A股硅片制造设备有哪些公司

A股布局硅片制造相关设备的上市公司主要有以下几家，各有对应的业务布局特点：

1. 连城数控
   作为光伏及半导体高端装备集成服务商，提供覆盖光伏硅片全工艺链的整线智能一体化解决方案，覆盖从硅料破碎清洗到包装的全流程，是硅片长晶与切片整线设备的头部供应商 【1】 。
2. 晶盛机电
   已实现8—12英寸大硅片长晶、切片、研磨、抛光及清洗设备的批量销售，还向外延、ALD薄膜沉积等相关设备延伸，2025年12英寸常压外延设备已实现小批量销售，截至2025年末未完成的集成电路及化合物半导体装备合同超37亿元 【5】 。
3. 高测股份
   聚焦光伏硅片制造环节的设备、耗材和加工服务，光伏行业头部硅片制造企业均为其客户，核心业务包含光伏切割设备、相关耗材及硅片切割加工服务 【3】 【9】 。
4. 华海清科
   核心业务覆盖硅片制造环节所需的CMP抛光设备，适配硅片制造流程中的抛光工序需求，2022年上半年相关业务营收同比增长144.27% 【10】 【12】 。
5. 中微公司
   依托自身在薄膜沉积、外延生长设备领域的技术积累，布局适配硅片制造环节的LPCVD、外延（EPI）等相关设备，2024年上半年LPCVD设备订单已达1.68亿元 【11】 。