公司2026半年度业绩表现稳健，营收27.84亿元，净利润5235.05万元。主要客户采购进度动态调整，但公司通过产能预增和新技术研发保持增长态势。
产品研发进展：
- Cedar系列：第四代等离子体射频电源系统部分机型小批量试产，具备快速数据采集功能，支持更先进制程。
- 在研项目：“MFC MEMS传感器项目”达样品升级改造阶段，“AI Model-Based RF Impedance Matching System”完成模型开发。
- 自研产品矩阵：持续推进等离子体射频电源系统、远程等离子体源、射频离子源等产品的研发和进度。
核心技术与关键指标：
- 技术架构：以“基石技术+产品化支撑技术”为核心，包括三大基石技术和九大产品化支撑技术。
- 关键指标：调谐时间、调谐频率重复性、功率精度等，体现产品技术水平。
产品销售模式：
- 客户可单独采购等离子体射频电源或匹配器，或同时采购配套产品，以保障供应链安全和保密性。
研发进展：
- 研发费用4.58亿元，同比增长5.64%，占营收16.44%；研发人员164人。
- 新增“匹配器宽频扫频匹配技术”，持续优化现有产品和拓宽品类。
- 已授权专利345项，涵盖发明、实用新型和外观设计专利。
客户拓展：
- 营收24.27亿元来自现有头部客户，屹唐股份、菲沃泰等新客户逐步导入放量。
- 研发产品数量增加，主要客户新增定制需求持续增长。
上游元器件国产化：
- 自2021年起实现真空电容、陶瓷电容等元器件国产化应用。
- 积极推进国产化率提升，使用本土元器件促进国产替代。
产能情况及未来布局：
- 2024-2026半年度产能利用率分别为111.24%、98.51%、102.46%。
- 通过子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司释放产能，推进深圳产能建设。
- 未来重点推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目。
募投项目进展：
- 沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目通过客户验厂审核。
- 营销及技术支持中心项目中的北京中心已正式运营，上海、武汉中心分别于4月、7月注册成立。
- 合肥中心处于前期准备阶段，公司将确保项目质量与效益推进建设。
限制性股票激励计划：
- 首次授予82名核心员工，占员工总数20.25%，激励对象为2025年核心员工。
- 激励计划覆盖2026-2029年，业绩考核目标综合考虑行业趋势、在手订单、产能建设等因素。
- 公司上市后首次激励，旨在完善长效激励机制，绑定股东、公司与员工利益。
成为平台型公司策略：
- 内生研发：优化现有产品，拓宽产品品类，加强薄膜沉积、刻蚀等领域开发。
- 外部并购：借助资本实力物色优质标的和技术，增强等离子体工艺核心零部件供应能力。
- 双轮驱动：通过内生研发和外部并购，提供一站式产品和服务，成为平台型公司。
