国产半导体设备订单有历史新高吗

从现有公开的行业数据来看，国产半导体设备订单已经创下过历史新高，相关支撑信息如下：

1. 2025年上半年国内半导体设备新增订单规模已经超过2024年全年的水平，截至2025年6月末，半导体领域在手订单就达到23.28亿元，较年初大幅增长54.72%，多款国产ALD、CVD设备接连获得量产批量订单，还实现了多家产业链核心客户的导入和复购 【8】 。
2. 从行业整体趋势来看，2020-2025年国内头部半导体设备企业的合同负债持续上行，中微公司、拓荆科技、中科飞测等主流厂商的在手订单规模都实现了大幅扩容，2026年一季度整体订单规模依然维持在高位，下游晶圆、存储产线对国产设备的采购意愿十分强劲，国产设备批量导入的产业化落地逻辑已经得到充分验证 【6】 。