,同时通过《芯片与科学法案》提供约520亿美元补贴,吸引半导体制造和封装产能回流本土。在键合设备领域,美国拥有K&S等全球龙头企业,政策重点在于保持技术领先优势和供应链安全。
日本: 日本通过经济产业省(METI)的“半导体产业强化方案”,对本国半导体设备制造商提供研发补贴和税收优惠。日本在键合设备上游材料和精密零部件领域具有显著优势,政策侧重于巩固材料端竞争力。
欧洲: 欧盟通过《欧洲芯片法案》投入超过430亿欧元,目标是到2030年将欧洲在全球半导体市场的份额提升至20%。在键合设备领域,欧洲拥有EV Group、SUSS MicroTec等全球领先企业,政策重点在于支持先进封装技术的研发和产业化 【12】 。
韩国: 韩国发布“K-半导体战略”,为半导体产业链提供税收减免和贷款支持,特别关注HBM等先进封装领域。SK海力士、三星电子等企业积极采购TCB键合设备用于HBM生产,韩国政策着力于巩固其在存储芯片和先进封装领域的领先地位 【10】 。
从各国政策来看,半导体键合设备作为先进封装的核心装备,已成为各国半导体产业政策的重要着力点。中国通过多部门协同发力,从外商投资、技术攻关、产业定位、标准建设等多维度构建了系统性政策支撑体系,为国产键合设备的自主研发和产业化营造了良好的制度环境 【1】 【4】 。随着全球半导体产业竞争日趋激烈,预计各国在键合设备领域的政策支持力度还将进一步加大。
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